一种靶材绑定用靶管金属化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种靶材绑定用靶管金属化装置，包括超声波发生器和电机，还包括有旋转套、外加热套、丝杆和滑套，所述外加热套连接在旋转套内，所述电机包括用于带动旋转套旋转的电机Ⅰ和用于带动丝杆旋转的电机Ⅱ，所述丝杆位于外加热套内，丝杆一端通过轴承安装在旋转套上，另一端通过连接件与电机Ⅱ的转轴连接，所述滑套套装在丝杆上，滑套与丝杆通过螺纹连接，所述超声波发生器通过连杆连接在滑套的下方；所述旋转套通过连接套与电机Ⅰ的转轴连接。本实用新型专利技术涂铟厚度一致，自动化水平高，有效解决了人工涂铟方式中存在的涂铟不均匀，工人劳动强度大，对工人熟练程度要求高的情况，从而有效的提高工作效率，提高靶材绑定贴合率以及贴合强度。

A target tube metallization device for target binding

【技术实现步骤摘要】
一种靶材绑定用靶管金属化装置
本技术涉及一种靶材绑定用靶管金属化装置。
技术介绍
靶管的种类是多样的，有金属管（钼靶管、钨靶管、铝靶管）和陶瓷管（ITO靶材、氧化铝靶材以及碳化硅靶材等等），由于靶管和内衬管材质不同，靶管和钎料属于不同材质，靶管与钎料润湿性不够的情况下，易产生与钎料的脱落，从而导致靶材使用过程中的导电性不好，导热性能差，甚至出现靶材开裂等情况。目前采用的靶管金属化的方法，是采用人工手持超声波涂铟机头，进行涂铟的方法，导致涂铟厚度不均匀，工人劳动强度较大，工人熟练程度要求较高。中国技术专利201820245968.4公开了一种靶材绑定背管的金属化超声加工装置，通过内加热装置以及超声波发生器配合，对靶材绑定背管进行金属化超声加工，提高靶材绑定层与背管的粘接强度，提高焊合率。但是该装置仅适用于背管外圆金属化，并不适用于靶管的内圆金属化。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：提供一种靶材绑定用靶管金属化装置，该装置适用于靶管的内圆金属化，可以有效地解决现有采用人工涂铟的靶管金属化方式中，存在的涂铟不均匀、工人劳动强度大以及对工人熟练程度要求高的问题。解决上述技术问题的技术方案是：一种靶材绑定用靶管金属化装置，包括超声波发生器和电机，还包括有旋转套、外加热套、丝杆和滑套，所述外加热套连接在旋转套内，所述电机包括用于带动旋转套旋转的电机Ⅰ和用于带动丝杆旋转的电机Ⅱ，所述丝杆位于外加热套内，丝杆一端通过轴承安装在旋转套上，另一端通过连接件与电机Ⅱ的转轴连接，所述滑套套装在丝杆上，滑套与丝杆通过螺纹连接，所述超声波发生器通过连杆连接在滑套的下方；所述旋转套通过连接套与电机Ⅰ的转轴连接。所述电机Ⅰ是伺服电机，所述电机Ⅱ是步进电机。所述电机通过机架支撑。所述连接件是法兰。由于采用上述技术方案，本技术具有以下有益效果：本装置包括机架组，机架上有步进电机和伺服电机，伺服电机通过旋转套带动外加热套和靶管进行旋转运动，步进电机带动丝杆旋转从而使超声波发生器进行水平运动，是一种自动化水平较高的靶管内圆金属化装置。该装置在使用时，超声波发生头竖直向下，靶管两端头位置使用耐高温胶带缠绕，启动外加热套，待外加热套温度升至铟熔点以上，开启超声波发生器，将铟液注入至靶管内，同时启动步进电机和伺服电机开始自动涂铟过程。本技术即新颖又实用，而且节省空间；采用机架支撑，十分平稳牢固，涂铟厚度一致，自动化水平高，减少工人劳动强度，有效解决了人工涂铟方式中存在的涂铟不均匀，工人劳动强度大，对工人熟练程度要求高的情况，从而有效的提高工作效率，提高靶材绑定贴合率以及贴合强度。下面，结合附图和实施例对本技术之一种靶材绑定用靶管金属化装置的技术特征作进一步的说明。附图说明图1：本技术之一种靶材绑定用靶管金属化装置主视图（局剖）。图2：图1的A-A剖视图。图中：1-电机Ⅰ，2-连接套，3-旋转套，31-圆套，32-端部平板，4-外加热套，5-丝杆，6-滑套，7-连接件，8-电机Ⅱ，9-连杆，10-超声波发生器，11-机架，12-轴承。P为靶管。图2中箭头表示运动方向。具体实施方式实施例1：一种靶材绑定用靶管金属化装置，如图1-图2所示，包括超声波发生器10和电机，还包括有旋转套3、外加热套4、丝杆5和滑套6，所述外加热套连接在旋转套内，所述电机包括用于带动旋转套旋转的电机Ⅰ1和用于带动丝杆旋转的电机Ⅱ8，所述丝杆位于外加热套内，丝杆一端通过轴承12安装在旋转套上，另一端通过连接件7与电机Ⅱ的转轴连接，所述滑套套装在丝杆上，滑套与丝杆通过螺纹连接，当丝杆转动时，滑套在丝杆上做直线运动。所述超声波发生器通过连杆9连接在滑套的下方；所述旋转套通过连接套2与电机Ⅰ的转轴连接。所述电机Ⅰ是伺服电机，所述电机Ⅱ是步进电机。本实施例中，所述电机通过机架11支撑，电机Ⅰ1和电机Ⅱ8分别位于外加热套4的两侧。作为一种变换，电机具体的安装方式及位置还可以根据实际情况进行调整。本实施例中，所述连接件是法兰，即丝杆另一端通过法兰、螺栓、螺母与电机Ⅱ的转轴连接；可根据需要拆装。作为一种变换，也可以采用其他连接件，只要便于拆装即可。本实施例中，所述旋转套3是由一圆套31和一端部平板32构成，所述圆套与端部平板通过螺钉连接，便于拆装。作为一种变换，旋转套的具体结构还可以根据实际需要调整变化。本实施例的使用过程：拆下法兰上的螺母，使丝杆与电机Ⅱ分离，然后将靶管P套装在外加热套内，靶管与外加热套之间通过耐高温双面胶连接，靶管两端头采用高温胶带缠绕密封，然后将丝杆与与电机Ⅱ连接好，启动外加热套，待靶管温度升至180℃，启动电机Ⅰ、电机Ⅱ和超声波发生器，将铟液倒入靶管内，此时，电机Ⅰ带动旋转套、外加热套和靶管旋转，电机Ⅱ带动丝杆旋转从而使超声波发生器进行水平运动，自动开始涂铟过程，将铟均匀的涂在靶管内壁上。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材绑定用靶管金属化装置，包括超声波发生器（10）和电机，其特征在于：还包括有旋转套（3）、外加热套（4）、丝杆（5）和滑套（6），所述外加热套连接在旋转套内，所述电机包括用于带动旋转套旋转的电机Ⅰ（1）和用于带动丝杆旋转的电机Ⅱ（8），所述丝杆位于外加热套内，丝杆一端通过轴承（12）安装在旋转套上，另一端通过连接件（7）与电机Ⅱ的转轴连接，所述滑套套装在丝杆上，滑套与丝杆通过螺纹连接，所述超声波发生器通过连杆（9）连接在滑套的下方；所述旋转套通过连接套（2）与电机Ⅰ的转轴连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种靶材绑定用靶管金属化装置，包括超声波发生器（10）和电机，其特征在于：还包括有旋转套（3）、外加热套（4）、丝杆（5）和滑套（6），所述外加热套连接在旋转套内，所述电机包括用于带动旋转套旋转的电机Ⅰ（1）和用于带动丝杆旋转的电机Ⅱ（8），所述丝杆位于外加热套内，丝杆一端通过轴承（12）安装在旋转套上，另一端通过连接件（7）与电机Ⅱ的转轴连接，所述滑套套装在丝杆上，滑套与丝杆通过螺纹连接，所述超声波发生器通过连杆（9）连...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈标，刘所心，马超宁，段宇龙，
申请(专利权)人：洛阳晶联光电材料有限责任公司，
类型：新型
国别省市：河南;41