【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的柱靶安装结构
本技术涉及一种真空镀膜技术，特别是立式的真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜是一种由物理或者化学方法产生薄膜材料的技术，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术可以用于生产光学镜片，如航海望远镜镜片等；以及其他功能薄膜，唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等，如手表外壳镀仿金色，机械刀具镀膜，改变加工硬性。真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀和纯离子镀膜。现有的真空镀膜设备根据真空室的结构一般分为卧式真空镀膜机与立式真空镀膜机。现有的立式真空镀膜机的柱靶一般长度为1.2米左右，其中柱靶的上端安装在设备的顶部，然后柱靶的下端悬吊在立式真空镀膜机中。由于在工作中，柱靶需要旋转运动，而柱靶只有上端被安装固定，因此在转动过程容易发生偏转与摆动，特别当柱靶的长度更大的时候，摆动更加明显。摆动不仅影响镀膜的质量，而且还影响到设备的正常运行。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：提供一种安装更加稳定的柱靶结构。本技术解决其技术问题的解决方案是：...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜机的柱靶安装结构，其特征在于：包括炉体，所述炉体包括上顶板、炉底板，所述上顶板上安装有驱动装置，所述驱动装置包括电机、轴套，所述电机带动轴套转动，所述炉体内设有柱靶，所述柱靶中包括磁芯，所述柱靶的上端通过锁扣固定在轴套上，所述柱靶与轴套之间包括安装面，所述安装面位于炉体内；所述炉底板上设有安装板，所述安装板与炉底板之间通过支撑柱固定连接，所述安装板上设有底部轴，所述底部轴与安装板铰接，所述柱靶的下端与底部轴固定连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的柱靶安装结构，其特征在于：包括炉体，所述炉体包括上顶板、炉底板，所述上顶板上安装有驱动装置，所述驱动装置包括电机、轴套，所述电机带动轴套转动，所述炉体内设有柱靶，所述柱靶中包括磁芯，所述柱靶的上端通过锁扣固定在轴套上，所述柱靶与轴套之间包括安装面，所述安装面位于炉体内；所述炉底板上设有安装板，所述安装板与炉底板之间通过支撑柱固定连接，所述安装板上设有底部轴，所述底部轴与安装板铰接，所述柱靶的下端与底部轴固定连接。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机的柱靶安装结构，其特征在于：还包括盖体，所述安装板上设有底座，所述底...
【专利技术属性】
技术研发人员：武文全，
申请(专利权)人：佛山市佛欣真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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