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本实用新型公开了一种真空镀膜机的柱靶安装结构，包括炉体，所述炉体包括上顶板、炉底板，所述上顶板上安装有驱动装置，所述驱动装置包括电机、轴套，所述炉体内设有柱靶，所述柱靶与轴套之间包括安装面，所述安装面位于炉体内；所述炉底板上设有安装板，所述...
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