一种可无污染加热及准确控制工件温度的离子镀设备，加热系统置有弧光电子源，它包括柱状阴极电弧阴极，其前面设有一电弧前挡板，板侧旁开有长条形侧缝开口；于挡板外上述开口附近置有辅助阳极吸拉上述等离子体中的电子流到镀膜空间，以增加辉光等离子体对...

本实用新型公开了一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室、靶体、靶腔、伸缩机构、靶门及翻转启闭机构，通过循环流经靶体的液体实现对靶体的降温，靶腔设置在真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与真空镀膜室连通；伸缩机构安装在靶...

本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜机中的靶体伸缩机构，其包括滑动套管、动密封组件、直线运动机构和连接板，滑动套管可滑动穿过镀膜机的壁板上的穿孔；靶体固定安装在滑动套管的里端；动密封组件安装在穿孔处，实现动密封；直线运动机构安装在镀膜机的壁...

本实用新型公开了一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室、靶体、靶腔、伸缩机构、靶门及平移启闭机构，通过循环流经靶体的液体实现对靶体的降温，靶腔设置在真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与真空镀膜室连通；伸缩机构安装在靶...

本实用新型公开了一种锂电池接触式加热真空隧道烘烤线的夹具承载物料车，其包括：一底板(1401)，顶面的四角通过连接件(1402)固定有垂直立柱(1403)，前面的两垂直立柱的顶端设有连接横板(1404)连接，底面的中间设有前后延伸且可与...

本实用新型公开了一种可平移转动的大型立式磁控溅射阴极靶，其包括上滑轨组、下滑轨组、上移动平板、下移动平板、转轴、靶体法兰板；上滑轨组和下滑轨组上下对应设置；上移动平板和下移动平板分别转动安装有导轮组，上移动平板和下移动平板均可通过导轮组...

本实用新型公开了一种基于弧光电子源辅助的高真空离子氮化装置，其包括：真空室及与其连接的真空获得装置；工件架；离子氮化偏压电源：其阳极接真空室的室壁、阴极接工件架；还包括了弧光电子源装置：其又包括弧光电子源辅助阳极以及含有电弧靶的弧光电子...

本实用新型公开了用于半球壳状工件镀膜的工件转架及镀膜机，工件转架安装在镀膜机内，工件转架包括主固定盘、主转盘、副固定盘、副转盘、第一绝缘支撑机构、第二绝缘支撑机构、传动机构和油缸组件，主转盘转动支承在主固定盘的上面，副转盘转动支承在副固...

本实用新型公开了一种高效率真空镀膜机，其包括真空镀膜室，在真空镀膜室内安装有制冷盘管，对应制冷盘管的位置安装有用于加热制冷盘管的加热器，其特征是，真空镀膜机还包括密封罩和直线运动机构，密封罩安装在直线运动机构上，由直线运动机构带动密封罩...

一种锂电池接触式加热真空隧道烘烤线的烘烤夹具：一具有前后左右竖板的矩形盆，其四角设有竖立的角铁制支撑脚，盆底板上依次平铺有夹具底座板、底部隔热板和底部发热板，在前后竖板之间平行排列有若干纵向发热板将盆腔分隔并可容纳电池，纵向发热板的两端...

本实用新型公开了一种锂电池接触式加热真空隧道烘烤线的烘烤箱，其由若干矩形管状箱体(1000)通过插板阀(4)接构成，箱体(1000)的管口焊接有用于连接的带密封圈的法兰(1003)并与插板阀(4)前后面的连接法兰连接；接触式加热真空隧道...

本实用新型公开了一种立式磁控溅射阴极靶伸缩铰链，其包括连接座、连接板、第一活动板、第二活动板和门铰链座，连接座用于与阴极靶固定连接；连接板的一边与连接座连接，其上开有限位孔；第一活动板的一边通过第一铰接轴与连接板的另一边铰接；第二活动板...

一种锂电池接触式加热真空隧道烘烤线的上下料机构，包括移栽平台(3、15)和机械手，移栽平台包括：底架(301)，具有水平顶板，顶板的两长边设有突起的滑轨(302)、中间为丝杠螺母直线运动机构的丝杠(303)，丝杠驱动电机(304)设在顶...

本实用新型公开了一种锂电池接触式加热真空隧道烘烤线，包括一接触式加热真空隧道烘烤箱，其由若干矩形管状箱体(1000)通过插板阀(4)接构成，箱体(1000)的管口焊接有用于连接的带密封圈的法兰(1003)并与插板阀(4)前后面的连接法兰...

本发明公开了一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室、靶体、靶腔、伸缩机构、靶门及翻转启闭机构，通过循环流经靶体的液体实现对靶体的降温，靶腔设置在真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与真空镀膜室连通；伸缩机构安装在靶腔的...

本发明公开了一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室、靶体、靶腔、伸缩机构、靶门及平移启闭机构，通过循环流经靶体的液体实现对靶体的降温，靶腔设置在真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与真空镀膜室连通；伸缩机构安装在靶腔的...

本实用新型公开了一种真空镀膜机，其内设有镀膜室，在镀膜室内可转动地安装有工件转架，真空镀膜机还包括循环水冷系统，循环水冷系统设有冷却水流动管，冷却水流动管布置在工件转架内，可对工件转架上所装挂工件进行冷却，在工件转架的一端设有传动轴，传...

一种PVD镀膜用弧光电子源增强辉光放电表面活化工艺：S1.抽真空；S2.供入氩气气压为0.1—1Pa，开启偏压产生氩輝光放电等离子体活化刻蚀；S3.弧光电子源增强清洗：S3‑1.维持氩气压0.1—1Pa，开启弧光电子源主电源，阴极电弧引...

一种弧光电子源辅助离子氮化工艺：S1.抽真空；S2.预热；S3.刻蚀：通入氩气保持真空0.1‑‑1Pa，温度200‑‑600℃，在工件和腔体之间施加偏压，同时启动炉内弧光电子源，主电源电流40‑150A，产生弧光放电等离子体；开启辅助阳...

本发明公开了用于半球壳状工件镀膜的工件转架及镀膜机，工件转架安装在镀膜机内，工件转架包括主固定盘、主转盘、副固定盘、副转盘、第一绝缘支撑机构、第二绝缘支撑机构、传动机构和油缸组件，主转盘转动支承在主固定盘的上面，副转盘转动支承在副固定盘...