一种真空镀膜机抽气系统低温水汽捕集器的配置结构，所述的抽气系统包括真空镀膜机的镀室抽气口及外接的高真空抽气管道（9），高真空抽气管道（9）中设有高真空阀（10），其特征是：所述的高真空抽气管道（9）中设有深冷井（7），深冷井（7）设在镀...

本发明公开了一种立式真空离子镀膜机的无污染加热管装置，包括加热管组件、波纹管组件、波纹管支承座组件和升降机构，加热管组件包括加热管，其上端为带绝缘的导线引出端，稍靠下方焊有加热管法兰，加热管法兰向下连接波纹管组件，波纹管组件向下连接波纹...

一种在塑料工件上真空蒸镀铝膜的方法：S1清洗干净的塑料件表面后将其置入装有辉光放电轰击装置即配置有高压电极杆和外接高压直流电源的真空镀室内，电源负极接镀室壁后接地，镀室充入氩气，施加2000‐3500伏的高电压在电极与镀室壁之间，产生高...

一种真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置，包括引弧针、活塞延伸杆、活塞组件、密封绝缘件、动密封、动密封压垫、活塞组件支撑件，所述动密封压垫被所述活塞组件支撑件压紧在所述动密封上，还包括金属的引弧器底座，所述引弧器底座通过其中部套孔套装在所...

一种真空阴极电弧蒸发源的气动式引弧装置，包括引弧针、活塞延伸杆、活塞组件、密封绝缘件、动密封、动密封压垫、活塞组件支撑件，所述动密封压垫被所述活塞组件支撑件压紧在所述动密封上，还包括金属的引弧器底座，所述引弧器底座通过其中部套孔套装在所...

本实用新型涉及真空镀膜设备领域，具体公开了一种卧式滚筒真空镀膜机，包括空心圆筒状壳体，所述壳体内固定有密封隔板，所述密封隔板将壳体内部分为两个互相独立的区域，其中一区域设置为真空的密封隔离区，另一区域为镀膜室用于容置镀膜用器件。本实用新...

本实用新型公开了一种立式真空镀膜机炉门开启限位机构，包括配套的固定在炉体和炉门上的滑道组件和限位杆连接座，以及连接所述滑道组件和限位杆连接座的限位杆组件，所述限位杆组件的一端与所述限位杆连接座铰接，另一端随炉门的开启沿所述滑道组件的滑道...

本实用新型公开了一种立式真空镀膜机炉门的铰链结构，包括固定在炉门上的炉门门耳、固定在炉体上的炉体门耳，还包括一活动门耳，所述活动门耳一侧与所述炉门上的炉门门耳相铰接，相对的另一侧与所述炉体上的炉体门耳相铰接。本实用新型的铰链结构采用三门...

本发明涉及真空镀膜设备领域，具体公开了一种卧式滚筒真空镀膜机，包括空心圆筒状壳体，所述壳体内固定有密封隔板，所述密封隔板将壳体内部分为两个互相独立的区域，其中一区域设置为真空的密封隔离区，另一区域为镀膜室用于容置镀膜用器件。本发明在壳体...

本实用新型公开了一种具有真空夹层炉壁的真空电弧镀膜机，所述真空夹层炉壁由之间具有真空夹层的内炉壁和外炉壁组成，处于所述真空电弧镀膜机的真空镀膜室内的多支加热管能分组控制。采用本实用新型的真空电弧镀膜机后，发热管功率可从75KW降低到45...

本发明公开了一种大型扩散泵真空机组的高真空阀门，包括由上阀体和下阀体组成的阀体，所述的上阀体和下阀体之间设有阀盖和开孔的阀座板连通或关闭上阀体和下阀体，所述的上阀体和下阀体两者处于同一水平，所述的阀座板45度倾斜设置，所述的阀盖的一侧通...

本发明公开了一种组合磁场的矩形平面阴极电弧蒸发源，包括一矩形靶材平板，在靶材平板的正下方、间隔所述靶材平板一段距离处设有一中轴永磁体、四个端角永磁体和至少两个长圆形电磁线圈，所述电磁线圈沿所述靶材平板边缘平行环套设置且通过导线连接可调直...

一种离子镀膜机的靶前活动遮挡板装置，包括由驱动机构驱动的门轴(10)以及连接在所述的门轴上的活动遮挡板(12)，其特征是：所述的驱动机构驱动门轴的方式为：驱动机构的从镀室上面伸进镀室的转动轴(2)的端部、固连在一开口朝下的传动套筒(7)...

本实用新型公开了一种用于制备薄膜太阳能电池吸收层的中频感应加热装置，它包括由依次连接的中频电源控制系统、中频电容补偿器和感应加热器组成的中频电加热系统，还包括真空泵系统和用于放置并加热太阳能电池衬底的真空腔室，所述中频电源控制系统产生中...

一种阴极电弧蒸发源非接触式直流高压电引弧装置，包括镀膜机镀膜室炉和蒸发源金属靶，所述的蒸发源金属靶的靶面上钻有孔（13），其中嵌有一瓷管（14），瓷管内孔涂覆一层石墨导电漿料层（15），石墨导电漿料层电连通金属靶，瓷管内孔悬空挿入一电极...

一种汽车轮毂真空磁控溅射镀铝膜的方法，特征是溅射电压大于或等于1200V，溅射电流大于或等于110A。所采用的装置：包括一真空室，其内有多根绕真空室垂直中轴线公转的用于悬挂工件的竖向曲轴式自转挂杆，自转挂杆包括：依次固定连接成曲轴状的自...

本实用新型公开了一种用于真空镀膜机均匀抽气的抽气口，所述抽气口开设在真空镀膜机镀室的室壁上，抽气口为长方形口，所述抽气口的长度等于镀室的高度，与所述抽气口配合使用的用于真空镀膜机均匀抽气的抽气接头，所述抽气接头的一侧开有与所述抽气口大小...

一种高利用率的平面磁控溅射靶，包括靶材和磁体组件，其中靶材固定，磁体组件设有驱动机构带动可相对于靶材运动。当磁体组件从平面靶宽度方向往复不己时，相对应地磁体组件的磁体在靶材表面所产生的“栱型”磁场在靶材表面来回移动扫描，在真空溅射镀膜时...

一种油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱，包括冷阱体，上法兰和下法兰，其特征在于：所述组合冷阱还包括冷却装置和节流阀，所述下法兰安装在冷阱体的下端，上法兰安装在冷阱体的上端，所述冷却装置和节流阀由下而上依次安装在冷阱体的内部。这种组合冷阱结...

一种用于真空镀膜机的高洁净真空抽气系统，包括真空镀膜室、制冷盘管、高真空机组和低真空预抽机组，其特征在于：所述的高洁净真空抽气系统还包括高真空抽气管道、高真空抽气管道预抽机组，所述低真空预抽机组通过预抽真空管道与所述真空镀膜室相连通，所...