汽车轮毂真空磁控溅射镀铝膜的方法及装置制造方法及图纸

一种汽车轮毂真空磁控溅射镀铝膜的方法，特征是溅射电压大于或等于1200V，溅射电流大于或等于110A。所采用的装置：包括一真空室，其内有多根绕真空室垂直中轴线公转的用于悬挂工件的竖向曲轴式自转挂杆，自转挂杆包括：依次固定连接成曲轴状的自转主轴、曲臂和曲臂轴组件，曲臂轴组件上安装有轮毂夹具，轮毂夹具对轮毂的夹持应使得水平的轮毂中轴的中点处于自转挂杆的自转轴线上。本发明专利技术的装置包括曲轴式自转挂杆挂夹轮毂，自转挂杆绕真空室中轴公转、自转挂杆自转、轮毂绕自身中轴自转的驱动机构。本发明专利技术可实现大尺寸复杂形状轮毂的均匀镀铝膜。且无环境污染、镀膜均匀、成品率高还成本低。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种真空镀铝膜的方法，尤其是涉及一种汽车轮毂真空磁控溅射镀铝膜的方法。本专利技术还涉及实现上述方法的装置。
技术介绍
上世纪90年代小汽车铝合金轮毂面世，铝合金轮毂重量轻、节约能源；同时，铝导热性好，轮毂紧挨着刹车鼓，有利于散热。因此，铝合金轮毂很快取代了钢制轮毂。但铝合金很难抛光成光亮镜面。通常采用水法电镀cu//m//cr镀层，以求得到光亮的Cr表面，增强美感。这种传统的工艺曾经盛行一时，但是该工艺存在着严重的不足其一，水法电镀铬工艺对环境污染大；其二，水法电镀工艺多用Ni作过渡层，一来Ni材昂贵，二来Ni也受环保限制，不受欢迎；其三，大面积水法电镀铬时，由于镀铬槽容易受杂质污染，镀铬层容易出现麻点等缺陷，成品率低，不良率达20%，成本高。最后，是大尺寸镀件例如轮毂的磁控溅射镀膜均勻性问题，若在立式真空室采用通常的直的自转挂杆和轮毂随同挂杆公、自转的运动模式，是不能实现均勻镀膜的。因为让轮毂夹持在直的自转挂杆一侧，当直径500mm大园面朝向溅射靶面时，轮毂的纵深方向达 250mm以上，远超出溅射靶正常均勻镀铝膜距离(100 150mm)，必定沿纵深方向出现色差， 本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种汽车轮毂真空磁控溅射镀铝膜的方法，其特征是：所述的真空磁控溅射的溅射电压大于或等于１２００Ｖ，溅射电流大于或等于１１０Ａ。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李志荣，李志方，罗志明，李秋霞，
申请(专利权)人：东莞市汇成真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：44