下载汽车轮毂真空磁控溅射镀铝膜的方法及装置的技术资料

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一种汽车轮毂真空磁控溅射镀铝膜的方法,特征是溅射电压大于或等于1200V,溅射电流大于或等于110A。所采用的装置:包括一真空室,其内有多根绕真空室垂直中轴线公转的用于悬挂工件的竖向曲轴式自转挂杆,自转挂杆包括:依次固定连接成曲轴状的自转主...
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