磁控溅射铝镜生产线破真空充气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种磁控溅射铝镜生产线的破真空充气装置，包括充气阀、内分流槽、内分流槽端板、外分流槽、外分流槽端板。其中充气阀与真空室连接的过流口面积比充气阀进气口面积大；内分流槽两侧及底面的除正对充气口位置之外的位置上钻有若干小孔，小孔的总面积大于充气阀的过流口面积；外分流槽两侧及底面钻有若干小孔，小孔总面积大于内分流槽小孔的总面积；内、外分流槽焊接在充气口上，其端板分别焊在内、外分流槽的两端并分别钻有小孔；内、外分流槽的小孔互相错开。本实用新型专利技术的磁控溅射铝镜生产线的破真空充气装置可有效降低真空室内进气的流速，避免破真空在充气时形成过激烈的冲击导致玻璃板破碎，进而导致停机事故的发生。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
磁控溅射铝镜生产线破真空充气装置
本技术涉及一种铝镜生产线破真空充气装置，尤其涉及一种磁控溅射铝镜生产线破真空充气装置。
技术介绍
磁控溅射铝镜生产线生产过程中，其前、后真空室在每个生产节拍均需抽真空I次、破真空恢复大气压I次，玻璃板才能进、出真空镀膜室，完成连续生产。为提高产量，缩短生产节拍的时间，充气阀的口径一般做得较大。目前，气流采用直接进入真空室的方式经充气阀充入真空室，遇气流速度高、冲击力大的情况出现，极易造成玻璃板破碎的事故出现，此时整条生产线就要停机，打开真空室，将碎玻璃彻底清理干净后才能恢复生产。上述事故的发生一方面造成生产过程的中断，影响产量和产品的质量，并造成原材料的浪费和生产成本的上升。
技术实现思路
本技术的目的是，提供一种磁控溅射铝镜生产线破真空充气装置，其能够避免气流对真空室内玻璃板的激烈冲击，降低或消除玻璃板破碎事故的发生，以实现连续化生产。本技术要解决的技术问题是，有效降低气流进入真空室的流速，减少气流进入真空室时对真空室内玻璃板的冲击。本技术为解决上述技术问题所采用的技术解决方案是:一种新型的磁控溅射铝镜生产线破真空充气装置，包括充气阀、内分流槽、内分流槽端板、外分流槽、外分流槽端板，其中，内分流槽和外分流槽分别焊接在充气口上；内分流槽端板和外分流槽端板分别焊在内分流槽和外分流槽的两端；上述充气阀与真空室连接的过流口面积比充气阀进气口面积大，内分流槽的两侧和底面除正对着充气口方向的位置之外均钻有若干小孔，其小孔总面积大于充气阀的过流口面积；外分流槽的两侧及底面钻有若干小孔，其小孔总面积大于内分流槽小孔的总面积。上述技术方案中，由于充气阀与真空室连接的过流口面积比充气阀进气口面积大，气流进入后将减速；由于内分流槽的两侧和底面上的小孔总面积大于充气阀的过流口面积，进入的气流将进一步减速；相应地，外分流槽的两侧及底面的小孔总面积大于内分流槽小孔的总面积，这使得经过内分流板的气体量能够满足生产工艺的要求，不会出现气流不足的问题。也就是说，上述技术方案的采用能够有效降低进入真空室气流的流速，从而能够避免气流对真空室内玻璃板的激烈冲击，降低或消除玻璃板破碎事故的发生。作为优选，上述内分流槽与外分流槽上各自钻有的小孔，其位置相互错开。该优选技术方案所直接产生的有益效果是，从充气阀进入的气流在依次经过内分流槽与外分流槽时，气流的方向将发生改变。S卩，气流在进入真空室的途中将发生方向上的转变，有始终为直线进入的方式转变为在中途出现绕行的进入方式。这样，气流的流速将进一步减速。作为优选，上述内分流槽端板和外分流槽端板上分别钻有若干小孔。在内分流槽端板和所述外分流槽端板上分别钻有若干小孔的目的是，在满足内分流槽的两侧和底面上的小孔总面积大于充气阀的过流口面积，以及满足外分流槽的两侧及底面的小孔总面积大于内分流槽小孔的总面积这两个前提下，能够尽可能地使得钻孔位置分散。这样，一方面能够增加气流进入之后绕行的距离，从而减缓气流流速；另一方面，能够降低钻孔加工的难度，而且能够避免单位面积的板上由于钻孔过密所致其强度降低的问题出现。即，既不需要增加内分流槽板两侧及其端板的厚度，也不需要增加外分流槽板两侧及其端板的厚度。也就是说，钻孔加工不会增加材料的成本；更重要的是，以上技术方案带来的另一个技术效果是，将钻孔分布在各个区域，使得气体能从各个方向的钻孔同时进入真空室，真空室内各个方向和位置的升压过程同步性将更好，这样真空室内各个区域、各个方向之间的瞬时压力差就更小甚至消除各区域或个方向上之间的压力差，对真空室内玻璃板的冲击就更平和、冲击力更小。综上所述，本技术具有以下有益效果:装置的结构简单，加工与安装方便；能够避免气流对真空室内玻璃板的激烈冲击，减少甚至是消除玻璃板因气流冲击和气流进入真空室所产生的瞬时压力差所致破碎事故发生的概率，相应地，能够减少生产线的停机时间，提高产、质量和生产效率，降低生产成本。【附图说明】图1为本技术的磁控溅射铝镜生产线破真空充气装置结构示意图；图2为本技术的磁控溅射铝镜生产线破真空充气装置沿A-A方向的剖视结构示意图。【具体实施方式】下面结合附图1、2对本技术作详细的说明。如图1所示，本技术的磁控溅射铝镜生产线破真空充气装置，其包括有焊接在真空室壁6外侧的充气阀I，对着充气口在真空室壁内侧焊接的内分流槽2，焊接在内分流槽I两端的内分流槽端板2，套焊在内分流槽I外面的外分流槽4，焊接在外分流槽4两端的外分流槽端板5。其中，充气阀与真空室连接的过流口面积比充气阀进气口面积大，一般为约2-2.5倍。内分流槽2的两侧及底面钻有一定量的小孔(底面正对充气口的位置不钻孔)，其小孔的总面积大于充气阀的过流口面积，一般采用1.5-2倍。外分流槽4的两侧及底面钻有一定量的小孔，其小孔总面积大于内分流槽上小孔的总面积，一般米用1.5-2倍。内分流槽端板3和外分流槽端板5上也钻有小孔。现结合附图1和图2，从原理上对本技术的技术效果进行分析如下:如图1和图2所示，上述内、外分流槽焊在充气口上，内、外分流槽的小孔互相错开，其目的是防止气流对真空室内的玻璃板造成直接冲击；内、外分流槽端板分别焊接在内、外分流槽的两端；破真空装置在充气时，气流从充气阀进入，撞到内分流槽底板后向四周转向分散，然后以较慢的流速经内分流槽各小孔流入内、外分流槽之间，最后以缓慢的流速经外分流槽各小孔流入真空室7中。由于各后级充气孔均比相应的前级充气孔数量多、面积大，故原先强烈的充气气流被分割为多股低速气流，冲击力大大降低，从而不会对玻璃板造成损坏。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型的磁控溅射铝镜生产线破真空充气装置，包括充气阀、内分流槽、内分流槽端板、外分流槽、外分流槽端板，其特征在于，所述内分流槽和所述外分流槽分别焊接在所述充气口上；所述内分流槽端板和所述外分流槽端板分别焊在所述内分流槽和所述外分流槽的两端；所述充气阀与真空室连接的过流口面积比充气阀进气口面积大，所述内分流槽的两侧和底面除正对着充气口方向的位置之外均钻有若干小孔，其小孔总面积大于充气阀的过流口面积；所述外分流槽的两侧及底面钻有若干小孔，其小孔总面积大于内分流槽小孔的总面积。

【技术特征摘要】
1.一种新型的磁控溅射铝镜生产线破真空充气装置，包括充气阀、内分流槽、内分流槽端板、外分流槽、外分流槽端板，其特征在于，所述内分流槽和所述外分流槽分别焊接在所述充气口上；所述内分流槽端板和所述外分流槽端板分别焊在所述内分流槽和所述外分流槽的两端；所述充气阀与真空室连接的过流口面积比充气阀进气口面积大，所述内分流槽的两侧和底面除正对着充气口方向的位置之外均钻有若干小孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭玉芬，丁秀芳，庄慧显，赵彬，曹本伟，董磊，丁波，尹怀秀，
申请(专利权)人：青岛环球集团股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：