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本实用新型公开了一种磁控溅射铝镜生产线的破真空充气装置，包括充气阀、内分流槽、内分流槽端板、外分流槽、外分流槽端板。其中充气阀与真空室连接的过流口面积比充气阀进气口面积大；内分流槽两侧及底面的除正对充气口位置之外的位置上钻有若干小孔，小孔的...
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