用于半球壳状工件镀膜的工件转架及镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了用于半球壳状工件镀膜的工件转架及镀膜机，工件转架安装在镀膜机内，工件转架包括主固定盘、主转盘、副固定盘、副转盘、第一绝缘支撑机构、第二绝缘支撑机构、传动机构和油缸组件，主转盘转动支承在主固定盘的上面，副转盘转动支承在副固定盘的上面，第一绝缘支撑机构安装在主转盘上，第二绝缘支撑机构安装在副转盘上，传动机构与外部的动力装置连接，以同时带动主转盘和副转盘转动，油缸组件的活塞杆与副固定盘连接，通过油缸带动副固定盘升降，以实现第一绝缘支撑机构和第二绝缘支撑机构交替支撑工件，本实用新型专利技术的镀膜机设有上边圆型阴极电弧源、下边圆型阴极电弧源和侧边圆型阴极电弧源，以实现了对半球壳状工件的进行全方位镀膜。

Workpiece turret and coating machine for coating hemispherical shell workpiece

【技术实现步骤摘要】
用于半球壳状工件镀膜的工件转架及镀膜机
本技术涉及一种用于半球壳状工件镀膜的工件转架，还涉及一种包含有所述工件转架并用于对半球壳状工件进行镀膜的镀膜机。
技术介绍
根据需求，现需对半球壳状工件进行镀膜，半球壳状工件的外形为厚壁半球冠状，且尺寸较大，为一种特殊的工件，要求对其内表面、外表面、半球冠的端口表面都要实施离子镀膜。历年来，这种半球壳状工件在离子镀膜行业都未出现过，因而没有现成的合适的离子镀膜机和工件转架可以借鉴，需要按工件镀膜部位的要求，设计全新靶位布局的离子镀膜机及全新的工件转架机构。
技术实现思路
本技术所要解决的第一个技术问题，就是提供一种用于半球壳状工件镀膜的工件转架。本技术所要解决的第二个技术问题，就是提供一种包含有所述工件转架并用于对半球壳状工件进行镀膜的镀膜机。本技术实现了对半球壳状工件的进行全面镀膜。解决上述第一个技术问题，本技术采用如下的技术方案：一种用于半球壳状工件镀膜的工件转架，其特征是包括：主固定盘，水平固定安装在镀膜机的镀膜室内；主转盘，转动支承在主固定盘的上面；副固定盘，水平设置在主转盘的上方，且可升降；副转盘，转动支承在副固定盘的上面；第一绝缘支撑机构，安装在主转盘上，用于支撑工件；第二绝缘支撑机构，安装在副转盘上，也用于支撑工件，且工件的与第二绝缘支撑机构接触的支撑位置和工件的与第一绝缘支撑机构接触的支撑位置相互错开；传动机构，与外部的动力装置连接，以同时带动主转盘和副转盘转动；油缸组件，其活塞杆与副固定盘连接；通过油缸带动副固定盘升降，以实现第一绝缘支撑机构和第二绝缘支撑机构交替支撑工件。所述第一绝缘支撑机构包括至少三组第一绝缘支撑组件，第一绝缘支撑组件分别安装在主转盘上，并按圆周方向均匀分布，第一绝缘支撑组件包括第一支撑杆和用于支撑工件的第一支撑板，副转盘上对应第一支撑杆开有支撑杆穿孔，第一支撑杆活动穿过支撑杆穿孔，第一支撑杆的下端绝缘固定在主转盘上，第一支撑板固定在第一支撑杆的上端。所述第二绝缘支撑机构包括至少三组第二绝缘支撑组件，第二绝缘支撑组件分别安装在副转盘上，并按圆周方向均匀分布，第二绝缘支撑组件包括第二支撑杆和用于支撑工件的第二支撑板，第二支撑杆的下端绝缘固定在副转盘上，第二支撑板固定在第二支撑杆的上端。所述工件转架还包括偏压盘、偏压弹簧、炉内电极头和炉外电极头，偏压盘绝缘固定在副转盘上方，炉外电极头绝缘安装在镀膜室的炉壁上，且炉外电极头的一电连接端露出在镀膜室的外边，炉内电极头绝缘安装在镀膜室内，炉内电极头的一电连接端与炉外电极头的另一电连接端电性连接，偏压弹簧固定安装在炉内电极头的另一电连接端上，偏压弹簧的其中一端或两端上设置有向外延伸的导电杆，导电杆通过偏压弹簧的弹力始终压在偏压盘上，偏压盘分别通过导电线与第一绝缘支撑机构和第二绝缘支撑机构连接，以将工件与外部的偏压电源电性连接。所述工件转架还包括至少两组用于使得主转盘更平稳转动的主转盘限位组件和至少两组用于使得副转盘更平稳转动的副转盘限位组件。所述主转盘为环形板状，所述主转盘限位组件包括主转盘限位支座、竖向轴、横向限位轴承、第一横向轴和第一竖向限位轴承，主转盘限位支座固定安装在主固定盘上，竖向轴竖向安装在主转盘限位支座中部，横向限位轴承套装在竖向轴上，且横向限位轴承的侧面抵靠在主转盘的内环面上，第一横向轴横向安装在主转盘限位支座的上部，第一竖向限位轴承套装在第一横向轴上，且第一竖向限位轴承的侧面抵靠在主转盘的上面。所述副转盘限位组件包括副转盘限位支座、第二横向轴和第二竖向限位轴承，副转盘限位支座固定安装在副固定盘上，第二横向轴横向安装在副转盘限位支座的上部，第二竖向限位轴承套装在第二横向轴上，且第二竖向限位轴承的侧面抵靠在副转盘的上面。所述主转盘的外侧面为齿面，所述传动机构包括齿轮、传动磁流体密封件和同步带轮，传动磁流体密封件固定安装在镀膜室的炉壁的外表面，传动磁流体密封件的输出轴伸入镀膜室内，齿轮固定安装在传动磁流体密封件的输出轴上，并与主转盘的齿面啮合，同步带轮固定安装在传动磁流体密封件的输入轴上，用于与外部的动力装置连接。所述油缸组件包括油缸、油缸安装架、油缸连接头、延伸杆、限位垫和焊接波纹管，油缸通过油缸安装架固定安装在镀膜室的炉壁的外表面，延伸杆通过油缸连接头与油缸的活塞杆连接，延伸杆延伸入镀膜室内，并与副固定盘连接，以带动副固定盘升降，限位垫活动套在延伸杆上，并位于镀膜室内，当副固定盘下降至最低点时，副固定盘抵靠在限位垫上，焊接波纹管活动套在延伸杆上，焊接波纹管的一端焊接在安装板上，一端焊接在油缸连接头上。解决上述第二个技术问题，本技术所采用的技术方案如下：一种包含有所述工件转架并用于对半球壳状工件进行镀膜的镀膜机，其特征是，所述工件转架安装在镀膜机的镀膜室的下炉壁上，在镀膜室内安装有上边圆型阴极电弧源、至少一个下边圆型阴极电弧源和多个侧边圆型阴极电弧源，上边圆型阴极电弧源对应安装在工件的上方，用于对工件的顶面进行镀膜，下边圆型阴极电弧源对应安装在工件的下方，用于对工件的内表面及端口表面进行镀膜，侧边圆型阴极电弧源分布安装在工件的周边，用于对工件的侧表面进行镀膜。与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：在镀膜过程中，本技术的工件转架能通过第一绝缘支撑机构和第二绝缘支撑机构交替支撑工件，且支撑位置相互错开，从而能避免支撑位置无法镀膜的情况。本技术的镀膜机通过上边圆型阴极电弧源、多个下边圆型阴极电弧源和多个侧边圆型阴极电弧源对半球壳状工件进行镀膜。可见，本技术实现了对半球壳状工件的进行全方位镀膜。附图说明图1是本技术的工件转架的剖视示意图；图2是本技术的工件转架的第一绝缘支撑机构的结构示意图之一；图3是本技术的工件转架的第一绝缘支撑机构的结构示意图之二；图4是本技术的工件转架的第二绝缘支撑机构的结构示意图之一；图5是本技术的工件转架的第二绝缘支撑机构的结构示意图之二；图6是图3中A处的放大示意图；图7是本技术的工件转架的部分部件装配示意图之一；图8是本技术的工件转架的偏压弹簧和炉内电极头的安装示意图；图9是本技术的工件转架的偏压弹簧的安装示意图；图10是图7中B处的放大示意图；图11是本技术的工件转架的部分部件装配示意图之二；图12是本技术的工件转架的副转盘限位组件的安装示意图；图13是本技术的工件转架的主转盘限位组件的安装示意图；图14是本技术的工件转架的传动机构的安装示意图。图中附图标记含义：1、半球壳状工件；2、第一绝缘支撑机构；2-1、第一支撑板；2-2、第一支撑杆；2-3、钢珠座保护罩；2-4、第一屏蔽罩；3、第二绝缘支撑机构；3-1、第二支撑板；3-2、第二支撑杆；3-本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于半球壳状工件镀膜的工件转架，其特征是包括：/n主固定盘，水平固定安装在镀膜机的镀膜室内；/n主转盘，转动支承在所述主固定盘的上面；/n副固定盘，水平设置在所述主转盘的上方，且可升降；/n副转盘，转动支承在所述副固定盘的上面；/n第一绝缘支撑机构，安装在所述主转盘上，用于支撑工件；/n第二绝缘支撑机构，安装在所述副转盘上，也用于支撑工件，且工件的与所述第二绝缘支撑机构接触的支撑位置和工件的与所述第一绝缘支撑机构接触的支撑位置相互错开；/n传动机构，与外部的动力装置连接，以同时带动所述主转盘和所述副转盘转动；/n油缸组件，其活塞杆与所述副固定盘连接；通过油缸带动副固定盘升降，以实现所述第一绝缘支撑机构和所述第二绝缘支撑机构交替支撑工件。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于半球壳状工件镀膜的工件转架，其特征是包括：
主固定盘，水平固定安装在镀膜机的镀膜室内；
主转盘，转动支承在所述主固定盘的上面；
副固定盘，水平设置在所述主转盘的上方，且可升降；
副转盘，转动支承在所述副固定盘的上面；
第一绝缘支撑机构，安装在所述主转盘上，用于支撑工件；
第二绝缘支撑机构，安装在所述副转盘上，也用于支撑工件，且工件的与所述第二绝缘支撑机构接触的支撑位置和工件的与所述第一绝缘支撑机构接触的支撑位置相互错开；
传动机构，与外部的动力装置连接，以同时带动所述主转盘和所述副转盘转动；
油缸组件，其活塞杆与所述副固定盘连接；通过油缸带动副固定盘升降，以实现所述第一绝缘支撑机构和所述第二绝缘支撑机构交替支撑工件。


2.根据权利要求1所述的用于半球壳状工件镀膜的工件转架，其特征在于：所述第一绝缘支撑机构包括至少三组第一绝缘支撑组件，所述第一绝缘支撑组件分别安装在所述主转盘上，并按圆周方向均匀分布，所述第一绝缘支撑组件包括第一支撑杆和用于支撑工件的第一支撑板，所述副转盘上对应所述第一支撑杆开有支撑杆穿孔，所述第一支撑杆活动穿过所述支撑杆穿孔，所述第一支撑杆的下端绝缘固定在所述主转盘上，所述第一支撑板固定在所述第一支撑杆的上端。


3.根据权利要求1所述的用于半球壳状工件镀膜的工件转架，其特征在于：所述第二绝缘支撑机构包括至少三组第二绝缘支撑组件，所述第二绝缘支撑组件分别安装在所述副转盘上，并按圆周方向均匀分布，所述第二绝缘支撑组件包括第二支撑杆和用于支撑工件的第二支撑板，所述第二支撑杆的下端绝缘固定在所述副转盘上，所述第二支撑板固定在所述第二支撑杆的上端。


4.根据权利要求1所述的用于半球壳状工件镀膜的工件转架，其特征在于：所述工件转架还包括偏压盘、偏压弹簧、炉内电极头和炉外电极头，所述偏压盘绝缘固定在所述副转盘上方，所述炉外电极头绝缘安装在镀膜室的炉壁上，且所述炉外电极头的一电连接端露出在镀膜室的外边，所述炉内电极头绝缘安装在镀膜室内，所述炉内电极头的一电连接端与所述炉外电极头的另一电连接端电性连接，所述偏压弹簧固定安装在炉内电极头的另一电连接端上，所述偏压弹簧的其中一端或两端上设置有向外延伸的导电杆，所述导电杆通过偏压弹簧的弹力始终压在偏压盘上，所述偏压盘分别通过导电线与所述第一绝缘支撑机构和所述第二绝缘支撑机构连接，以将工件与外部的偏压电源电性连接。


5.根据权利要求1所述的用于半球壳状工件镀膜的工件转架，其特征在于：所述工件转架还包括至少两组用于使得主转盘更平稳...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志荣，冯晓庭，
申请(专利权)人：东莞市汇成真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44