一种工具镀膜腔体制造技术

本实用新型专利技术公开了一种工具镀膜腔体，其特征在于，包括镀膜腔体、底架、视窗接口、小弧源接口、主抽口、门上旋转多弧接口、腔体门；底架上设置镀膜腔体；在镀膜腔体的正面上设置若干个小弧源接口；小弧源接口呈若干排；小弧源接口列与列之间呈品字形排列；在小弧源接口之间设置视窗接口；在镀膜腔体的一侧设置若干个主抽口；在镀膜腔体的反面设置腔体门；在腔体门的下方设置若干个门上旋转多弧接口；在腔体门上同样设置若干个视窗接口；本实用新型专利技术的技术效果在于，利用在镀膜腔体上结构上的改变；改变了现有技术中镀膜有效区过窄的技术问题，提升了镀膜的效率，提升了镀膜产品的质量。

A tool coating cavity

The utility model discloses a tool coating cavity, which is characterized in that it comprises a coating cavity, a base frame, a window interface, a small arc source interface, a main pumping port, a rotating multi arc interface on the door, and a cavity door; a coating cavity is arranged on the base frame; a number of small arc source interfaces are arranged on the front side of the coating cavity; a number of rows of small arc source interfaces are arranged; a product shape row is arranged between the small arc source interface columns Column; a window interface is arranged between the small arc source interfaces; a plurality of main extraction ports are arranged on one side of the coating cavity; a cavity door is arranged on the reverse side of the coating cavity; a plurality of rotary multi arc interfaces are arranged under the cavity door; a plurality of window interfaces are also arranged on the cavity door; the technical effect of the utility model is to make use of the structural change on the coating cavity; change The technical problem that the effective area of the coating is too narrow in the prior art improves the efficiency of the coating and the quality of the coating products.

【技术实现步骤摘要】
一种工具镀膜腔体
本技术涉及镀膜设备，尤其涉及工具镀镀膜腔体。
技术介绍
在现有的真空镀膜设备中，由于在工具镀镀膜设备中，都采用了小型的镀膜腔体进行镀膜加工，但是小型的镀膜设备的腔体存在着装机量小，效率低，由于小型的镀膜腔体内部的空间小，镀膜腔体在安装转架、小弧源接口、阴极挡板等部件后，导致镀膜腔体剩余空间小，使得在小型的镀膜设备上无法提高产量的同时，对可镀膜的产品尺寸有很大限制。导致生产的工具镀膜的效率低，可镀产品的范围小。
技术实现思路
本技术的目的是根据上述现有技术的不足之处，本技术实现了一种工具镀膜腔体，其特征在于，包括镀膜腔体、底架、视窗接口、小弧源接口、主抽口、门上旋转多弧接口、腔体门；所述的底架上设置镀膜腔体；在所述的镀膜腔体的正面上设置若干个小弧源接口；所述的小弧源接口呈若干排；所述的小弧源接口列与列之间呈品字形排列；在所述的小弧源接口之间设置视窗接口；在所述的镀膜腔体的一侧设置若干个主抽口；在所述的镀膜腔体的反面设置腔体门；在所述的腔体门的下方设置若干个门上旋转多弧接口；在所述的腔体门上同样设置若干个视窗接口。进一步，所述的镀膜腔体呈圆柱体结构；所述的腔体门同样为圆弧结构；所述的腔体门与所述的镀膜腔体的半径相等。进一步，所述的小弧源接口为法兰连接结构。进一步，所述的视窗接口为法兰连接结构。进一步，所述的主抽口的一端与所述的镀膜腔体呈相贯体连接结构；在所述的主抽口的另一端设置法兰结构。进一步，所述的门上旋转多弧接口为法兰连接结构。进一步，在所述的底架下方设置底脚调平螺栓。进一步，所述的工具镀膜腔体的材料为不锈钢材料。本技术的技术效果在于，利用在镀膜腔体上设置弧源接口，同时小弧源接口之间呈品字形排列；在镀膜腔体的一侧设置主抽口以及在镀膜腔体的反面设置腔体门；腔体门的下方设置门上旋转多弧接口以及设置多个视窗接口等结构上的改变；增加了靶的类型并大大增加镀膜有效区的空间范围，提升了镀膜的效率，提升了镀膜产品的质量。附图说明图1是本技术的右视图。图2是本技术的主视图。图3是本技术的俯视示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。结合附图1-附图3所示，本实施例中提供了一种工具镀膜腔体，包括镀膜腔体1、底架2、视窗接口3、小弧源接口4、主抽口5、门上旋转多弧接口6、腔体门7；在底架2上设置镀膜腔体2；使得镀膜镀膜腔体2进行悬空；方便在镀膜腔体2的下方设置门上旋转多弧接口；为了方便和解决镀膜有效区较小的问题，在镀膜腔体的正面上设置若干个小弧源接口4；将小弧源接口4排列成若干排；在小弧源接口4的列与列之间呈品字形排列；这样可以有效规避小弧源接口4在工作时有效区较小的问题，使得小弧源形成覆盖整个镀膜腔体，为了观察腔体工件镀膜情况，在小弧源接口4之间设置视窗接口3，用于观察腔体内部的情况，同时，视窗接口3设置在小弧源接口4之间，这样确保能观察到腔体内各处的镀膜情况，为了规避主抽口对于镀膜的影响，在镀膜腔体1的一侧设置若干个主抽口5；将主抽口5设置在镀膜腔体1的一侧，可以尽可能的减少主抽口5对于镀膜效果的影响，为此，主抽口5的一端与镀膜腔体1呈相贯体连接结构；在主抽口5的另一端设置法兰结构；通过相贯体的连接方式，在不影响主抽口5的抽气效果的情况下，尽可能的将主抽口5设在远离小弧源接口4的地方；为了方便上下料，在镀膜腔体1的反面设置腔体门7；为了规避由于设置了腔体门7对于弧源的影响，在腔体门7的下方设置若干个门上旋转多弧接口6；同样，为了确保在最为容易发生死角的地方，容易被发现镀膜产生问题，所以在腔体门7上同样设置若干个视窗接口3。结合附图1-附图3所示，镀膜腔体1呈圆柱体结构；腔体门7同样为圆弧结构；腔体门7与镀膜腔体1的半径相等，这样能够使得腔体门7和镀膜腔体1保持在同一个弧度上，有利于镀膜腔体1的密封。同时，为了与小弧源、视窗、门上旋转多弧装置更加方便的连接，将小弧源接口4、视窗接口3以及门上旋转多弧接口6设置为法兰连接结构。最后为了方便保持工具镀膜腔体的平衡，在底架2下方设置底脚调平螺栓8。结合上述所述，本实施例的工具镀膜腔体的材料为不锈钢材料。包括镀膜腔体1、底架2、视窗接口3、小弧源接口4、主抽口5、门上旋转多弧接口6、腔体门7等材料全部为不锈钢材料。作为本技术优选的实施例，对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术，也是本技术的保护范围。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种工具镀膜腔体，其特征在于，包括镀膜腔体、底架、视窗接口、小弧源接口、主抽口、门上旋转多弧接口、腔体门；所述的底架上设置镀膜腔体；在所述的镀膜腔体的正面上设置若干个小弧源接口；所述的小弧源接口呈若干排；所述的小弧源接口列与列之间呈品字形排列；在所述的小弧源接口之间设置视窗接口；在所述的镀膜腔体的一侧设置若干个主抽口；在所述的镀膜腔体的反面设置腔体门；在所述的腔体门的下方设置若干个门上旋转多弧接口；在所述的腔体门上同样设置若干个视窗接口。/n

【技术特征摘要】
1.一种工具镀膜腔体，其特征在于，包括镀膜腔体、底架、视窗接口、小弧源接口、主抽口、门上旋转多弧接口、腔体门；所述的底架上设置镀膜腔体；在所述的镀膜腔体的正面上设置若干个小弧源接口；所述的小弧源接口呈若干排；所述的小弧源接口列与列之间呈品字形排列；在所述的小弧源接口之间设置视窗接口；在所述的镀膜腔体的一侧设置若干个主抽口；在所述的镀膜腔体的反面设置腔体门；在所述的腔体门的下方设置若干个门上旋转多弧接口；在所述的腔体门上同样设置若干个视窗接口。


2.如权利要求1所述的工具镀膜腔体，其特征在于，所述的镀膜腔体呈圆柱体结构；所述的腔体门同样为圆弧结构。


3.如权利要求1所述的工具镀膜腔体，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊凯，杨元才，褚景豫，钱鹏亮，王慧峰，
申请(专利权)人：上海福宜真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31