本发明专利技术公开了一种离子镀膜用引弧装置及离子镀膜装置，涉及离子镀膜技术领域，包括引弧钩、连接杆、波纹管、驱动装置和密封绝缘件，离子镀膜装置的真空腔室侧壁上设有一安装孔，密封绝缘件固定在安装孔内并与安装孔形成密封连接，驱动装置的输出轴穿过密封绝缘件并与连接杆的一端固定连接，驱动装置能够驱动连接杆沿轴向作往复运动，波纹管的一端与密封绝缘件的一端固定连接、另一端固定套设于连接杆外并与连接杆形成密封连接，连接杆穿过波纹管与引弧钩固定连接；离子镀膜装置包括真空腔室和上述的离子镀膜用引弧装置。本发明专利技术中，驱动装置带动引弧钩运动，作用力大，不易粘钩，设置波纹管进行静态密封，真空腔室密封性好、真空不易被破坏。
【技术实现步骤摘要】
一种离子镀膜用引弧装置及离子镀膜装置
本专利技术涉及离子镀膜
，特别是涉及一种离子镀膜用引弧装置及离子镀膜装置。
技术介绍
在多弧离子镀膜领域，常用的引弧装置分为两种，一种是线圈引弧的电动引弧装置，通过线圈通电产生磁场来带动引弧钩运动，引弧成功后，线圈断电并通过弹簧使引弧钩复位，实现引弧钩往复运动，此种方案虽能保证密封性，但线圈通电产生的磁场磁力较小，与之配合的弹簧弹力也较小，不仅使得引弧钩的运动行程较短，而且极易因引弧发热发生粘钩现象，导致引弧钩无法回弹，造成短路；另一种则是靠骨架油封密封的离子镀膜用引弧装置，向气缸内通入压缩空气，由气缸轴带动引弧钩作往复运动，此种方案虽然引弧钩的行程长，离子镀膜用动力大，不容易粘钩，但是由与骨架油封密封是一种动态密封，气缸轴与骨架油封长期摩擦，使得密封部位容易漏气，破坏真空腔室内的真空。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种离子镀膜用引弧装置及离子镀膜装置，以解决上述现有技术存在的问题，使引弧装置不易粘钩，真空腔室的密封性好、真空不易被破坏。为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：本专利技术提供一种离子镀膜用引弧装置，包括引弧钩、连接杆、波纹管、驱动装置和密封绝缘件，离子镀膜装置的真空腔室侧壁上设有一安装孔，所述密封绝缘件用于设置固定在所述安装孔内并与所述安装孔形成密封连接，所述驱动装置的输出轴穿过所述密封绝缘件并与所述连接杆的一端固定连接，所述驱动装置能够驱动所述连接杆沿轴向作往复运动，所述波纹管的一端与所述密封绝缘件的一端固定连接，所述波纹管的另一端固定套设于所述连接杆外并与所述连接杆形成密封连接，所述连接杆穿过所述波纹管与所述引弧钩固定连接。优选的，所述驱动装置固定设置在所述真空腔室侧壁上。优选的，所述驱动装置为缸体固定式双活塞杆双作用气缸，所述双活塞杆双作用气缸的两根活塞杆分别为第一活塞杆和第二活塞杆，所述第一活塞杆与所述连接杆固定连接，包括限位调节杆和限位挡块，所述限位调节杆设有两个，所述双活塞杆双作用气缸的缸体靠近所述第一活塞杆的一端用于与真空腔室侧壁固定连接，所述双活塞杆双作用气缸的缸体靠近所述第二活塞杆的一端固定设置有两个所述限位调节杆，所述限位挡块的两端分别套设在两所述限位调节杆上并由固定装置固定，所述限位挡块用于限定所述第二活塞杆的移动距离。优选的，所述密封绝缘件和所述缸体固定式双活塞杆双作用气缸上用于与真空腔室侧壁连接的一端均设有一凸缘，各所述凸缘通过同一固定螺栓与真空腔室侧壁连接，所述密封绝缘件与真空腔室侧壁的连接部上设有密封圈。优选的，所述第二活塞杆包括主杆和延长杆，所述延长杆与所述主杆螺纹连接，旋进或旋出所述延长杆能够调节所述第二活塞杆的长度。优选的，所述密封绝缘件包括第一绝缘套、第二绝缘套和密封套，所述第一绝缘套固定套设在所述密封套外，所述波纹管与所述密封套的一端固定连接，所述第二绝缘套固定套设在所述波纹管与所述密封套的连接部外，且所述第二绝缘套能够包覆所述密封套未被所述第一绝缘套覆盖的部分。优选的，包括引弧钩调节管和锁紧环，所述引弧钩固定设置在所述引弧钩调节管的一端，所述引弧钩调节管的另一端套接在所述连接杆上，所述引弧钩调节管与所述连接杆连接的一端设有外螺纹，所述引弧钩调节管与所述连接杆连接的一端沿轴向方向设有豁口，所述锁紧环设有内螺纹，所述锁紧环与所述引弧钩连接杆螺纹连接,所述引弧钩与所述引弧钩调节管通过一螺栓固定连接。优选的，所述连接杆的一端沿轴向方向开有盲孔，所述盲孔设有内螺纹，所述第一活塞杆的自由端设有外螺纹，所述连接杆与所述第一活塞杆通过所述内螺纹和所述外螺纹固定连接,所述第一活塞杆的自由端上设有锁紧螺母，所述锁紧螺母能够防止所述连接杆与所述第一活塞杆之间发生沿轴向方向的相对运动。优选的，包括波纹管推板，所述波纹管推板固定设置在所述连接杆上且位于所述波纹管的外侧,所述波纹管推板与所述波纹管接触。本专利技术还提供了一种离子镀膜装置，包括真空腔室和上述任一技术方案中所述的离子镀膜用引弧装置，所述离子镀膜用引弧装置固定设置在所述真空腔室侧壁上。本专利技术相对于现有技术取得了以下技术效果：本专利技术提供一种离子镀膜用离子镀膜用引弧装置，包括引弧钩、连接杆、波纹管、驱动装置和密封绝缘件，离子镀膜装置的真空腔室侧壁上设有一安装孔，密封绝缘件用于设置固定在安装孔内并与安装孔形成密封连接，驱动装置的输出轴穿过密封绝缘件并与连接杆的一端固定连接，驱动装置能够驱动连接杆沿轴向作往复运动，波纹管的一端与密封绝缘件的一端固定连接，波纹管的另一端固定套设于连接杆外并与连接杆形成密封连接，连接杆穿过波纹管与引弧钩固定连接，由驱动装置带动连接杆运动，进而带动引弧钩运动，使得引弧钩受到的作用力大，引弧完成后引弧钩不易与靶材粘连，不易引起电路短路，设置波纹管进行静态密封，波纹管与连接杆连接的一端与连接杆之间不发生相对运动，为静态密封，使得真空腔室密封性好、真空不易被破坏。进一步的，驱动装置固定设置在真空腔室侧壁上，使得驱动装置与真空腔室紧固连接，保证了引弧钩的行程为设定值。进一步的，驱动装置为缸体固定式双活塞杆双作用气缸，双活塞杆双作用气缸的两根活塞杆分别为第一活塞杆和第二活塞杆，第一活塞杆与连接杆固定连接，使得可以从现有的气缸中选择适用的气缸，方便取材，而且以压缩空气作为动力来源，节省加工成本，还包括限位调节杆和限位挡块，限位调节杆设有两个，双活塞杆双作用气缸的缸体靠近第一活塞杆的一端用于与真空腔室侧壁固定连接，双活塞杆双作用气缸的缸体靠近第二活塞杆的一端固定设置有两个限位调节杆，限位挡块的两端分别套设在两限位调节杆上并由固定装置固定，限位挡块用于限定第二活塞杆的移动距离，限位调节杆和限位挡块通过限定第二活塞杆的移动距离来限定引弧钩的行程，保证引弧钩的行程为设定值，调整限位挡块的位置便可调整引弧钩的行程。进一步的，密封绝缘件和缸体固定式双活塞杆双作用气缸上用于与真空腔室侧壁连接的一端均设有一凸缘，各凸缘通过同一固定螺栓与真空腔室侧壁连接，密封绝缘件与真空腔室侧壁的连接部上设有密封圈，密封绝缘件上设置凸缘使得绝缘密封件与真空腔室侧壁稳固连接，不易因受运动部件的影响而松动，从而导致装置无法工作，气缸上用于与真空腔室侧壁连接的一端设置凸缘，使得气缸与真空腔室紧固连接，保证了引弧钩行程与设定值相同，各凸缘通过同一固定螺栓与真空腔室侧壁连接，在保证连接强度的前提下可以节省物料，设置密封圈，可以加强真空腔室的密封。进一步的，第二活塞杆包括主杆和延长杆，延长杆与主杆螺纹连接，旋进或旋出延长杆能够调节第二活塞杆的长度，进而可微调第二活塞杆的移动距离，进而可以微调引弧钩的行程，便于精确调节引弧钩的行程。进一步的，密封绝缘件包括第一绝缘套、第二绝缘套和密封套，第一绝缘套固定套设在密封套外，波纹管与密封套的一端固定连接，波纹管与密封套连接，使得密封套可以选用最适用的材料，保证波纹管与密封套之间的密封连接；第一绝缘套和第二绝缘套均采用绝缘材料，第二绝缘套固定套设在波纹管与所述密封本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种离子镀膜用引弧装置，其特征在于：包括引弧钩、连接杆、波纹管、驱动装置和密封绝缘件，离子镀膜装置的真空腔室侧壁上设有一安装孔，所述密封绝缘件用于设置固定在所述安装孔内并与所述安装孔形成密封连接，所述驱动装置的输出轴穿过所述密封绝缘件并与所述连接杆的一端固定连接，所述驱动装置能够驱动所述连接杆沿轴向作往复运动，所述波纹管的一端与所述密封绝缘件的一端固定连接，所述波纹管的另一端固定套设于所述连接杆外并与所述连接杆形成密封连接，所述连接杆穿过所述波纹管与所述引弧钩固定连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种离子镀膜用引弧装置，其特征在于：包括引弧钩、连接杆、波纹管、驱动装置和密封绝缘件，离子镀膜装置的真空腔室侧壁上设有一安装孔，所述密封绝缘件用于设置固定在所述安装孔内并与所述安装孔形成密封连接，所述驱动装置的输出轴穿过所述密封绝缘件并与所述连接杆的一端固定连接，所述驱动装置能够驱动所述连接杆沿轴向作往复运动，所述波纹管的一端与所述密封绝缘件的一端固定连接，所述波纹管的另一端固定套设于所述连接杆外并与所述连接杆形成密封连接，所述连接杆穿过所述波纹管与所述引弧钩固定连接。
2.根据权利要求1所述的离子镀膜用引弧装置，其特征在于：所述驱动装置固定设置在所述真空腔室侧壁上。
3.根据权利要求1所述的离子镀膜用引弧装置，其特征在于：所述驱动装置为缸体固定式双活塞杆双作用气缸，所述双活塞杆双作用气缸的两根活塞杆分别为第一活塞杆和第二活塞杆，所述第一活塞杆与所述连接杆固定连接，包括限位调节杆和限位挡块，所述限位调节杆设有两个，所述双活塞杆双作用气缸的缸体靠近所述第一活塞杆的一端用于与真空腔室侧壁固定连接，所述双活塞杆双作用气缸的缸体靠近所述第二活塞杆的一端固定设置有两个所述限位调节杆，所述限位挡块的两端分别套设在两所述限位调节杆上并由固定装置固定，所述限位挡块用于限定所述第二活塞杆的移动距离。
4.根据权利要求3所述的离子镀膜用引弧装置，其特征在于：所述密封绝缘件和所述缸体固定式双活塞杆双作用气缸上用于与真空腔室侧壁连接的一端均设有一凸缘，各所述凸缘通过同一固定螺栓与真空腔室侧壁连接，所述密封绝缘件与真空腔室侧壁的连接部上设有密封圈。
5.根据权利要求3所述的离子镀膜用引弧装置，其特征在于：所述第二活塞杆包括主杆和延长杆，...
【专利技术属性】
技术研发人员：彭建，田琳，夏虎，
申请(专利权)人：北京泰科诺科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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