一种机械手及石墨烯薄膜连续规模化沉积设备制造技术

本申请涉及一种机械手及石墨烯薄膜连续规模化沉积设备，其包括依次设置的进样室、沉积室、冷却室和机械手；所述机械手包括驱动装置、丝杆和推杆；所述丝杆的一端安装在所述驱动装置上，另一端水平延伸，所述推杆沿着所述丝杆的长度方向滑动安装在所述丝杆上；所述进样室内设置有小车，所述机械手将所述小车从所述进样室推动至所述冷却室。本申请具有保护沉积室的使用寿命不受到折损，节省能源的效果。节省能源的效果。节省能源的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种机械手及石墨烯薄膜连续规模化沉积设备


[0001]本申请涉及石墨烯沉积的领域，尤其是涉及一种机械手及石墨烯薄膜连续规模化沉积设备。

技术介绍

[0002]石墨烯（Graphene）是一种以sp
²
杂化连接的碳原子紧密堆积成单层二维蜂窝状晶格结构的新材料，石墨烯常见的粉体生产的方法有化学气相沉积法（CVD）。化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。
[0003]目前，石墨烯沉积炉是周期式沉积，沉积炉需要升温到沉积温度，沉积后试样要随炉冷却到室温才能取样，进行下一次沉积时，再进行升温、降温，炉体长期快速升降温对炉体的加热系统和控温系统会造成一定的损坏，缩短使用寿命，浪费能源。
[0004]针对上述中的相关技术，专利技术人认为存在有现有的石墨烯沉积设备为周期式沉积，会导致沉积设备使用寿命缩短的缺陷。

技术实现思路

[0005]为了改善现有的石墨烯沉积设备为周期式沉积，导致沉积设备使用寿命缩短的技术问题，本申请提供一种机械手及石墨烯薄膜连续规模化沉积设备。
[0006]本申请提供的一种机械手及石墨烯薄膜连续规模化沉积设备，采用如下的技术方案：
[0007]一种机械手，包括驱动装置、丝杆和推杆；所述丝杆的一端安装在所述驱动装置上，另一端水平延伸，所述推杆沿着所述丝杆的长度方向滑动安装在所述丝杆上。
[0008]通过采用上述技术方案，丝杆在驱动装置的作用下转动，从而带动推杆沿着丝杆的长度方向运动，使得该种机械手使用方便，且结构简单。
[0009]可选的，所述驱动装置包括第一电机，所述丝杆的一端与所述第一电机连接，所述丝杆上滑动安装有滑动板，推杆的一端安装在所述滑动板上。
[0010]通过采用上述技术方案，使得丝杆在第一电机的作用下转动时，滑动板沿着丝杆的长度方向运动，从而带动推杆也沿着丝杆的长度方向运动，使得推杆和丝杆的连接结构简单，操作便捷，制作简单。
[0011]可选的，所述驱动装置还包括第二电机，所述第二电机固设在所述滑动板上，所述滑动板上还设置有主动轮和从动轮，所述第二电机与所述主动轮连接，所述推杆与所述从动轮连接，所述从动轮和所述主动轮相互配合。
[0012]通过采用上述技术方案，使得推杆在第二电机的作用下可进行自转，从而方便推杆推动。
[0013]可选的，还包括底座，所述第一电机固定安装在所述底座上，所述底座上还固设有
导向杆，所述滑动板上开设有导向孔，所述导向杆穿设在所述导向孔内。
[0014]通过采用上述技术方案，导向杆的设置使得滑动板在滑动剁成中始终沿着导向杆的长度方向移动，从而保证推杆也沿着导向杆的长度方向运动，提高推杆运动时前进方向的精确度。
[0015]一种石墨烯薄膜连续规模化沉积设备，包括依次设置的进样室、沉积室、冷却室和权利要求1
‑
4中任一项所述的机械手；所述进样室内设置有小车，所述机械手将所述小车从所述进样室推动至所述冷却室。
[0016]通过采用上述技术方案，通过机械手将进样室内的小车推入到沉积室内，待小车内的材料在沉积室反应完成后，再由机械手将小车从沉积室拉到冷却室中降温，由此使得石墨烯薄膜的生产过程连续化，避免了石墨烯在生成时仅在沉积室内进行升降温，保护了沉积室的使用寿命不受到折损，节省能源。
[0017]可选的，所述小车包括两个承载单元，每个所述承载单元内均设置有多个料盒。
[0018]通过采用上述技术方案，料盒用于放置材料，设置多个料盒设置单位时间内可生成更多的石墨烯薄膜，实现有限空间的合理利用，提高生产效率。
[0019]可选的，所述料盒底部设置有铜粉。
[0020]通过采用上述技术方案，将铜粉作为基底，使得通过化学气相沉积法在铜粉上生长石墨烯而得到的铜基石墨烯复合材料有着较高的抗拉强度、电导率和延伸率。
[0021]可选的，所述进样室和所述沉积室之间设置有阀门装置，所述阀门装置包括靠近进样室设置的第一道阀门和靠近沉积室设置的第二道阀门。
[0022]通过采用上述技术方案，阀门装置的设置将进样室和沉积室隔离开，进行高温隔离。
[0023]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0024]1.通过机械手将进样室内的小车推入到沉积室内，待小车内的材料在沉积室反应完成后，再由机械手将小车从沉积室拉到冷却室中降温，由此使得石墨烯薄膜的生产过程连续化，避免了石墨烯在生成时仅在沉积室内进行升降温，保护了沉积室的使用寿命不受到折损，节省能源；
[0025]2.丝杆在驱动装置的作用下转动，从而带动推杆沿着丝杆的长度方向运动，使得该种机械手使用方便，且结构简单。
附图说明
[0026]图1是本申请实施例中机械手的结构示意图。
[0027]图2是本申请实施例的示意图。
[0028]图3是本申请实施例中小车的示意图。
[0029]图4是本申请实施例中小车的结构示意图。
[0030]附图标记说明：1、底座；11、固定板；111、通孔；12、轴承；2、驱动装置；21、第一电机；22、第二电机；3、丝杆；31、滑动板；311、螺纹孔；312、插孔；313、主动轮；314、从动轮；315、导向孔；316、导向杆；317、导向筒；4、推杆；41、推块；5、钢丝绳；6、进样室；61、箱体；611、门；62、控制装置；63、支撑架；631、支撑板；632、支撑腿；633、安装孔；64、滑道；7、沉积室；8、冷却室；9、小车；91、侧板；911、圆孔；92、支板；93、承载单元；931、连接组件；9311、连
接杆；932、料盒；94、把手；95、车轮；10、阀门装置；101、第一道阀门；102、第二道阀门；20、机械手。
具体实施方式
[0031]以下结合附图1
‑
4对本申请作进一步详细说明。
[0032]本申请实施例公开一种机械手及石墨烯薄膜连续规模化沉积设备。参照图1，一种机械手包括底座1、安装在底座1上的驱动装置2、与驱动装置2固定连接的丝杆3以及沿着丝杆3长度方向滑动安装在丝杆3上的推杆4；丝杆3远离驱动装置2的一端与石墨烯薄膜连续规模化沉积设备连接，推杆4在驱动装置2的作用下沿着丝杆3的长度方向伸入到石墨烯薄膜连续规模化沉积设备内部，用于推动石墨烯薄膜连续规模化沉积设备内部的装置。
[0033]参照图1，驱动装置2包括第一电机21和第二电机22；第一电机21固定安装在底座1的一侧，底座1背离第一电机21的一侧固设有固定板11，底座1的上端开设有穿孔（图中不做标注），固定板11的上端开设有通孔111，穿孔和通孔111的中心轴线重合，第一电机21的轴依次穿过穿孔和通孔111，且第一电机21的轴和穿孔、通孔111之间设置有轴承12，第一电机21的轴与丝杆3的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机械手，其特征在于：包括驱动装置(2)、丝杆(3)和推杆(4)；所述丝杆(3)的一端安装在所述驱动装置(2)上，另一端水平延伸，所述推杆(4)沿着所述丝杆(3)的长度方向滑动安装在所述丝杆(3)上。2.根据权利要求1所述的一种机械手，其特征在于：所述驱动装置(2)包括第一电机(21)，所述丝杆(3)的一端与所述第一电机(21)连接，所述丝杆(3)上滑动安装有滑动板(31)，推杆(4)的一端安装在所述滑动板(31)上。3.根据权利要求2所述的一种机械手，其特征在于：所述驱动装置(2)还包括第二电机(22)，所述第二电机(22)固设在所述滑动板(31)上，所述滑动板(31)上还设置有主动轮(313)和从动轮(314)，所述第二电机(22)与所述主动轮(313)连接，所述推杆(4)与所述从动轮(314)连接，所述从动轮(314)和所述主动轮(313)相互配合。4.根据权利要求3所述的一种机械手，其特征在于：还包括底座(1)，所述第一电机(21)固定安装在所述底座(1)上，所述底座(1)上还固设有导向杆(316)，所述滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢实洋，
申请(专利权)人：北京泰科诺科技有限公司，
类型：新型
国别省市：