【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种快速换靶双面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机，包括真空室(1)、设于真空室(1)两侧的开卷室(2)和收卷室(9)、设于开卷室(2)内的开卷机构(201)、设于收卷室(9)内的收卷机构(901)和设于真空室(1)内的两组冷辊(8)，其特征在于：还包括回转换靶装置(10)和纠偏装置(5)，所述的开卷机构(201)和收卷机构(901)之间的基带(4)经过换向辊(7)换向后呈“S”形缠绕于两组冷辊(8)上，所述的开卷机构(201)和收卷机构(901)处各设置一组纠偏装置(5)，且开卷机构(201)和收卷机构(901)带动基带(4)实现往复运动；所述的两组冷辊(8)缠绕有基带(4)的圆周表面上各对应设置有一组两面开口的阴极小室(11)，两组阴极小室(11)各对应设置一组回转换靶装置(10)，且每组回转换靶装置(10)、阴极小室(11)和冷辊(8)位于同一轴线上；所述的回转换靶装置(10)包括机座(1001)、回转盘(1004)、驱动回转盘(1004)转动的回转机构、驱动回转盘(1004)沿轴向伸缩的轴向伸缩机构(1002)、安装于回转盘(1004)上的两个或两个以上的伸缩轴套(1005)、安装...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：朱锡芳，杨辉，徐安成，陈功，许清泉，
申请(专利权)人：常州工学院，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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