一种真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机，其内设有镀膜室，在镀膜室内可转动地安装有工件转架，真空镀膜机还包括循环水冷系统，循环水冷系统设有冷却水流动管，冷却水流动管布置在工件转架内，可对工件转架上所装挂工件进行冷却，在工件转架的一端设有传动轴，传动轴穿出镀膜室并与安装在镀膜室外面的电机连接，在传动轴的外端安装有旋转水管接头，进出的冷却水流动管通过旋转水管接头与外部水源连接。本实用新型专利技术解决了不耐温工件连续镀膜时的温升问题，能对不耐温工件进行连续镀膜。

A Vacuum Coating Machine

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机
本技术涉及一种真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜机一般配置阴极电弧源或磁控溅射靶分区分立地安装在镀膜室侧壁上，向镀膜室内发射靶材镀料等离子体。镀膜室内装有工件转架，工件转架由电机带动转动，被镀工件吊挂或装夹在工件转架上，随着工件转架作公转和/或自转运动，这样工件通过靶前区时能从多角度接受靶发射的等离子体并沉积成膜。通过工件转架的转动可有效提高镀层均匀性。但在镀膜过程中由于工件不断接受荷能粒子的轰击，工件的温度不断提高，且在真空中散热效果很差，因此某些工件基体温升会超过其允许值(如塑胶)，当超过其允许值时只能中断镀膜过程，这会对于膜层连续生长造成不利影响。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题，就是提供一种真空镀膜机，解决了不耐温工件连续镀膜时的温升问题，能对不耐温工件进行连续镀膜。解决上述技术问题，本技术采用的技术方案如下：一种真空镀膜机，其内设有镀膜室，在镀膜室内可转动地安装有工件转架，其特征是，所述真空镀膜机还包括循环水冷系统，循环水冷系统设有冷却水流动管，冷却水流动管布置在工件转架内，对工件转架进行冷却，在工件转架的一端设有传动轴，传动轴穿出镀膜室并与安装在镀膜室外面的电机连接，在传动轴的外端安装有旋转水管接头，进出的冷却水流动管通过旋转水管接头与外部水源连接。所述旋转水管接头包括旋转盖底座和旋转盖，旋转盖底座固定安装在传动轴的外端，旋转盖可转动的密封套装在旋转盖底座的外端，在旋转盖内面与旋转盖底座的外端之间形成连通腔，在旋转盖上设置有系统进水口和位于中间的系统出水口，系统进水口与连通腔连通，在旋转盖底座中设有进水通道和位于旋转盖底座中间的出水通道，进水通道的进水端与连通腔连通，进水通道的出水端与冷却水流动管的进水端连接，出水通道的出水端从旋转盖底座的外端穿出，并穿过连通腔，并可转动的密封插接在系统出水口的里端，出水通道的进水端与冷却水流动管的出水端连接。在旋转盖底座内设有相互隔离开的上汇水腔和下汇水腔，上汇水腔通过连通孔与连通腔连通，进水通道的进水端与上汇水腔连通，出水通道的进水端与下汇水腔连通，下汇水腔再与冷却水流动管的出水端连通。所述旋转盖底座的外侧壁与旋转盖的内侧壁之间通过第一轴承连接，且在旋转盖底座的外侧壁与旋转盖的内侧壁之间还设有用于密封的油封，油封位于连通腔与第一轴承之间。在所述传动轴上安装有第一同步带轮，第一同步带轮位于镀膜室外边，在第一同步带轮的侧边通过固定架安装有减速箱，在减速箱的输出轴上安装有第二同步带轮，第一同步带轮与第二同步带轮通过同步带连接，减速箱的输入端与电机连接。在所述镀膜室的上顶壁外安装有磁流体密封件，且磁流体密封件套于传动轴上，以达到动密封。所述循环水冷系统设有多条冷却水流动管和分流盘，分流盘安装在工件转架内，在分流盘内设有进水分流道和出水汇流道，在分流盘的表面设有与进水分流道连通的分进水连接口和总进水连接口，在分流盘的表面还设有与出水汇流道连通的分出水连接口和总出水连接口，分进水连接口和分出水连接口的数量分别与冷却水流动管的数量相同，分进水连接口和分出水连接口分别与冷却水流动管的进水端和出水端连接，总进水连接口和总出水连接口分别与进水通道的出水端和出水通道的进水端连接。所述传动轴的中轴线处设有中部通孔，在中部通孔内设有进水管和出水管，进水管的进水端与进水通道的出水端连接，进水管的出水端与总进水连接口连接，出水管的进水端与总出水连接口连接，出水管的出水端与出水通道的进水端连接。在传动轴的下端设有第二轴肩，在工件转架的顶板开有安装孔，并在安装孔中焊接固定有连接环座，在连接环座的侧壁上开有螺纹孔，传动轴的下端插入连接环座的中间孔中并从连接环座的下面穿出，第二轴肩抵靠在连接环座的上端面上，在传动轴的穿出连接环座下面的部分的侧壁上设有外螺纹，并配合拧有锁紧螺母，从而将传动轴锁紧在连接环座上，在传动轴的下端对应螺纹孔的位置开有盲孔，在螺纹孔中拧进有锁定螺栓，锁定螺栓的里端插入盲孔中，从而可防止传动轴相对连接环座转动。在传动轴的下端通过螺钉固定安装有用于封住传动轴下端口的传动轴封板，在传动轴封板上设置有进水导管和出水导管，进水管的出水端与进水导管的上端连接，进水导管的下端通过高压金属波纹管与总进水连接口连接，出水管的进水端与出水导管的上端连接，出水导管的下端通过高压金属波纹管与总出水连接口连接。与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：1、本技术在真空镀膜机内成功设置循环水冷系统，将循环水冷系统的冷却水流动管布置在工件转架内对工件转架及工件转架上的工件进行冷却，解决了不耐温工件连续镀膜时的温升问题，能对不耐温工件(如塑胶和低熔点合金)进行连续镀膜，扩大了真空镀膜机的可镀工件材质范围。2、现有的真空镀膜机为适应不耐温工件镀膜无奈以压低镀膜功率或采用间歇镀膜方式来控制工件温升，对镀膜质量造成极大影响，本技术可不受上述不利条件所限，有利于进行更合理的工艺镀膜，提高膜层质量。3、本技术通过旋转水管接头解决了随工件转架转动的冷却水流动管与外部静止的水源连接的问题。4、本技术的旋转水管接头的结构简单紧湊，设计合理。附图说明图1是本技术的剖视示意图；图2是图1中Ⅱ处的放大示意图；图3是图1中Ⅰ处的放大示意图；图4是图1中Ⅳ处的放大示意图；图5是图1中Ⅲ处的放大示意图；图6是本技术的分流盘的结构示意图；图7是本技术的分流盘的剖视示意图；图8是图7中A处的放大示意图；图9是本技术的分流盘的分流示意图；图10是本技术的工件转架的结构示意图；图11是本技术的工件转架的剖视示意图；图12是本技术的冷却水流动管安装在侧围板上的示意图；图13是本技术的冷却水流动管安装在侧围板上的侧视示意图；图14是本技术的水管压板与冷却水流动管的装配关系示意图；图15是本技术的定型加強筋与冷却水流动管的装配关系示意图。图中附图标记含义：1-1系统进水口；1-2系统出水口；1-3第一水咀；1-4第三水咀；1-5第二水咀；1-6第四水咀；1-9连通腔；1-10上汇水腔；1-11下汇水腔；2第一密封圈；3旋转盖；4油封；5隔环；6第一轴承；7环形盖板；8旋转盖底座；8-1连通孔；8-2出水通道；8-3中隔板；8-4进水通道；9止转件；10同步带；11第一同步带轮；12传动轴；12-1上端封盖；12-2磁流体密封件；13-1进水管；13-2出水管；15锁紧螺母；16刀；16-1进水导管；16-2出水导管；17分流盘；17-1出水汇流道；17-2进水分流道；17-3总出水连接口；17-4总进水连接口；17-5分出水连接口；17-6分进水连接口；18高压金属波纹管；19限位轴；19-1连接件；20限位座；20-1第二同步带轮；21减速箱；22电机；23固定架；25第二密封圈；26第二轴承；27工件转架；28镀膜室的上顶壁；29镀膜室；30镀膜室内底面；31顶板；31-1连接环座；31-2锁定螺栓；32底板；33支撑立杆；35围板螺钉；36法兰座；37-1连接头；38环状流道封板；40侧围板；41水管连接头；42冷却水流动管；43水管压板；44定型加強筋。具体实施方式下面结合实施例对本技术进一步描述。如图1所示为本实施例的真空本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜机，其内设有镀膜室，在所述镀膜室内可转动地安装有工件转架，其特征是，所述真空镀膜机还包括循环水冷系统，所述循环水冷系统设有冷却水流动管，所述冷却水流动管布置在所述工件转架内，对所述工件转架进行冷却，在所述工件转架的一端设有传动轴，所述传动轴穿出所述镀膜室并与安装在镀膜室外面的电机连接，在所述传动轴的外端安装有旋转水管接头，进出的冷却水流动管通过所述旋转水管接头与外部水源连接。

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机，其内设有镀膜室，在所述镀膜室内可转动地安装有工件转架，其特征是，所述真空镀膜机还包括循环水冷系统，所述循环水冷系统设有冷却水流动管，所述冷却水流动管布置在所述工件转架内，对所述工件转架进行冷却，在所述工件转架的一端设有传动轴，所述传动轴穿出所述镀膜室并与安装在镀膜室外面的电机连接，在所述传动轴的外端安装有旋转水管接头，进出的冷却水流动管通过所述旋转水管接头与外部水源连接。2.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于：所述旋转水管接头包括旋转盖底座和旋转盖，所述旋转盖底座固定安装在所述传动轴的外端，所述旋转盖可转动的密封套装在所述旋转盖底座的外端，在所述旋转盖内面与旋转盖底座的外端之间形成连通腔，在所述旋转盖上设置有系统进水口和位于中间的系统出水口，所述系统进水口与连通腔连通，在所述旋转盖底座中设有进水通道和位于旋转盖底座中间的出水通道，所述进水通道的进水端与所述连通腔连通，所述进水通道的出水端与所述冷却水流动管的进水端连接，所述出水通道的出水端从所述旋转盖底座的外端穿出，并穿过所述连通腔，并可转动的密封插接在系统出水口的里端，所述出水通道的进水端与所述冷却水流动管的出水端连接。3.根据权利要求2所述的真空镀膜机，其特征在于：在所述旋转盖底座内设有相互隔离开的上汇水腔和下汇水腔，所述上汇水腔通过连通孔与所述连通腔连通，所述进水通道的进水端与所述上汇水腔连通，所述出水通道的进水端与所述下汇水腔连通，所述下汇水腔再与冷却水流动管的出水端连通。4.根据权利要求2或3所述的真空镀膜机，其特征在于：所述旋转盖底座的外侧壁与所述旋转盖的内侧壁之间通过第一轴承连接，且在所述旋转盖底座的外侧壁与所述旋转盖的内侧壁之间还设有用于密封的油封，所述油封位于所述连通腔与第一轴承之间。5.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于：在所述传动轴上安装有第一同步带轮，所述第一同步带轮位于所述镀膜室外边，在所述第一同步带轮的侧边通过固定架安装有减速箱，在所述减速箱的输出轴上安装有第二同步带轮，所述第一同步带轮与第二同步带轮通过同步带连接，所述减速箱的输入端与...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志荣，陈思，
申请(专利权)人：东莞市汇成真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44