一种射频电源切换装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种射频电源切换装置，涉及射频电源技术领域。本实用新型专利技术包括：射频电源；射频电源上设置有射频输入端、第一射频输出端以及第二射频输出端；射频电源上还设置有位置切换开关；第一射频输出端与第二射频输出端并联；位置切换开关切换到第一射频档位时，射频电源与第一射频输出端连通；位置切换开关切换到第二射频档位时，射频电源与第二射频输出端连通。本实用新型专利技术通过位置切换开关切换射频电源分别与第一射频输出端、第二射频输出端连接；实现同一射频电源通过位置切换开关切换为不同的磁控溅射镀膜设备供电，降低成本；同时避免拆卸线缆，便于操作，适用性强。

A switching device of RF power supply

【技术实现步骤摘要】
一种射频电源切换装置
本技术属于射频电源
，特别是涉及一种射频电源切换装置。
技术介绍
射频电源应用在磁控溅射镀膜设备上，每台射频电源对一个靶位进行溅射镀膜；但磁控设备不止一个靶，因此在每个靶都要工作的时候需要配多个射频电源或者用一个电源拆卸线缆换到需要工作靶位上。现在多个靶配多个射频电源会增加成本；若是用一个射频电源将线缆换到其余靶位上会浪费时间。因此，亟需一种射频电源能够为多个射频设备供电，解决现有的射频设备只能单独具备射频电源导致的成本较高以及拆卸线缆浪费时间的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种射频电源切换装置，通过射频电源上设置有射频输入端以及相并联的第一射频输出端、第二射频输出端；并通过位置切换开关切换射频电源分别与第一射频输出端、第二射频输出端连接，解决了现有的射频设备只能单独具备射频电源导致的成本较高以及拆卸线缆浪费时间的问题。为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：本技术为一种射频电源切换装置，包括射频电源；所述射频电源上设置有射频输入端、第一射频输出端以及第二射频输出端；所述射频电源上还设置有位置切换开关；所述第一射频输出端与第二射频输出端并联；所述位置切换开关切换到第一射频档位时，所述射频电源与第一射频输出端连通；所述位置切换开关切换到第二射频档位时，所述射频电源与第二射频输出端连通。本技术的一个方面具有以下有益效果：本技术通过射频电源上设置有射频输入端以及相并联的第一射频输出端、第二射频输出端；并通过位置切换开关切换射频电源分别与第一射频输出端、第二射频输出端连接；实现同一射频电源通过位置切换开关切换为不同的磁控溅射镀膜设备供电，降低成本；同时避免拆卸线缆，便于操作，适用性强。当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术一种射频电源切换装置结构示意图；图2为本技术一种射频电源切换装置的面板图；附图中，各标号所代表的部件列表如下：11-射频输入端，12-第一射频输出端，13-第二射频输出端，2-位置切换开关，21-第一射频档位，22-第二射频档位。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“开孔”、“上”、“中”、“长度”、“内”等指示方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。请参阅图1所示，本技术为一种射频电源切换装置，包括：射频电源；射频电源上设置有射频输入端11、第一射频输出端12以及第二射频输出端13；射频电源上还设置有位置切换开关2；第一射频输出端12与第二射频输出端13并联；位置切换开关2切换到第一射频档位21时，射频电源与第一射频输出端12连通；位置切换开关2切换到第二射频档位22时，射频电源与第二射频输出端22连通。请参阅图2所示，实际使用过程中，若要为第一射频输出端12对应的磁控溅射镀膜设备供电；则切换位置切换开关2到第一射频档位21，使得射频电源与第一射频输出端12连通；若要为第二射频输出端13对应的磁控溅射镀膜设备供电，则切换位置切换开关到第二射频输出端13，使得射频电源与第二射频输出端13连通；通过位置切换开关2切换射频电源分别与第一射频输出端12、第二射频输出端13连接；实现同一射频电源通过位置切换开关2切换为不同的磁控溅射镀膜设备供电，降低成本；同时避免拆卸线缆，便于操作，适用性强。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。以上公开的本技术优选实施例只是用于帮助阐述本技术。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该技术仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本技术的原理和实际应用，从而使所属
技术人员能很好地理解和利用本技术。本技术仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种射频电源切换装置，其特征在于，包括：射频电源；所述射频电源上设置有射频输入端(11)、第一射频输出端(12)以及第二射频输出端(13)；所述射频电源上还设置有位置切换开关(2)；所述第一射频输出端(12)与第二射频输出端(13)并联；/n所述位置切换开关(2)切换到第一射频档位(21)时，所述射频电源与第一射频输出端(12)连通；所述位置切换开关(2)切换到第二射频档位(22)时，所述射频电源与第二射频输出端(13)连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种射频电源切换装置，其特征在于，包括：射频电源；所述射频电源上设置有射频输入端(11)、第一射频输出端(12)以及第二射频输出端(13)；所述射频电源上还设置有位置切换开关(2)；所述第一射频输出端(12)与第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜寰，
申请(专利权)人：沈阳中科汉达科技有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21