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本实用新型公开了一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室、靶体、靶腔、伸缩机构、靶门及翻转启闭机构，通过循环流经靶体的液体实现对靶体的降温，靶腔设置在真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与真空镀膜室连通；伸缩机构安装在靶腔的...
该专利属于东莞市汇成真空科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市汇成真空科技有限公司授权不得商用。

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