【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种电动引弧间接冷却式阴极电弧离子源。
技术介绍
在真空镀膜设备上采用阴极电弧离子源进行镀膜,具有膜层沉积速度快,结合力牢固的特点,为进一步提高膜层结合力,在阴极电弧离子源的设计上需要考虑弧靶靶材表面的垂直磁场,磁场强度是直接影响膜层结合力的关键因素之一,而目前对此没有很好的解决办法。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种采用电动引弧;调节盘螺杆一端位于阴极座内,接近靶材中心,提高靶材表面的垂直磁场的电动引弧间接冷却式阴极电弧离子源。 为实现上述目的,本技术电动引弧间接冷却式阴极电弧离子源,包括引弧系统、阴极座、屏蔽盘、法兰盘、调节盘组件、调节盘螺杆;阴极座与法兰盘之间通过螺钉连接,阴极座绝缘垫位于阴极座与螺钉之间,阴极绝缘套位于阴极座与法兰盘之间,套在阴极座上;调节盘固定件位于调节盘组件与阴极座之间,调节盘螺杆一端与调节盘组件相连,另一端位于阴极座中;屏蔽盘支撑杆位于法兰盘与屏蔽盘之间。 所述引弧系统由引弧丝、引弧杆、引弧杆外套、引弧线圈外套、线圈支架、引弧线圈外套后盖组成;引弧丝与引弧杆相连,引弧杆位于引弧杆外套内,引弧杆外套通过螺钉紧固在法兰盘上,引弧杆外套绝缘垫位于螺钉与引弧杆外套之间,引弧绝缘法兰位于引弧杆外套、引弧杆与法兰盘之间。 屏蔽环位于所述屏蔽盘上。 进水口 ,出水口位于所述阴极座上,水道位于阴极座内。 磁钢位于调节盘组件中,盖板位于磁钢外面。 法兰盘绝缘垫位于法兰盘与真空炉体连接处,法兰绝缘盘位于法兰盘与真空炉体之间。 采用这样的结构后,电磁线圈可安装在引弧线圈外套内,电磁线圈可套在线圈支架上,电磁线圈通电后,可带动引弧杆,从而带动 ...
【技术保护点】
一种电动引弧间接冷却式阴极电弧离子源,其特征在于:包括引弧系统(21)、阴极座(15)、屏蔽盘(9)、法兰盘(20)、调节盘组件(17)、调节盘螺杆(18);阴极座(15)与法兰盘(20)之间通过螺钉(22)连接,阴极座绝缘垫(12)位于阴极座(15)与螺钉(22)之间,阴极绝缘套(11)位于阴极座(15)与法兰盘(20)之间,套在阴极座(15)上;调节盘固定件(16)位于调节盘组件(17)与阴极座(15)之间,调节盘螺杆(18)一端与调节盘组件(17)相连,另一端位于阴极座(15)中;屏蔽盘支撑杆(8)位于法兰盘(20)与屏蔽盘(9)之间。
【技术特征摘要】
一种电动引弧间接冷却式阴极电弧离子源,其特征在于包括引弧系统(21)、阴极座(15)、屏蔽盘(9)、法兰盘(20)、调节盘组件(17)、调节盘螺杆(18);阴极座(15)与法兰盘(20)之间通过螺钉(22)连接,阴极座绝缘垫(12)位于阴极座(15)与螺钉(22)之间,阴极绝缘套(11)位于阴极座(15)与法兰盘(20)之间,套在阴极座(15)上;调节盘固定件(16)位于调节盘组件(17)与阴极座(15)之间,调节盘螺杆(18)一端与调节盘组件(17)相连,另一端位于阴极座(15)中;屏蔽盘支撑杆(8)位于法兰盘(20)与屏蔽盘(9)之间。2. 根据权利要求1所述的电动引弧间接冷却式阴极电弧离子源,其特征在于所述引 弧系统(21)由引弧丝(1)、引弧杆(2)、引弧杆外套(4)、引弧线圈外套(5)、线圈支架(6)、 引弧线圈外套后盖(7)组成;引弧丝(1)与引弧杆(2)相连,引弧杆(2)位于引弧杆外套 (...
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