【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜行业,特别是涉及一种真空工具镀膜的阴极电弧装置。
技术介绍
目前市场真空行业中真空阴极电弧靶的种类繁多,结构复杂,一般真空阴极电弧靶装置采用一个电弧和一个阴极电源,且装置多采用气动引弧或电磁引弧,靶材磁场约束采用永磁体,永磁体长时间使用会造成磁性减弱以及失磁,造成辉光减弱不能保证靶材的均匀刻蚀。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种真空工具镀膜的阴极电弧装置,其结构简单,且保证靶材的均匀刻蚀性。·本技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题的一种真空工具镀膜的阴极电弧装置,其特征在于,其包括靶材、辅助阳极、支撑柱、法兰板、第一密封0型圈、绝缘板、第二密封0型圈、冷水座、螺钉绝缘套、第一内六角螺钉、接线座、螺母、第二内六角螺钉、水嘴接头、第一十字盘头螺钉、电磁线圈、电磁线圈骨架、防护罩、第二十字盘头螺钉、气动引弧机构、引弧极,靶材与冷水座连接,辅助阳极通过支撑柱固定在法兰板的一面上,第一密封0型圈位于法兰板的上方,绝缘板位于第一密封0型圈和第二密封0型圈之间,螺钉绝缘套套在第一内六角螺钉上,冷水座通过第一内六角螺钉固定在法兰板的另一面上,接线座的一端位于冷水座上,螺母与第二内六角螺钉连接,水嘴接头位于电磁线圈的一侧,电磁线圈通过第一十字盘头螺钉与冷水座固定,电磁线圈骨架位于电磁线圈的上方,防护罩通过第二十字盘头螺钉与电磁线圈骨架固定,引弧极压紧在气动引弧机构上,引弧极位于靶材的下方。优选地,所述绝缘板的直径大于第一密封0型圈的直径和第二密封0型圈的直径。本技术的积极进步效果在于本技术的结构简单,维护方便,而且膜层致密性好,耐磨性提高,且 ...
【技术保护点】
一种真空工具镀膜的阴极电弧装置,其特征在于,其包括靶材、辅助阳极、支撑柱、法兰板、第一密封O型圈、绝缘板、第二密封O型圈、冷水座、螺钉绝缘套、第一内六角螺钉、接线座、螺母、第二内六角螺钉、水嘴接头、第一十字盘头螺钉、电磁线圈、电磁线圈骨架、防护罩、第二十字盘头螺钉、气动引弧机构、引弧极,靶材与冷水座连接,辅助阳极通过支撑柱固定在法兰板的一面上,第一密封O型圈位于法兰板的上方,绝缘板位于第一密封O型圈和第二密封O型圈之间,螺钉绝缘套套在第一内六角螺钉上,冷水座通过第一内六角螺钉固定在法兰板的另一面上,接线座的一端位于冷水座上,螺母与第二内六角螺钉连接,水嘴接头位于电磁线圈的一侧,电磁线圈通过第一十字盘头螺钉与冷水座固定,电磁线圈骨架位于电磁线圈的上方,防护罩通过第二十字盘头螺钉与电磁线圈骨架固定,引弧极压紧在气动引弧机构上,引弧极位于靶材的下方。
【技术特征摘要】
1.一种真空工具镀膜的阴极电弧装置,其特征在于,其包括靶材、辅助阳极、支撑柱、法兰板、第一密封O型圈、绝缘板、第二密封O型圈、冷水座、螺钉绝缘套、第一内六角螺钉、接线座、螺母、第二内六角螺钉、水嘴接头、第一十字盘头螺钉、电磁线圈、电磁线圈骨架、防护罩、第二十字盘头螺钉、气动引弧机构、引弧极,靶材与冷水座连接,辅助阳极通过支撑柱固定在法兰板的一面上,第一密封O型圈位于法兰板的上方,绝缘板位于第一密封O型圈和第二密封O型圈之间,螺钉绝缘套套在第...
【专利技术属性】
技术研发人员:王叔晖,刘竹杨,
申请(专利权)人:上海法德机械设备有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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