一种膜层球磨仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种膜层球磨仪，包括：底座；轴承座，所述轴承座固定在所述底座上；旋转轴，所述旋转轴沿水平方向固定在所述轴承座顶部，且所述旋转轴的中央设置有卡槽，所述卡槽内放置有一钢球；基座，所述基座吸附在所述底座上，所述基座上垂直设置有一支架，所述支架上固定有一支撑座，所述支撑座的顶部固定有一夹具底板，所述夹具底板上夹持有一测试片，所述测试片的一面正对所述钢球。本实用新型专利技术结构简单，操作便利。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及PVD真空镀膜的膜层检测应用领域，具体涉及到一种纳米膜层的断面获得的一种球磨仪机构，以便于进行膜层分析。
技术介绍
PVD(PhysicalVaporDeposition)，简称物理气相沉积，是指在真空条件下，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上，一般用来表面改性或镀涂层。但是在某些产品的制造过程中，在对测试基片端面进行PVD处理后，一般还要去除某一位置处的PVD膜层形成阶梯断面作为监测点进行检测，因此需要一种机器来对工件表面的PVD膜层进行去除。一般来说，移除PVD膜层的面积阶梯断面均匀，同时也要保证监测点中心部位位置处的PVD膜层被移除干净，利用现有的机器很难控制监测点面积，同时也很难控制监测点移除PVD膜层的厚度；此外，现有的机器结构比较复杂，操作维护起来也比较麻烦。
技术实现思路
本技术提供了一种膜层球磨仪，包括：底座；轴承座，所述轴承座固定在所述底座上；旋转轴，所述旋转轴沿水平方向固定在所述轴承座顶部，且所述旋转轴的中央设置有卡槽，所述卡槽内放置有一钢球；基座，所述基座吸附在所述底座上，所述基座上垂直设置有一支架，所述支架上固定有一支撑座，所述支撑座的顶部固定有一夹具底板，所述夹具底板上夹持有一测试片，所述测试片的一面正对所述钢球。上述的膜层球磨仪，其中，所述旋转轴通过一联轴器与电机相连，且所述联轴器上设置有一平键。上述的膜层球磨仪，其中，所述电机具有一调速器。上述的膜层球磨仪，其中，所述旋转轴的两端通过轴承固定在所述轴承座上。上述的膜层球磨仪，其中，所述旋转轴与所述轴承座的接触端设置有凸块。上述的膜层球磨仪，其中，所述基座为磁吸座。上述的膜层球磨仪，其中，所述支撑座通过压紧螺钉固定在所述支撑座上。上述的膜层球磨仪，其中，所述轴承座通过螺栓固定在所述底座上。上述的膜层球磨仪，其中，所述支撑座具有一旋钮，通过所述旋钮来调整所述夹具夹板与水平面之间的角度。上述的膜层球磨仪，其中，所述夹具底板的两端固定有左夹板和右夹板，通过所述左夹板和所述右夹板将所述测试片夹持在中间。在利用本技术提供的膜层球磨仪进行工作时，先将表面具有膜层的测试片夹持在夹具底板上，之后将钢球放置在旋转轴的卡槽中，并保证钢珠的球面与测试片进行接触。机器在运作时，旋转轴在旋转时会带动卡槽内的钢球进行旋转，随着钢球的不断旋转，进而将测试片的表面磨出一个圆形的测试点，测试人员取下测试片即可进行检测。本技术采用钢球作为进行研磨，因此研磨的面积较小，且移除PVD膜层的面积阶梯断面均匀，便于检测。本技术结构简单，操作便利。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术及其特征、外形和优点将会变得更明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未刻意按照比例绘制附图，重点在于示出本技术的主旨。图1为本技术提供的膜层球磨仪的正面图；图2为本技术提供的膜层球磨仪的侧面图。具体实施方式在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本技术更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本技术可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本实用新型发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。为了彻底理解本技术，将在下列的描述中提出详细的步骤以及详细的结构，以便阐释本技术的技术方案。本技术的较佳实施例详细描述如下，然而除了这些详细描述外，本技术还可以具有其他实施方式。本技术提供了一种膜层球磨仪，参照图1和图2所示，包括：底座1；轴承座2，轴承座2固定在底座1上；旋转轴5，旋转轴5沿水平方向固定在轴承座2顶部，旋转轴5的中央设置有卡槽3，卡槽3内放置有一钢球18；基座11，基座11吸附在底座1上，基座11上垂直设置有一支架20，支架20上固定有一支撑座12，支撑座12的顶部固定有一夹具底板14，夹具底板14上夹持有一测试片，测试片的一面正对钢球18。在利用本技术提供的膜层球磨仪进行工作时，先将表面具有膜层(例如PVD膜层)的测试片夹持在夹具底板14上，之后将钢球18放置在旋转轴5的卡槽3中，并保证钢珠的球面与测试片进行接触。机器在运作时，旋转轴5在旋转时会带动卡槽3内的钢球18进行旋转，随着钢球18的不断旋转，进而将测试片的表面磨出一个圆形的测试点，测试人员关闭机器后取下测试片即可进行检测。本技术采用钢球18作为进行研磨，且移除PVD膜层的面积阶梯断面均匀，便于检测。本技术结构简单，操作便利。在本技术一可选的实施例中，旋转轴5通过一联轴器8与电机10相连，且联轴器上设置有一平键7。在本技术中，通过电机10来驱动旋转轴5进行水平方向的旋转。在一实施例中，联轴器8和平键7设置在一电机座9中。在本技术一可选的实施例中，电机10具有一调速器。在本技术中，通过该调速器来调整电机10的转速，进而控制旋转轴5的旋转速度，可有效避免由于旋转轴5的转速过快进而导致旋转轴5的卡槽3内的钢球18飞出，保证了生产安全。在本技术一可选的实施例中，旋转轴5的两端通过轴承6固定在轴承座2上。在本技术一可选的实施例中，旋转轴5与轴承座2的接触端设置有凸块19，通过凸块19可有效保证旋转轴5始终固定在轴承座2上，避免随着旋转轴5的转动进而产生偏移。在本技术一可选的实施例中，基座11为磁吸座，该基座11通过吸附的方式固定在底座1上，通过这种固定方式，技术人员可移动基座11的位置(如图示左右箭头的方向)，从而调整固定在支架上的夹具底板14位置，进而使得夹具底板14上夹持的测试片正对旋转轴5凹槽内的钢球18。在本技术一可选的实施例中，支撑座12通过压紧螺钉13固定在支撑座12上。通过旋转压紧螺钉13，可调整支撑座12的高度，如图示上下箭头所示方向。在本技术一可选的实施例中，轴承座2通过螺栓4固定在底座1上。在本技术一可选的实施例中，支撑座12具有一旋钮，通过旋钮来调整夹具夹板与水平面之间的角度。如图2所示，支撑座12呈L型，支撑座12横向的部分固定在基座11上的支架上，支撑座12纵向的部分可围绕与支撑座12横向部分的衔接处进行旋转，进而调整夹具底板14的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种膜层球磨仪，其特征在于，包括：底座；轴承座，所述轴承座固定在所述底座上；旋转轴，所述旋转轴沿水平方向固定在所述轴承座顶部，且所述旋转轴的中央设置有卡槽，所述卡槽内放置有一钢球；基座，所述基座吸附在所述底座上，所述基座上垂直设置有一支架，所述支架上固定有一支撑座，所述支撑座的顶部固定有一夹具底板，所述夹具底板上夹持有一测试片，所述测试片的一面正对所述钢球。

【技术特征摘要】
1.一种膜层球磨仪，其特征在于，包括：
底座；
轴承座，所述轴承座固定在所述底座上；
旋转轴，所述旋转轴沿水平方向固定在所述轴承座顶部，且所述旋转轴的
中央设置有卡槽，所述卡槽内放置有一钢球；
基座，所述基座吸附在所述底座上，所述基座上垂直设置有一支架，所述
支架上固定有一支撑座，所述支撑座的顶部固定有一夹具底板，所述夹具底
板上夹持有一测试片，所述测试片的一面正对所述钢球。
2.如权利要求1所述的膜层球磨仪，其特征在于，所述旋转轴通过一联
轴器与电机相连，且所述联轴器上设置有一平键。
3.如权利要求2所述的膜层球磨仪，其特征在于，所述电机具有一调速
器。
4.如权利要求1所述的膜层球磨仪，其特征在于，所述旋转轴的两端通
过轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：王叔晖，孟庆学，
申请(专利权)人：上海法德机械设备有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31