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本实用新型公开了一种真空工具镀膜的阴极电弧装置，其包括靶材等元件，靶材与冷水座连接，辅助阳极通过支撑柱固定在法兰板的一面上，第一密封O型圈位于法兰板的上方，绝缘板位于第一密封O型圈和第二密封O型圈之间，螺钉绝缘套套在第一内六角螺钉上，冷水座...
该专利属于上海法德机械设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海法德机械设备有限公司授权不得商用。

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