【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种离化装置，用于蒸发镀膜装置中，用以对蒸料原子或分子进行离化，其特征在于：该离化装置包括主体及装设于主体上的热电子发射系统和磁场发生装置，该主体呈管状结构，该主体包括一侧壁，侧壁围成腔体；该热电子发射系统包括设置于腔体内或腔体边缘的电阻丝，该电阻丝与主体间设置有直流电压；该磁场发生装置包括设置于侧壁外表面的若干永磁体。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄登聪，彭立全，
申请(专利权)人：鸿富锦精密工业深圳有限公司，鸿海精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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