纯离子镀膜装置过滤器的绝缘板挡环制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种纯离子镀膜装置过滤器的绝缘板挡环，其中阴极靶材产生的等离子体向过滤器的入口移动，阴极靶材周围设置有阳极，过滤器的出口与镀膜腔室连通，镀膜腔室内放置基片，过滤器的入口位置处设置有绝缘板挡环，绝缘板挡环呈圆锥管状，绝缘板挡环的一端大管径端与过滤器的入口固定，绝缘板挡环的另一端小管径端指向过滤器内，所述阴极靶材产生的等离子体在阳极的作用下向过滤器入口方向行进，在过滤器的入口位置处设置的绝缘板挡板，绝缘板挡板设置成圆锥管状结构，其圆锥状管内壁可对大部分灰尘的有效阻挡，既把绝缘板和灰尘隔离开来，提高了绝缘板的维护周期，又减少灰尘进入过滤器的量，进而减少灰尘颗粒由过滤器进入镀膜腔室的概率，从而确保镀膜质量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及材料表面处理
，具体涉及一种纯离子镀膜装置过滤器的绝缘板挡环。
技术介绍
纯离子镀膜装置广泛应用在零件的外表面镀膜生产中，生产后的待镀膜零件上利用纯离子镀膜装置在零件的表面镀设一层或者数层涂层，以改变被镀零部件的表面性能。纯离子镀膜装置主要由真空抽气系统、阴极靶材、阳极、过滤器、镀膜腔室、基片和一些辅助零部件构成，其中，所述的过滤器整体呈现直角弯管状结构。从阴极靶材表面激发出来的等离子体向过滤器方入口向移动，过滤器的另一端出口与镀膜腔室连通，所述待镀膜的基片设置在镀膜腔室内，过滤后的离子束通过过滤器并沉降在基片上，从而完成镀膜过程，其中，过滤器一方面构成等离子体的通道，另一方面起到吸收或储存杂质颗粒，阻止较大的颗粒穿过过滤器，从而减少颗粒灰尘对镀膜腔室的污染，起到保持镀膜腔室的清洁的作用。在阳极与过滤器进料口之间还设置有绝缘板挡环，绝缘板挡环起到增强阳极和过滤器的绝缘性能的作用，然而在镀膜过程中，绝缘板挡环一方面吸收射向表面的颗粒灰尘，另一方面已经被吸附在表面的颗粒灰尘被后来溅射到表面的等离子体轰击而脱离表面，大量溅射的颗粒在垂直轰击表面方向上遵守余弦分布。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种纯离子镀膜装置过滤器的绝缘板挡环，包括阴极靶材（10），所述阴极靶材（10）产生的等离子体向过滤器（20）的入口移动，阴极靶材（10）周围设置有阳极（30），过滤器（20）的出口与镀膜腔室（40）连通，所述镀膜腔室（40）内放置基片（50），其特征在于：所述过滤器（20）的入口位置处设置有绝缘板挡环（60），所述绝缘板挡环（60）呈圆锥管状，绝缘板挡环（60）的一端大管径端与过滤器（20）的入口固定，绝缘板挡环（60）的另一端小管径端指向过滤器（20）内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张心凤，郑杰，尹辉，
申请(专利权)人：安徽纯源镀膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34