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本实用新型涉及一种纯离子镀膜装置过滤器的绝缘板挡环，其中阴极靶材产生的等离子体向过滤器的入口移动，阴极靶材周围设置有阳极，过滤器的出口与镀膜腔室连通，镀膜腔室内放置基片，过滤器的入口位置处设置有绝缘板挡环，绝缘板挡环呈圆锥管状，绝缘板挡环的...
该专利属于安徽纯源镀膜科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽纯源镀膜科技有限公司授权不得商用。

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