【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及镀膜设备领域，特别涉及一种立式吊盖离子镀膜设备，包括电磁加热盘，大口径不锈钢镜面管抽气管，所述电磁加热盘链接在扩散泵底部，所述相邻大口径不锈钢镜面管抽气管之间、所述大口径不锈钢镜面管抽气管与所述立式吊盖离子镀膜设备其他部分之间均采用法兰链接，两个相邻法兰之间用螺栓固定。本技术解决现有离子镀膜设备加工效率低、加工效果不好的问题，同时达到节能效果。【专利说明】_种立式吊盖禹子镀膜设备
本技术涉及镀膜设备领域，特别涉及一种立式吊盖离子镀膜设备。
技术介绍
现有的立式吊盖离子镀膜设备，加工效率低，加工效果不好，究其原因，一是加热方式均采用电炉丝加热，存在升温慢、持续能耗大的问题;二是抽气机组的抽气管采用小口径碳钢制造，管内容易生锈，影响抽气速度且清理管内铁锈难度大，费时费力。该两个问题易造成镀膜加工效率低，且造成镀膜色差较大、膜层厚度不均，加工效果不好。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供一种立式吊盖离子镀膜设备，解决现有立式吊盖离子镀膜设备加工效率低、加工效果不好的问题。本技术一种立式吊盖离子镀膜设备，包括电磁加热盘，大口径不锈钢镜面管抽气管，所述电磁加热盘链接在扩散栗底部，所述相邻大口径不锈钢镜面管抽气管之间、所述大口径不锈钢镜面管抽气管与所述立式吊盖离子镀膜设备其他部分之间均采用法兰链接，两个相邻法兰之间用螺栓固定。本技术的有益效果在于，通过解决升温慢，还通过解决小口径碳钢制造抽气管因管内生锈而导致的抽气速度慢的问题，大幅提高镀膜加工效率，同时提高加工效果。另夕卜，还达到了节能的效果。【附图说明】图1所示为本技术实施例结构示意图。图中...
【技术保护点】
一种立式吊盖离子镀膜设备，其特征在于，包括电磁加热盘(1)和大口径不锈钢镜面管抽气管(2)，所述电磁加热盘(1)链接在扩散泵底部，相邻的所述大口径不锈钢镜面管抽气管(2)之间、所述大口径不锈钢镜面管抽气管(2)与所述立式吊盖离子镀膜设备其他部分之间均采用法兰(3)链接，两个相邻法兰(3)之间用螺栓固定。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：宋永斌，
申请(专利权)人：青岛优百宇真空设备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。