【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种在钢工件表面上沉积功能梯度纳米多层涂层的方法以及在钢工 件表面上沉积的所述功能梯度纳米多层涂层。本专利技术还涉及一种制品,该制品包含所述钢 工件和沉积在所述钢工件表面上并覆盖至少一部分所述钢工件表面的所述功能梯度纳米 多层涂层。
技术介绍
在钢工件,尤其是不锈钢工件表面上形成耐磨耐蚀抗氧化涂层的传统方法是在其 表面电镀硬铬,但是电镀时产生的六价铬会严重污染环境,所以逐渐被真空离子镀(Ion Plating)覆氮化物涂层取代。CrN(氮化铬)涂层由于具有硬度高、韧性好、耐磨性佳、内应力 低、抗氧化性良、耐腐蚀性好以及化学稳定性好等优点;并且相对一般TiN涂层,其摩擦系数 更低且耐蚀性更好,具有良好的耐磨性和耐冲击性,因此氮化铬离子镀膜工艺研究备受关 注(参见例如:Cengiz Oner 等人,Surface Properties of CrN Coated Engine Cylinders,Materials and Design,2009,30:914_920;Essen Pvan 等人,Scratch Resistance and ...
【技术保护点】
一种在钢工件表面上沉积功能梯度纳米多层涂层的方法,该方法包括如下步骤:S400通过空心阴极电子束辅助脉冲偏压多弧离子镀在所述钢工件表面上沉积Cr基底层;S500通过空心阴极电子束辅助脉冲偏压多弧离子镀在所述Cr基底层上沉积CrN过渡层;S600通过空心阴极电子束辅助脉冲偏压多弧离子镀在所述CrN过渡层上沉积(Cr,Si)N梯度层;S700通过空心阴极电子束辅助多弧离子镀与脉冲偏压离子束辅助磁控溅射在所述(Cr,Si)N梯度层上沉积(Cr,Al,Si)N表面层。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:赵可沦,刘海华,王永宁,
申请(专利权)人:珠海罗西尼表业有限公司,
类型:发明
国别省市:广东;44
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