【技术实现步骤摘要】
一种卷绕式介质材料和金属材料双蒸发的真空镀膜设备
本专利技术涉及一种真空镀膜设备,具体地说是介质材料和金属材料双蒸发的真空镀膜设备。
技术介绍
在功能薄膜制造工艺中,许多介质、金属镀膜材料需要组合匹配应用,现有真空电阻蒸发技术中都是配置双套设备,即介质材料和金属材料的镀制要在不同的设备上完成,每镀完一种材料需充气取出,再换另一台设备镀,这样不仅设备投资重复,真空抽气时间重复,还易使贵重金属吸潮氧化,使产品的寿命大受影响。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对在现有的两种金箔的基础上,提供一种可大大提高生产效率的卷绕式介质材料和金属材料双蒸发的真空镀膜设备。 为实现上述专利技术目的,本专利技术采用的技术方案为一种卷绕式介质材料和金属材料双蒸发的真空镀膜设备,包括真空腔体和与真空腔体相接的抽真空系统;所述真空腔体中设有依次相接的放卷装置、导膜装置、冷却装置以及收卷装置,在导膜装置和冷却装置之间设有蒸发装置,所述蒸发装置为两种交换使用的蒸发装置,分别为金属蒸发装置及介质蒸发装置。 所述金属蒸发装置有多组独立蒸发舟间隔排列组成。 所述独立蒸发舟包括蒸发电极,蒸发电极旁均配有供料装置。 所述蒸发电极上接有变压器。 所述介质蒸发装置为全幅宽无间隔条形蒸发带。 所述全幅宽无间隔条形蒸发带为一槽型长条电极,其正负极在镀膜设备的两端。 所述槽型长条电极上接有大功率变压器。 所述导膜装置为导膜辊。 所述冷却装置为水冷辊。 为方便观察镀膜情况,在真空腔体上还设有观察窗。 工作过程: 在镀制金属薄膜时安装金属蒸发装置,其由多 ...
【技术保护点】
一种卷绕式介质材料和金属材料双蒸发的真空镀膜设备,其特征在于:包括真空腔体(1)和与真空腔体(1)相接的抽真空系统(2);所述真空腔体(1)中设有依次相接的放卷装置(3)、导膜装置(4)、冷却装置(5)以及收卷装置(6),在导膜装置(4)和冷却装置(5)之间设有蒸发装置(7),所述蒸发装置(6)为两种交换使用的蒸发装置,分别为金属蒸发装置及介质蒸发装置。
【技术特征摘要】
1.一种卷绕式介质材料和金属材料双蒸发的真空镀膜设备,其特征在于:包括真空腔体(I)和与真空腔体⑴相接的抽真空系统⑵;所述真空腔体⑴中设有依次相接的放卷装置(3)、导膜装置(4)、冷却装置(5)以及收卷装置¢),在导膜装置(4)和冷却装置(5)之间设有蒸发装置(7),所述蒸发装置¢)为两种交换使用的蒸发装置,分别为金属蒸发装置及介质蒸发装置。2.根据权利要求1所述卷绕式介质材料和金属材料双蒸发的真空镀膜设备,其特征在于:所述金属蒸发装置有多组独立蒸发舟间隔排列组成。3.根据权利要求2所述卷绕式介质材料和金属材料双蒸发的真空镀膜设备,其特征在于:所述独立蒸发舟包括蒸发电极(8),蒸发电极(8)旁均配有供料装置。4.根据权利要求3所述卷绕式介质材料和金属材料双蒸发的真空镀膜设备,其特征在于:所述蒸发电极(8)上接有变压器(9)。5.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员:蒋国辉,魏文军,
申请(专利权)人:江苏金恒新型包装材料有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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