【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
多振膜微机电系统麦克风结构,其特征在于,包括一声学腔体,所述声学腔体的内部设置有至少两个声学感测单元,一所述声学感测单元与另一所述声学感测单元之间具有独立的不相干的声学背腔。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:叶菁华,
申请(专利权)人:钰太芯微电子科技上海有限公司,钰太科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:上海;31
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