下载多振膜微机电系统麦克风结构的技术资料

文档序号:10545226

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及电子技术领域,具体涉及一种麦克风结构。多振膜微机电系统麦克风结构,其中,包括一声学腔体,声学腔体的内部设置有至少两个声学感测单元,一声学感测单元与另一声学感测单元之间具有独立的不相干的声学背腔。本实用新型通过设置至少两个声学感...
该专利属于钰太芯微电子科技(上海)有限公司;钰太科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过钰太芯微电子科技(上海)有限公司;钰太科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。