微机电系统麦克风技术方案

本发明专利技术公开了一种微机电系统麦克风，涉及麦克风封装技术领域。该麦克风包括：接线板，与接线板结合的外壳，外壳与接线板限定MEMS麦克风的内腔体；位于外壳上的音孔；固定于接线板上的ASIC，ASIC通过金线和接线板电连接；位于内腔体、固定于接线板上的MEMS芯片；位于内腔体外、固定于接线板上的外扩展腔体，外扩展腔体与MEMS芯片的背腔通过接线板上的通孔连通。该麦克风通过扩展腔体等方式，扩展了MEMS背腔的体积，提高了麦克风灵敏度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微机电系统MEMS麦克风，其特征在于，包括：接线板；与所述接线板结合的外壳，所述外壳与所述接线板限定所述MEMS麦克风的内腔体；位于所述外壳上的音孔；固定于所述接线板上的ASIC，所述ASIC通过金线和所述接线板电连接；位于所述内腔体、固定于所述接线板上的MEMS芯片；位于所述内腔体外、固定于所述接线板上的外扩展腔体，所述外扩展腔体与所述MEMS芯片的背腔通过所述接线板上的通孔连通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：万景明，
申请(专利权)人：山东共达电声股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37