【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：基底；贯穿所述基底的声腔；设置在所述基底正面，位于所述声腔四周的第一绝缘层；设置在所述第一绝缘层表面，且覆盖与所述声腔相对的区域的设定形状的振膜；设置在所述振膜表面与所述第一绝缘层相对区域的第二绝缘层；设置在所述第二绝缘层表面，且覆盖所述振膜与所述声腔相对区域的背极，所述背极形状与所述振膜形状相匹配；其中，所述振膜的振动区域包括：加强筋区域以及包围所述加强筋区域的纹膜区域；所述加强筋区域设置有与所述振动区域径向平行的加强筋；所述纹膜区域设置有纹膜。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡孟锦，宋青林，潘昕，
申请(专利权)人：歌尔声学股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37
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