【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微机电工艺监控结构,其特征在于,包括:衬底;位于所述衬底上的绝缘层;位于所述绝缘层上的牺牲层;位于所述牺牲层上的固定质量块;及通过悬挂元件悬挂于所述固定质量块上的可动质量块;其中,所述固定质量块及可动质量块的数量均为多个,且一一对应;当进行监控时,一参数分析仪的一端连接所述衬底,另一端依次连接多个固定质量块,根据所述参数分析仪所测得的参数值,判断微机电工艺的可靠性。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:汪建平,邓登峰,胡铁刚,
申请(专利权)人:杭州士兰微电子股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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