一种蒸镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置，包括支架、真空烧结装置、冷凝沉积装置和电源系统，真空烧结装置和冷凝沉积装置均设置于支架上，电源系统分别与真空烧结装置和冷凝沉积装置连接，并且真空烧结装置的一端和冷凝沉积装置的一端连通。相对于现有技术，本实用新型专利技术中真空烧结装置用于得到包覆材料的蒸汽，将被包覆材料置于冷凝沉积装置中，包覆材料的蒸汽到达冷凝沉积装置中，便可以在被包覆材料的表面沉积一层包覆材料，形成核-壳结构，从而可以增强包覆材料和被包覆材料之间的结合力。整个装置可以实现材料的连续化生产，简化了材料的生产流程，大大提高了生产效率，降低了生产成本，而且环境友好。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀装置
本技术属于蒸镀设备
，尤其涉及一种用于制备具有核-壳结构材料的蒸镀装置。
技术介绍
近年来，随着电子设备向着便携化和小型化方向发展，人们对作为这些电子设备的能量供应者的锂离子电池的能量密度提出了越来越高的要求，这就促使人们研究能量密度更高的材料或者从电池结构上加以改进以提高整个电池的能量密度。目前商业化石墨的质量比容量有限，体积比容量提高的空间也非常小，无法满足市场对高能量密度电池的需求。在这样的背景下，人们开始对其他阳极材料进行大量研究，结果表明:可用作锂离子电池阳极材料的最有前途的材料是硅，其允许的最大锂嵌入量约为石墨允许的最大锂嵌入量的4倍，因此具有很高的体积比容量。例如，Li44Si和Li44Sn的理论克容量可分别高达4200mA.h/g和996mA.h/g,而娃的理论体积比容量甚至高达7200mA.h/cm3。但是纯硅材料本身的较严重的体积膨胀效应严重限制了其在锂离子电池中的应用。为了应用硅材料的高能量密度的特性，同时规避其体积膨胀较大的缺陷，科研工作者经过不懈的摸索与开发，认为SiO和石墨的混合体能够达到上述目的。然而，迄今为止，SiO和石本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀装置，其特征在于：包括支架、真空烧结装置、冷凝沉积装置和电源系统，所述真空烧结装置和所述冷凝沉积装置均设置于所述支架上，所述电源系统分别与所述真空烧结装置和所述冷凝沉积装置连接，并且所述真空烧结装置的一端和所述冷凝沉积装置的一端连通。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于:包括支架、真空烧结装置、冷凝沉积装置和电源系统，所述真空烧结装置和所述冷凝沉积装置均设置于所述支架上，所述电源系统分别与所述真空烧结装置和所述冷凝沉积装置连接，并且所述真空烧结装置的一端和所述冷凝沉积装置的一端连通。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于:所述真空烧结装置包括陶瓷炉膛和第一加热装置，所述第一加热装置与所述电源系统连接，所述第一加热装置围设于所述陶瓷炉膛外。3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于:所述真空烧结装置还包括中空夹层，所述中空夹层围设于所述陶瓷炉膛外，并且所述第一加热装置设置于所述陶瓷炉膛和所述中空夹层之间。4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于:所述冷凝沉积装置包括冷凝沉积旋转炉、第二加热装置和循环冷却装置，所述冷凝沉积旋转炉、所述第二加热装置和所述循环冷却装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄起森，郑于炼，钟开富，
申请(专利权)人：东莞新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44