可简化被镀物抓取的溅射机装置制造方法及图纸

一种可简化被镀物抓取的溅射机装置，包含：一溅射腔；其包含有一腔门，用于取出或置入被镀物于该溅射腔内；一受镀转盘，其上设有至少一个穿孔，穿孔用于安置溅射所需要的被镀物；一溅镀枪，受镀转盘位于被镀物及溅镀枪之间；被镀物安装在受镀转盘的穿孔内，且对齐溅镀枪的靶材；一个推送轴，推送轴的轴向位置指向腔门；推送轴通过轴向移动，将被镀物顶出受镀转盘，并向该腔门移动；以及一个输送装置，输送装置用于将被镀物从溅射腔取出。通过推送轴将该镀物推出溅射腔至该输送装置内，其输送装置也为抽真空的状态，因此并不会破坏原先溅射腔的真空状态，以至于整体的操作难度降低，时间也减短。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
可简化被镀物抓取的溅射机装置
本技术是有关于一种溅射机装置，尤其是一种可简化被镀物抓取的溅射机装置。
技术介绍
请参考图1，现有技术中的溅射腔I’其外侧有一腔门100’，用于置入或取出靶材；如欲同时在一被镀物上溅镀数种靶材，则必须有数个溅镀枪4’，各溅镀枪的前端安装有靶材40’，该溅镀枪将会令靶材的分子游离溅射到被镀物3’上。该溅镀枪的投射端在该溅射腔内，而另一端则延伸到该溅射腔I’外，已使得操作人员可以进行所需要的操作。另外设有一转盘2’，该转盘2’为一盘体,位于该派射腔I’之内，该盘体可乘载一被镀物3’，该转盘2’还包含驱动机构，该驱动机构包含:一转动轴，该转动轴的一端固定在该转盘的中心部位，另一端延伸出该溅射腔之外，并连结一驱动器(图中没显示，其位于该溅射腔外)，该驱动器可以进行径向转动而使得该转盘旋转。其中该腔门100’的门体略垂直于该转盘的盘面，以便于抓取转盘上的被镀物3’。一抓取装置400’，该抓取装置用于由该腔门100’置入或取出该被镀物3’。使用时，该抓取装置靠近该腔门，并深入腔门内取出或置入该被镀物。一输送装置5’，该输送装置用于将该被镀物3’从该溅射腔取出本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可简化被镀物抓取的溅射机装置，其包含： 一个溅射腔，该溅射腔为一个高真空的腔体；该溅射腔包含有一个腔门，该腔门用于取出或置入被镀物于该溅射腔内； 其特征在于，还包含：一个受镀转盘，该受镀转盘包含一个位于该溅射腔之内的盘体，该盘体上设有至少一个穿孔，所述穿孔分别用于安置被镀物；其中该腔门朝向于该受镀转盘的位置； 一个溅镀枪，靶材安装在该溅镀枪的投射端，该投射端位于该溅射腔内，而该溅镀枪的另一端则延伸到该溅射腔外，该受镀转盘位于该被镀物及该溅镀枪之间； 该被镀物安装在该受镀转盘的所述穿孔内，且对齐该溅镀枪的靶材；该受镀转盘转动，令该被镀物随该盘体转动依次对齐该该溅镀枪中的靶材； 一个推送轴，推...

【技术特征摘要】
1.一种可简化被镀物抓取的溅射机装置，其包含: 一个溅射腔，该溅射腔为一个高真空的腔体；该溅射腔包含有一个腔门，该腔门用于取出或置入被镀物于该溅射腔内； 其特征在于，还包含:一个受镀转盘，该受镀转盘包含一个位于该溅射腔之内的盘体，该盘体上设有至少一个穿孔，所述穿孔分别用于安置被镀物；其中该腔门朝向于该受镀转盘的位置； 一个溅镀枪，靶材安装在该溅镀枪的投射端，该投射端位于该溅射腔内，而该溅镀枪的另一端则延伸到该溅射腔外，该受镀转盘位于该被镀物及该溅镀枪之间； 该被镀物安装在该受镀转盘的所述穿孔内，且对齐该溅镀枪的靶材；该受镀转盘转动，令该被镀物随该盘体转动依次对齐该该溅镀枪中的靶材； 一个推送轴，推送轴安装在该溅射腔的一侧，该推送轴相对于该受镀转盘，且该推送轴与该溅镀枪位于同一侧；该推送轴的轴向位置指向该腔门；该推送轴前后轴向移动，以便将该被镀物向前推出该受镀转盘，并向该腔门移动从而移出至腔体外；以及 一个输送装置，连接于该腔门，该输送装置用于将该被镀物从该溅射腔取出。2.如权利要求1所述的可简化被镀物抓取的溅射机装置，其特征在于，该腔门的门...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴金龙，徐永桓，
申请(专利权)人：亮杰科技有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71