单枪多靶材的溅镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种单枪多靶材的溅镀装置，包含：一溅射腔，为腔体结构，该溅射腔为一可达到高真空的腔体；一标靶转盘，包含一盘体位在该溅射腔之内，该盘体上包含至少两穿孔，用于安置溅射所需要的靶材；一被镀物，安装在该溅射腔的一侧，而且对齐该标靶转盘中的一靶材；当该标靶转盘转动时，该被镀物也跟着对齐该标靶转盘中不同的靶材；当该标靶转盘上的靶材受驱动后，急速溅射向该被镀物，而在该被镀物上形成一层膜，即所谓的溅镀膜；一溅镀枪，其投射端对齐该被镀物，在安装态时该标靶转盘位于该被镀物及溅镀枪之间；该溅镀枪将会产生高电压、雷射、射频电波等不同的热源驱动靶材，以使得靶材的分子游离溅射到被镀物上。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
单枪多靶材的溅镀装置
本技术是有关于一种溅镀装置，尤其是一种单枪多靶材的溅镀装置。
技术介绍
请参考图1，现有技术中的溅射腔I’，如欲同时在一被镀物上溅镀数种靶材，则必须有数个溅镀枪4’，各溅镀枪的前端安装有靶材，该溅镀枪将会产生高电压、雷射、射频电波等不同的热源驱动靶材，以使得靶材的分子游离溅射到被镀物3’上。该溅镀枪的投射端是在该溅射腔内，而另一端则延伸到该溅射腔I’外，以使得操作人员可以进行所需要的操作。另外设有一转盘2’，为一盘体2’位于该溅射腔I’之内，该盘体可乘载一被镀物3’，该转盘2’尚包含驱动结构，该驱动结构包含:一转动轴，该转动轴的一端固定在该标靶转盘的中心部位，另一端延伸出该溅射腔之外，并连接一驱动器(也位于该溅射腔外)，该驱动器可以进行径向转动而使得该转盘旋转。在溅镀时转动转盘，使得溅镀枪的靶材对齐转盘上的被镀物，然后溅镀枪应用高电压、雷射、射频电波等不同的热源驱动靶材，以使得靶材的分子游离溅射到被镀物上。当完成一种靶材的溅镀后，再旋转该转盘使得该被镀物对齐到另一溅镀枪，进行同一动作。使一操作反复进行直到得到所需要的溅镀结果。在上述的现有技术中，一溅镀枪本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单枪多靶材的溅镀装置，其特征在于，包含下列元件：一个溅射腔，为腔体结构，该溅射腔为一个可达到高真空的腔体；一个标靶转盘，包含一个盘体位于该溅射腔之内，该盘体上包含用于安置溅射所需要的靶材的至少两个穿孔； 一个被镀物，安装在该溅射腔的一侧，而且对齐该标靶转盘中的一个靶材；当该标靶转盘转动时，该被镀物也跟着对齐该标靶转盘中不同的靶材；一把能产生高电压、雷射、射频电波等不同的热源来驱动靶材以使得靶材的分子游离溅射到被镀物上的溅镀枪，其投射端对齐该被镀物，在安装态时该标靶转盘位于该被镀物及溅镀枪之间。

【技术特征摘要】
1.一种单枪多靶材的溅镀装置，其特征在于，包含下列元件: 一个溅射腔，为腔体结构，该溅射腔为一个可达到高真空的腔体； 一个标靶转盘，包含一个盘体位于该溅射腔之内，该盘体上包含用于安置溅射所需要的靶材的至少两个穿孔； 一个被镀物，安装在该溅射腔的一侧，而且对齐该标靶转盘中的一个靶材；当该标靶转盘转动时，该被镀物也跟着对齐该标靶转盘中不同的靶材； 一把能产生高电压、雷射、射频电波等不同的热源来驱动靶材以使得靶材的分子游离溅射到被镀物上的溅镀枪，其投射端对齐该被镀物，在安装态时该标靶转盘位于该被镀物及溅镀枪之间。2.如权利要求1所述的单枪多靶材的溅镀装置，其特征在于:还设有对该溅射腔抽取空气达到所需要的真空度的抽真空装置，当将该转盘调整到溅射所需要的位置点时，需要溅射的靶材被调整到介...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴金龙，徐永桓，
申请(专利权)人：亮杰科技有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71