【技术实现步骤摘要】
本技术涉及芯片溅镀治具矫正装置
,特别是涉及一种芯片溅镀治具的四边自动矫正器。
技术介绍
芯片溅镀治具指的是在芯片工艺步骤采用光刻技术的情况下,用于这些步骤的图形“底片”称为芯片溅镀治具,所以芯片溅镀治具的修整是非常有必要的,原本的芯片溅镀治具修整采用人工手动修整,这种修整方式不单单劳动力成本高,生产效率也非常低下,同时容易产生不合格产品,为了提高产品质量、增加产品的生产效率,设计一种自动矫正设备是非常有必要的。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种芯片溅镀治具的四边自动矫正器,具有结构简单、使用方便、大大提高芯片溅镀治具的生产效率、降低劳动里成本、提高芯片溅镀治具质量等特点。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:提供一种芯片溅镀治具的四边自动矫正器,包括控制箱和芯片溅镀治具放置台,所述的控制箱上端面安装有芯片溅镀治具放置台,所述的芯片溅镀治具放置台上相邻的两个侧面的边缘处布置有定位凸起条,所述的控制箱上端面上安装有两个与芯片溅镀治具放置台上没有布置定位凸起条的两侧面一一对应的矫正气缸结构,所述的矫正气缸结构包括气缸、定位板和矫正块,所述的气缸安装在控制箱上端面上,所述的气缸上安装有定位板,所述的气缸的顶杆垂直朝向芯片溅镀治具放置台的侧面,该气缸的顶杆上安装有与芯片溅镀治具放置台侧面对应的矫正块,所述的控制箱上端面上安装有控制钮,所述的矫正气缸结构和控制钮与控制箱的内部电路相连,通过安装芯片溅镀治具放置台用来放置芯片溅镀治具,通过安装控制箱用来控制矫正气缸结构,通过布置定位凸起条用来对芯片溅镀治具的两个边进行修整,通过安装两个矫正气缸结构 ...
【技术保护点】
一种芯片溅镀治具的四边自动矫正器,包括控制箱(1)和芯片溅镀治具放置台(2),其特征在于:所述的控制箱(1)上端面安装有芯片溅镀治具放置台(2),所述的芯片溅镀治具放置台(2)上相邻的两个侧面的边缘处布置有定位凸起条(6),所述的控制箱(1)上端面上安装有两个与芯片溅镀治具放置台(2)上没有布置定位凸起条(6)的两侧面一一对应的矫正气缸结构(5),所述的矫正气缸结构(5)包括气缸(3)、定位板(4)和矫正块(13),所述的气缸(3)安装在控制箱(1)上端面上,所述的气缸(3)上安装有定位板(4),所述的气缸(3)的顶杆垂直朝向芯片溅镀治具放置台(2)的侧面,该气缸(3)的顶杆上安装有与芯片溅镀治具放置台(2)侧面对应的矫正块(13),所述的控制箱(1)上端面上安装有控制钮(14),所述的矫正气缸结构(5)和控制钮(14)与控制箱(1)的内部电路相连。
【技术特征摘要】
1.一种芯片溅镀治具的四边自动矫正器,包括控制箱(1)和芯片溅镀治具放置台(2),其特征在于:所述的控制箱(1)上端面安装有芯片溅镀治具放置台(2),所述的芯片溅镀治具放置台(2)上相邻的两个侧面的边缘处布置有定位凸起条(6),所述的控制箱(1)上端面上安装有两个与芯片溅镀治具放置台(2)上没有布置定位凸起条(6)的两侧面一一对应的矫正气缸结构(5),所述的矫正气缸结构(5)包括气缸(3)、定位板(4)和矫正块(13),所述的气缸(3)安装在控制箱(1)上端面上,所述的气缸(3)上安装有定位板(4),所述的气缸(3)的顶杆垂直朝向芯片溅镀治具放置台(2)的侧面,该气缸(3)的顶杆上安装有与芯片溅镀治具放置台(2)侧面对应的矫正块(13),所述的控制箱(1)上端面上安装有控制钮(14),所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:应朝阳,宋卫华,
申请(专利权)人:台晶宁波电子有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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