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本实用新型涉及一种单枪多靶材的溅镀装置，包含：一溅射腔，为腔体结构，该溅射腔为一可达到高真空的腔体；一标靶转盘，包含一盘体位在该溅射腔之内，该盘体上包含至少两穿孔，用于安置溅射所需要的靶材；一被镀物，安装在该溅射腔的一侧，而且对齐该标靶转盘...
该专利属于亮杰科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过亮杰科技有限公司授权不得商用。

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