回转零件的镀膜装置和镀膜方法制造方法及图纸

技术编号:10354592 阅读:124 留言:0更新日期:2014-08-27 11:00
一种回转零件镀膜装置和镀膜方法,该装置包括固定在设备上的公转盘,公转盘中心下面联接自转轴;自转轴与自转齿轮固定联接,自转齿轮通过自转轴与支撑架的联接实现支撑;回转齿轮与回转轴固定联接,回转轴通过两个支架固定在支撑架上;回转齿轮与自转齿轮啮合联接;回转轴一端安装预蒸零件。本装置通过齿轮传动机构实现了形状复杂的回转零件表面的镀膜,提高了膜层的均匀性和质量,在蒸镀介质膜和焊料膜方面具有很高的应用价值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及薄膜,特别是一种。
技术介绍
镀膜是用物理或化学的方法在材料表面镀上一层电解质膜,或镀一层金属膜,目的是改变材料表面的反射和透射特性,增加材料表面的焊接特性,在光学薄膜、焊接、集成电路制造、信息显示、防护涂层等领域都有很广的应用。要镀出好的薄膜,除要求熟练地掌握镀膜工艺和操作技术外,还要求有可行的夹具,现有的镀膜夹具大多数适用于零件单面镀膜,而对于零件四周表面都要镀膜则需要设计一个回转传动机构来实现。
技术实现思路
本专利技术提供一种,目的在于克服现有镀膜方式的不足及薄膜的均匀性和成膜质量不理想的问题。本专利技术的技术解决方案如下:一种回转零件的镀膜装置,包括公转盘、自转轴、支撑架、自转齿轮、回转齿轮、回转轴和支架,公转盘为圆形,固定在镀膜设备上,其中心下面固定联接自转轴;自转轴与自转齿轮固定联接,自转齿轮通过自转轴与支撑架的联接实现支撑;回转齿轮与回转轴固定,回转轴通过两个支架 固定在支撑架上;回转齿轮与自转齿轮啮合连接;回转轴一端联接零件。所述的自转齿轮和回转齿轮都为伞齿轮。所述的自转齿轮和回转齿轮所传动的旋转中心线互为90度。所述的自转齿轮和回转齿轮由铝制成。利用上述回转零件的镀膜装置对零件表面镀膜方法,该方法包括以下步骤:①把公转盘安装在设备上;②把自转齿轮安装在自转轴的一端,自转轴的另一端穿过支撑架上的支撑孔固定联接在公转盘上,随后,自转轴与支撑架联接;③把回转齿轮与回转轴固定联接,然后把支架联接在回转轴的适当位置;④把回转齿轮、回转轴通过支架联接在支撑架上,但不固定;⑤调节回转齿轮位置,直到与自转齿轮恰当啮合后固定支架与支撑架;⑥把零件安装在回转轴上;⑦首先公转盘转动,通过自转齿轮与回转齿轮传动机构使零件具有回转运动;⑧按照蒸发工艺参数对蒸发源加热,从蒸发源出来的蒸气分子沉积到零件表面实现成膜。本专利技术的优点是:该装置是通过齿轮传动机构使零件具有本身回转方向的运动,可以满足复杂零件的表面镀膜要求,可以得到良好的均匀性,有效的提高膜层质量。【附图说明】图1是本专利技术实施例1的结构示意图;图2是本专利技术实施例2的结构示意图;【具体实施方式】图1是本专利技术实施例1的结构示意图,本专利技术为一个回转零件表面镀膜装置,包括公转盘1、自转轴2、支撑架3、自转齿轮4、回转齿轮5、回转轴6、支架7、零件8。公转盘I为圆形,下部中心处 联接自转轴2,自转轴2与自转齿轮4固定联接,自转齿轮4通过自传轴2联接在支撑架3上,从而保证自转齿轮4只具有本身的自传,在其他方向上不动。回转齿轮5与回转轴6固定联接,回转轴6通过两个支架7固定连接在支撑架3上,从而保证回传齿轮5只具有本身的自传,在其他方向上不动。自转齿轮4与回转齿轮5啮合联接,两齿轮所传动的旋转中心线互为90度。实施方法如下:整个装置通过公转盘I固定在设备上,把需要镀膜的零件8安装在回转轴6上。在外力作用下,首先使公转盘I发生转动,带动自传轴2和自转齿轮4发生自传,由于自转齿轮4与回转齿轮5啮合联接,所以回转齿轮5具有自转运动,由于回转齿轮5通过支架7固定联接在支撑架3上,所以回转齿轮5不具有其他方向的运动。回转齿轮5的自传带动零件8实现了回转运动。对蒸发源9加热,从蒸发源出来的蒸气分子沿着蒸发路径10沉积在零件8表面,即可在零件8表面沉积高质量的均匀的膜层。图2为本专利技术实施例2的结构示意图,是利用增加齿轮传动机构来增加镀膜零件数量的顶视图。自转齿轮4下面啮合回转齿轮5,两齿轮所传动的旋转中心线互为90度;回转轴6与回转齿轮5固定联接;在回转轴6上固定联接齿轮11,齿轮12与齿轮11啮合,两齿轮所传动的旋转中心线互相平行;回转轴13与齿轮12固定联接,这样,依次排列可以构成多个传动机构。蒸镀零件时,把零件14安装在回转轴6和回转轴13上,自转齿轮4的转动带动回转齿轮5发生转动,通过回转轴6带动齿轮11自传,由于齿轮12与齿轮11啮合联接,所以齿轮12具有自传运动,回转轴6和回转轴13的转动带动零件具有回转运动,实现表面镀膜,采用此机构可实现多个零件表面镀膜。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种回转零件的镀膜装置,其特征在于包括公转盘、自转轴、支撑架、自转齿轮、回转齿轮、回转轴和支架,所述的公转盘中心下面联接自转轴;自转轴与自转齿轮固定联接,自转齿轮通过自转轴与支撑架的联接实现支撑;回转齿轮与回转轴固定联接,回转轴通过支架固定在支撑架上;回转齿轮与自转齿轮啮合联接;回转轴一端安装预蒸零件,实现零件本身具有回转运动,采用零件本身的回转运动方法实现形状复杂的零件表面的镀膜,保证了膜层的均匀性和质量。

【技术特征摘要】
1.一种回转零件的镀膜装置,其特征在于包括公转盘、自转轴、支撑架、自转齿轮、回转齿轮、回转轴和支架,所述的公转盘中心下面联接自转轴;自转轴与自转齿轮固定联接,自转齿轮通过自转轴与支撑架的联接实现支撑;回转齿轮与回转轴固定联接,回转轴通过支架固定在支撑架上;回转齿轮与自转齿轮啮合联接;回转轴一端安装预蒸零件,实现零件本身具有回转运动,采用零件本身的回转...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙广伟辛国锋皮浩洋于阿滨蔡海文瞿荣辉
申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
类型:发明
国别省市:上海;31

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