一种蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供了一种蒸镀装置，涉及显示技术领域的制造设备，可使金属掩模板与待蒸镀基板紧密贴合，从而在子像素单元蒸镀时形成正确的图案，在此基础上，可使作用于金属掩膜板的磁场均匀，避免由于磁场不均而对上述图案造成影响。该蒸镀装置包括：蒸镀腔室、设置于蒸镀腔室内的蒸镀源、掩模板支撑架和基板支撑架，掩模板支撑架用于承载金属掩模板，基板支撑架用于承载待蒸镀基板，且金属掩模板设置于蒸镀源和待蒸镀基板之间；还包括：设置于蒸镀腔室内的吸附装置，包括：设置于待蒸镀基板远离金属掩模板一侧的多个呈矩阵排列的磁块，和用于调节每个磁块上下移动的牵引装置。用于OLED显示器制造过程中的蒸镀工艺。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀装置
本专利技术涉及显示
的制造设备，尤其涉及一种蒸镀装置。
技术介绍
有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode,简称0LED)是一种有机薄膜电致发光器件，其具有易形成柔性结构、视角宽等优点；因此，利用有机发光二极管的显示技术已成为一种重要的显示技术。OLED的全彩显示一般包括R(红)G(绿)B (蓝)子像素独立发光、或白光OLED结合彩色滤光膜等方式。其中，RGB子像素独立发光是目前采用最多的彩色模式，其是利用子像素单元中的有机发光材料独立发光。目前，有机发光材料 层一般都是通过对有机材料进行真空蒸发镀膜形成。其中，对于RGB子像素独立发光的0LED，由于每个RGB子像素单元采用不同的有机发光材料，因而RGB子像素单元的有机发光层需要分别进行蒸镀，在此过程中一般采用金属掩模板，使其开口区域与子像素区域对准来在不同子像素区域蒸镀不同颜色的发光材料。然而，由于金属掩模板比较薄，一般只有几十微米厚，很容易发生形变，因而在实际使用中不可避免的会导致其与待蒸镀基板贴合的不紧，从而使得在蒸镀有机发光材料时，不能形成正确的图案。【专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀装置，包括：蒸镀腔室、设置于蒸镀腔室内的蒸镀源、掩模板支撑架和基板支撑架，所述掩模板支撑架用于承载金属掩模板，所述基板支撑架用于承载待蒸镀基板，且所述金属掩模板设置于所述蒸镀源和所述待蒸镀基板之间；其特征在于，所述蒸镀装置还包括：设置于所述蒸镀腔室内的吸附装置；其中，所述吸附装置包括：设置于所述待蒸镀基板远离所述金属掩模板一侧的多个呈矩阵排列的磁块，以及用于调节每个所述磁块相对所述待蒸镀基板上下移动的牵引装置。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，包括:蒸镀腔室、设置于蒸镀腔室内的蒸镀源、掩模板支撑架和基板支撑架，所述掩模板支撑架用于承载金属掩模板，所述基板支撑架用于承载待蒸镀基板，且所述金属掩模板设置于所述蒸镀源和所述待蒸镀基板之间；其特征在于，所述蒸镀装置还包括:设置于所述蒸镀腔室内的吸附装置； 其中，所述吸附装置包括:设置于所述待蒸镀基板远离所述金属掩模板一侧的多个呈矩阵排列的磁块，以及用于调节每个所述磁块相对所述待蒸镀基板上下移动的牵引装置。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述牵引装置包括设置于所述磁块上方、且与所述磁块一一对应的多个调节棒； 其中，一个所述调节棒与对应的一个所述磁块连接，用于带动所述磁块上下移动。3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述调节棒的表面具有螺纹； 所述磁块相对所述调节棒的表面具有螺孔，所述螺孔与所述调节棒表面的螺纹相吻口 ο4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述牵引装置还包括固定所述调节棒的固定板； 其中，所述固定板具有与所述调节棒对应个数的贯穿孔，且所述贯穿孔的表面具有两个相对的凹槽；所述调节棒穿过所述贯穿孔，且在所述调节棒的高度方向上，所述调节棒的...

【专利技术属性】
技术研发人员：马利飞，张鹏，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11