广东省科学院半导体研究所专利技术

广东省科学院半导体研究所共有240项专利

  • 本申请提供了一种深紫外LED器件及其制作方法,涉及半导体技术领域。该深紫外LED器件包括:衬底;位于衬底一侧的缓冲层;位于缓冲层一侧的发光层;其中,发光层包括P型接触层,P型接触层的厚度为1~50nm;位于发光层一侧的N型电极与P型电极...
  • 本发明涉及电池技术领域,具体而言,涉及用于卤素正极的耐腐蚀碳化钒集流体及其制备方法;本发明的制备方法包括用五氧化二钒、草酸和双氧水制备暗红色的反应液;用反应液热处理碳布;将经过反应液热处理后的碳布置于两电极电解池内沉积,得到沉积样品;保...
  • 本申请公开了声表面波谐振器及其制备方法,声表面波谐振器包括压电基材;导电层,包括叉指电极,设置在压电基材的一侧表面;气凝胶层,设置在压电基材的一侧表面,覆盖叉指电极;保护层,设置在压电基材的一侧表面,覆盖气凝胶层;其中,导电层还包括金属...
  • 本发明公开了一种氧化镓基MOSFET器件,其包括氧化镓基体,所述氧化镓基体包括氧化镓衬底,所述的氧化镓衬底的自由端面上刻蚀有由微纳尺寸的光子晶体孔形成的阵列,所述光子晶体孔内设有高导热率半导体材料,所述高导热率半导体材料为AlN、SiC...
  • 本发明公开了一种倒装MOSFET器件及其制作方法,其中,倒装MOSFET器件包括从上至下依次层设的氧化镓衬底、n型掺杂氧化镓层、n型重掺杂氧化镓层、二氧化硅钝化层、氧化铝介质层、键合层和氮化铝导热层;所述n型重掺杂氧化镓层和所述二氧化硅...
  • 本发明公开一种散热结构及液体光波导组件,其中,散热结构能够设置在液体光波导上以对液体光波导进行散热,其包括设有容置通道的散热块;和设于容置通道中且与容置通道贴合的散热单元,散热单元还设置成能够贴合在置于容置通道中的液体光波导的外径上;其...
  • 本发明的实施例提供了一种量子点微LED显示器件及其制备方法,涉及光电显示技术领域,该量子点微LED显示器件及其制备方法,通过在光转换层和单色LED阵列板之间设置透明状的热缓冲层,从而阻碍了单色LED阵列板产生的热量传递至光转换层,避免了...
  • 本发明公开一种紫外LED外延片及其制备方法与应用,其中,紫外LED外延片包括依次外延生长的n型半导体层、有源层、电子阻挡层和p型半导体层;电子阻挡层由第一子层和第二子层交替生长而成的超晶格结构组成,第一子层为氮化硼铝层,第二子层为氮化铝...
  • 本发明的实施例提供了一种转移膜、转移组件和微器件曲面转移方法,涉及微器件转移领域。该转移膜包括基底层、吸水层和拾取层,吸水层的一侧与基底层连接,另一侧和拾取层连接,基底层用于在吸水层吸水后与吸水层分离;拾取层用于拾取微器件,并用于将微器...
  • 本发明公开了一种紫外LED量子阱生长方法。本发明通过控制InGaN量子阱外延层的生长速度,可以避免因AlGaN垒和InGaN阱的较大晶格失配而导致的位错和缺陷大量产生,提高量子阱中InGaN材料的局域化,同时通过调节量子阱生长速度可以优...
  • 本发明公开了基于电子缓冲器的深紫外发光二极管及其制作方法,所述深紫外发光二极管包括:衬底和在所述衬底上依次外延生长的缓冲层、n型半导体层、电子缓冲器、有源层、p型半导体层和接触层,其中,所述电子缓冲器为非掺杂B
  • 本发明公开了一种衬底剥离方法。本发明的衬底剥离方法包括以下步骤:(1)在第一衬底上沉积AlN材料,形成复合基板,其中,沉积AlN材料过程中的环境气氛掺有氧元素,使得AlN材料中氧原子浓度高于1E16cm
  • 本公开涉及集成电路领域,尤其涉及一种浮动电压源电路。通过在电路中设置运算放大器、多个P型高压MOS管以及多级电流镜单元,使浮动电压源的电压值仅由电流镜级数和参考电压决定,而电流镜级数和参考电压值均可以根据实际需要进行设置,因此可以实现对...
  • 本申请提供一种芯片封装结构及方法,采用了背对背的封装结构,并通过完全穿过两个芯片的TSV孔,或TSV和TMV孔的配合实现芯片间的电性连接。如此,将芯片贴合之前可以不用预先在芯片形成穿过硅材料的TSV孔,可以降低对芯片贴合对准精确性的要求...
  • 本申请提供了一种位错缺陷分析方法,涉及半导体材料位错分析技术领域。首先利用等离子体处理设备对待分析样品进行离子氧化处理,以在待分析样品的表面形成氧化物薄层;其中,待分析样品包括缺陷区与非缺陷区,且缺陷区的氧化物薄层的厚度大于非缺陷区的氧...
  • 本发明的实施例提供了一种三维空间激光投影切片显示装置,涉及激光投影显示技术领域。三维空间激光投影切片显示装置包括激光投影仪、反射镜面、投影平板、激光测距装置和计算机,其中,激光投影仪用于发出光束,反射镜面用于接收光束并反射出平行光,投影...
  • 本申请提供了一种微器件转移方法与器件转移装置,涉及器件转移技术领域。首先利用柔性转移装置拾起位于一原始衬底上的微器件,再利用柔性转移装置将微器件转移至目标曲面衬底,其中,目标曲面衬底上覆盖有第一粘附层,以通过第一粘附层与微器件连接,再对...
  • 本发明的实施例提供了一种并联式运动目标视觉追踪装置,涉及视频监控技术领域。并联式运动目标视觉追踪装置包括依次设置的相机、调焦透镜组以及并联旋转台,其中,并联旋转台包括静平台、连接组件和动平台,动平台通过连接组件连接在静平台上,动平台可相...
  • 本发明公开一种紫外发光芯片、其制备方法及应用,该紫外发光芯片从下到上依次包括:衬底、缓冲层、电子传输层、紫外光有源区、电子阻挡层、空穴传输层和p型层;其中,所述紫外光有源区在正向电流注入下能够同时发射深紫外光和近紫外光。本发明提供的方案...
  • 本申请提供了一种视觉防抖装置和方法,涉及车载传感器技术领域,该视觉防抖装置包括移动平台、驱动组件、入射镜片组、光线接收组件和陀螺仪,移动平台上开设有入光口,入射镜片组与入光口相对设置,光线接收组件设置在移动平台内;陀螺仪设置在移动平台内...