【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种CIS晶圆成测机,包括底座和光源装置,所述光源装置安装在所述底座上,所述光源装置包括镜头安装板,在所述镜头安装板上设有多个镜头安装孔,在所述每个镜头安装孔内设置一个镜头,其特征在于:在所述镜头安装板的下方设置光源安装板,在所述光源安装板内设有多个光源板,所述多个光源板与所述多个镜头安装孔一一对应。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:朱玉萍,岑刚,
申请(专利权)人:嘉兴景焱智能装备技术有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。