CIS晶圆成测机制造技术

技术编号:9086635 阅读:193 留言:0更新日期:2013-08-28 23:14
本发明专利技术涉及集成电路芯片处理技术领域,公开了一种CIS晶圆成测机,包括底座和光源装置,所述光源装置安装在所述底座上,所述光源装置包括镜头安装板,在所述镜头安装板上设有多个镜头安装孔,在所述每个镜头安装孔内设置一个镜头,在所述镜头安装板的下方设置光源安装板,在所述光源安装板内设有多个光源板,所述多个光源板与所述多个镜头安装孔一一对应。本发明专利技术的滑动平台的设置使镜头与芯片的对准精确;光源的设置,使成测机结构紧凑,操作方便;镜头和光源的安装方式使镜头和光源更换时方便快速。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种CIS晶圆成测机,包括底座和光源装置,所述光源装置安装在所述底座上,所述光源装置包括镜头安装板,在所述镜头安装板上设有多个镜头安装孔,在所述每个镜头安装孔内设置一个镜头,其特征在于:在所述镜头安装板的下方设置光源安装板,在所述光源安装板内设有多个光源板,所述多个光源板与所述多个镜头安装孔一一对应。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:朱玉萍岑刚
申请(专利权)人:嘉兴景焱智能装备技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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