【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种半导体结构,其特征在于,包含有:一半导体基底,具有一主表面;至少一有源区,设在所述半导体基底的所述主表面;一浅沟槽隔离,隔离所述有源区,其中所述浅沟槽隔离的上表面低于所述主表面一预定深度,显露出所述有源区的一侧壁;一垂直接面掺杂井,设在该显露出的所述有源区的所述侧壁上;以及一源极/漏极区域,设在所述半导体基底的所述主表面,其中所述垂直接面掺杂井与所述源极/漏极区域衔接并共同构成一三维立体接面。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:李宗翰,施能泰,胡耀文,
申请(专利权)人:华亚科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:中国台湾;71
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