清洁装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于清洁炉管的清洁装置，其包含本体、抽气装置与至少一个滚轮。本体具有通道。抽气装置设置于本体的一端，并连接所述通道。滚轮由石英材质、碳化硅材质或其组合构成，并设置于本体相对抽气装置的一端上。因此，清洁装置可以直接对炉管进行近距离的清洁，借以大幅延长炉管的使用寿命与减少更换炉管内部石英的开销。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种清洁装置，且特别是涉及一种用于清洁炉管的清洁装置。
技术介绍
在半导体工艺中，有许多形成薄膜的方法，其中部分方式为搭配使用炉管设备。炉管设备一般可以分为直立式、水平式等多种形式。以直立式的炉管设备来说，反应气体是由炉管的底部通入炉管内，提高到所需温度接着通入反应气体在炉管内与晶圆产生化学反应后，形成化学反应形成于晶圆表面达到工艺所需目的。然而，在进行多次的沉积薄膜反应之后，炉管内壁也会沉积有越来越多的衍生物，其为一种残余污染物，且将会影响后续的工艺条件。当工艺条件受到影响后，半导体晶圆将会容易发生有不预期的污染状况，使得半导体晶圆的良率与品质受到大幅度的影响。再者，如果无法有效清除衍生的污染物，就必须更换或拆洗炉管内部石英来维持其清洁度与工艺品质，然而此将造成相当程度的成本方面耗损。因此，如何能有效解决上述问题，实属当前重要研发课题之一，也成为当前相关领域亟需改进的目标。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种清洁装置，其可以直接对炉管进行清洁，并透过其滚轮与炉管的管壁作转动接触，使得清洁装置可以近距离对炉管的管壁进行污染物的去除，借以大幅延长炉管的使用寿命与减少更换炉管内部石英的开销。此外，清洁装置是透过加压气体与真空吸入的物理方式去除污染物，由于此种清洁方式不需以化学药品作为辅助，进行清洁的成本也能再降低。使用石英材质构成的滚轮也避免对炉管内部的石英造成金属污染状况。本专利技术的一实施方式提供一种清洁装置，其包含本体、抽气装置与至少一个滚轮。本体具有通道。抽气装置设置于本体的一端，并连接通道。滚轮由石英材质、碳化硅材质或其组合构成，并设置于本体相对抽气装置的一端上。在部分实施方式中，滚轮的数量为多个。滚轮成对设置于本体相对抽气装置的一端的相对两侧上。在部分实施方式中，本体相对抽气装置的一端的端面与通道的延伸方向具有夹角或互相平行。在部分实施方式中，滚轮的数量可为多个。滚轮成对设置于本体相对抽气装置的一端的相对两侧上。滚轮具有公切面，且公切面平行于本体相对抽气装置的一端的端面。在部分实施方式中，清洁装置还包含定位柱与定位元件。定位柱设置于本体相对抽气装置的一端，并与本体一体成形，其中定位柱具有定位孔。滚轮具有开口，且定位柱穿过滚轮的开口，其中定位元件锁附于定位孔，以固定滚轮的位置。在部分实施方式中，清洁装置还包含喷枪与气压源。喷枪具有喷气口，且喷气口毗邻于本体相对抽气装置的一端。气压源连接喷枪，以提供喷枪高压气体。在部分实施方式中，清洁装置还包含照明装置。照明装置设置于本体相对抽气装置的一端上。在部分实施方式中，清洁装置包含毛刷。毛刷设置于本体相对抽气装置的一端上。在部分实施方式中，清洁装置还包含集尘袋。集尘袋设置于通道与抽气装置之间。在部分实施方式中，本体的材质为不锈钢、石英、聚四氟乙烯或其组合。本专利技术的有益效果为：所述清洁装置，其可以直接对炉管进行近距离的清洁，借以大幅延长炉管的使用寿命与减少更换炉管内部石英的开销。附图说明图1绘示本专利技术的清洁装置的第一实施方式进行炉管清洁的侧视剖面图。图2A绘示图1的清洁装置的一端的立体示意图。图2B绘示图2A的清洁装置的滚轮的组装示意图。图3绘示图1的清洁装置于炉管的管壁进行清洁的侧视示意图。图4绘示本专利技术的清洁装置的第二实施方式的立体示意图。图5绘示本专利技术的清洁装置的第三实施方式的立体示意图。图6绘示本专利技术的清洁装置的第四实施方式的立体示意图。具体实施方式以下将以图式公开本专利技术的多个实施方式，为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本专利技术。也就是说，在本专利技术部分实施方式中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化图式起见，一些熟知惯用的结构与元件在图式中将以简单示意的方式绘示。由于在半导体工艺所使用的炉管中，假使无法有效清除衍生的污染物，就必须拆卸清洗或更换新的炉管内部石英来维持其清洁度与工艺品质，然而更换炉管将造成相当程度的成本方面耗损。有鉴于此，本专利技术的清洁装置可以透过清洁装置的滚轮与炉管的管壁作转动接触直接对炉管进行清洁。透过清洁装置的石英滚轮与炉管的管壁作转动接触，可以避免炉管内部有金属或其他杂质残留在反应腔体内，影响产品良率。换言之，清洁装置可以在近距离对炉管的管壁进行污染物的去除，借以大幅延长炉管的使用寿命与减少更换炉管的开销。请参照图1，图1绘示本专利技术的清洁装置100的第一实施方式进行炉管102清洁的侧视剖面图。本实施方式的清洁装置100为用于清洁直立式的石英炉管102。清洁装置100包含本体104、抽气装置118与滚轮120。本体104具有通道106与通道入口107。抽气装置118设置于本体104的一端，并连接通道106。滚轮120可由石英材质、碳化硅材质或其组合构成，并设置于本体104相对抽气装置118的一端上。此外，本体104的材质可以是不锈钢、石英、聚四氟乙烯或其组合，然而不以此为限。抽气装置118可以在本体104的通道106内产生负压(或是小于炉管102环境的压力)，使得炉管102内的污染物可以透过通道入口107被吸入至通道106内。换言之，在此配置下，炉管102内的污染物与副生成物可以借由清洁装置100脱离炉管102的管壁103，以达到清洁炉管102的效果。此外，清洁装置100还可包含集尘袋(未绘示)，其中集尘袋设置于通道106与抽气装置118之间。当污染物进入通道106后，清洁装置100可以透过集尘袋收集污染物，以方便集中处理污染物。为了使清洁装置100可以有更好的清洁效果，使用者在进行清洁炉管102时，可以透过滚轮120使清洁装置100接触于炉管102的管壁103，并借由滚轮120与炉管102的管壁103进行滚动接触，以作为清洁装置100在炉管102的管壁103上移动的辅助元件。换言之，在清洁炉管102时，使用者可以使清洁装置100的本体104与其上的通道入口107更贴近管壁103与其上的污染物，借以使污染物更易被吸入通道106内，达到有效去除污染物的效果。本实施方式中，滚轮120可由石英或碳化硅材质构成，由于石英或碳化硅具有高耐温性、高耐磨耗性、良好的化学稳定性与电绝缘性等特性，因此使用石英材质或碳化硅材质构成的滚轮120可以防止不预期反应的发生，或是防止非预期的物质在清洁之后加入半导体工艺的反应的可能性。举例来说，如果以金属或其他物质直接接触在炉管102的管壁103上，则可能会造成金属污染或其他污染，并进而影响接续在清洁之后的半导体工艺。此外，由于炉管102与滚轮120皆为由石英或碳化硅材质所构成，因此炉管102与滚轮120之间也不会有化学反应产生。综上所述，本实施方式的清洁装置100可以直接对炉管102进行清洁，并透过滚轮120与炉管102的管壁103作转动接触，使得清洁装置100可以在近距离对炉管102的管壁103进行污染物的去除，借以大幅延长炉管102的使用寿命与减少更换炉管102的开销。此外，清洁装置100是透过吸入的方式去除污染物，此种的物理式清洁方式也可以降低进行清洁时的危险性。再者，由于此清洁方式不需以化学药品作为辅助，进行清洁的成本也能再降低。以下叙述将对滚轮120在本本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种清洁装置，其特征在于，所述清洁装置包含：本体，其具有通道；抽气装置，其设置于所述本体的一端，并连接所述通道；以及至少一个滚轮，由石英材质、碳化硅材质或其组合构成，该滚轮设置于所述本体相对所述抽气装置的一端上。

【技术特征摘要】
2015.07.09 TW 1041223451.一种清洁装置，其特征在于，所述清洁装置包含：本体，其具有通道；抽气装置，其设置于所述本体的一端，并连接所述通道；以及至少一个滚轮，由石英材质、碳化硅材质或其组合构成，该滚轮设置于所述本体相对所述抽气装置的一端上。2.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述至少一个滚轮的数量为多个，且所述滚轮成对设置于所述本体相对所述抽气装置的一端的相对侧上。3.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述本体相对所述抽气装置的一端的端面与所述通道的延伸方向具有夹角或互相平行。4.如权利要求3所述的清洁装置，其特征在于，所述至少一个滚轮的数量为多个，且所述滚轮成对设置于所述本体相对该抽气装置的一端的相对两侧上，所述滚轮具有公切面，且所述公切面平行于所述本体相对所述抽气装置的一端的端面。5.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置还包含：至...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐三权，邵明轩，林彦璋，
申请(专利权)人：华亚科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71