北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所专利技术

北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所共有249项专利

  • 本发明提供一种湿化学设备用干燥装置,湿化学设备用干燥装置包括物料容置组件,包括壳体和物料容置件,物料容置件设置于壳体的内部;热风循环组件,包括循环风道和循环驱动件,循环风道设置于物料容置组件的外周,循环驱动件设置于循环风道的侧部;壳体的...
  • 本申请提供了一种基于相位光栅的静态对准系统及对准方法,其中,从光源发出的入射光线通过旋转平板,照射至衍射光束筛选镜组,入射光线依次经过衍射光束筛选镜组和第一透镜照射在待测样品表面的对准标记上,产生各阶次衍射光束,通过衍射光束筛选镜组对各...
  • 本发明涉及半导体设备制造技术领域,尤其是涉及一种机械手片叉气路密封结构及其密封方法。机械手片叉气路密封结构包括:片叉主体形成有凹陷的阶梯槽,阶梯槽包括堆叠设置的第一槽体、第二槽体和气体通道,第二槽体由部分的第一槽体的底壁向下凹陷形成,气...
  • 本申请提供了一种半导体测试设备的隔振系统,其中,所述隔振系统的置物台与摆杆机构垂直连接,摆杆机构嵌入式的设置于气囊内,其中,隔振系统包括数据采集单元和控制单元,数据采集单元包括位移传感器和速度传感器,位移传感器用于检测置物台相对于隔振系...
  • 本申请提供了一种传输机构及传输装置,涉及晶圆传输设备技术领域。根据本申请提供的传输机构,轴构件插入到第一主动轮内,并且第一主动轮能够相对于轴构件旋转。如此,当第一主动轮和轴构件联动时,即,第一主动轮沿第一方向旋转一定角度,轴构件沿相反的...
  • 本申请提供了一种运动台的精确零位的确定方法、装置及设备,其中,该方法包括:控制运动台移动至第一零位传感器和第二零位传感器的第一初始零位;控制运动台在第一初始零位的附近位置进行多次迭代运动;控制运动台移动至第三零位传感器的第二初始零位;控...
  • 本申请提供了一种采集电路板,采集电路板包括形成于电路板主体上的多个接口模块,每个接口模块包括第一连接器、滤波电路和采样电路,其中,滤波电路的第三端和第四端用于确定温度传感器输出的第一电压差值,采样电路的第二端和第三端用于确定采样电路采集...
  • 本申请提供了一种光机驱动机构及光机,涉及光机技术领域。根据本申请提供的光机驱动机构,利用第一驱动机构驱动第二驱动机构,并且利用第二驱动机构驱动运动构件,进而利用运动构件带动光机运动,使得光机到达所需到达的位置。其中,第一驱动机构包括彼此...
  • 本发明涉及晶圆清洗技术领域,具体而言,涉及一种晶圆水浴快排槽结构及晶圆清洗设备,包括主槽体、水浴槽体及声波振动组件;所述主槽体置于所述水浴槽体内,所述水浴槽体的内部设置有用于放置晶圆的放置平台,所述水浴槽体上还设置有DIW喷淋机构、鼓泡...
  • 本发明涉及晶圆生产加工技术领域,尤其是涉及一种晶圆料盒固定平台。本发明提供了一种晶圆料盒固定平台,本发明提供一种晶圆料盒固定平台,包括:基板、定位件、姿态限位件和压力检测元件;所述定位件设置在所述基板的上板面上,用于将晶圆料盒定位;所述...
  • 本申请涉及半导体设备技术领域,具体而言,涉及一种吸盘组件,在所述吸盘的轴心处设置有第一气孔,在所述吸盘底座的轴心处设置有第一定位台阶孔,在所述螺栓的轴心处设置有第二气孔,在所述旋转轴的轴心设置有第一螺纹孔,所述螺栓穿过所述第一定位台阶孔...
  • 本申请涉及激光光轴校准技术领域,特别涉及一种激光光轴校准装置及校准方法
  • 本申请提供了一种光电二极管偏压电路,光电二极管偏压电路包括方波产生电路和电荷泵电路,其中,方波产生电路的输出端连接到电荷泵电路的输入端,电荷泵电路的输出端连接到光电二极管的阴极
  • 本申请提供了一种掩模台水平零位的标定方法
  • 本申请提供了一种前馈参数整定方法及装置,涉及工业控制技术领域,该方法包括:在对运动台进行伺服控制时,确定本轮伺服控制中运动台的运动参数与预设轨迹参数之间的当前伺服误差;根据当前伺服误差
  • 本申请提供了一种运动台的控制方法
  • 本申请提供了一种半导体制造设备嵌入式系统的日志记录方法及装置,该方法包括:获取目标分系统下产生的日志信息;提取日志信息中的系统标识,并确定与系统标识对应的循环队列,循环队列包括按存储顺序排列的多个可用节点;判断循环队列中的预设可用节点的...
  • 本申请提供了一种设备驱动系统及数据处理方法,设备驱动系统包括客户端
  • 本发明提供一种交换版机械手用的柔性吸附装置及交换版机械手,交换版机械手用的柔性吸附装置的结构包括垂向运动部,其上部与交换版机械手的升降组件连接,垂向运动部能够在竖直方向上升降运动;调平部,罩设于垂向运动部,垂向运动部的上部穿设于调平部,...
  • 本申请涉及半导体技术领域,具体而言,涉及一种机械手定位装置及半导体设备,所述定位组件包括均安装于所述支板的第一弹性件和限位件,在第一方向上所述第一弹性件的两端分别为第一连接端和第二连接端,所述第一连接端与所述支板连接,所述第二连接板与所...
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