【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光机，尤其是涉及一种光机驱动机构及光机。
技术介绍
1、现有技术中对光机的运动准确性需求较高，这就要求驱动光机的驱动装置能够提供较高的准确性。然而，现有技术中，驱动光机的驱动装置往往只针对光机的直线运动提供相对高的准确性，但是在光机作业的过程中，光机对驱动装置施加的作用力会导致驱动装置活动，进而导致光机当前位置发生变动，这也造成了光机的运动准确性下降。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请提供一种光机驱动机构及光机，目的在于，一定程度上解决以上技术问题。
2、第一方面，本申请提供一种光机驱动机构，所述光机驱动机构包括：
3、第一驱动机构，所述第一驱动机构包括彼此啮合的蜗杆和蜗轮，其中，所述蜗杆和所述蜗轮能够自锁；
4、第二驱动机构，所述第二驱动机构包括丝杠和套设于丝杠的螺母，所述蜗轮与所述丝杠同轴设置，以带动所述丝杠旋转；
5、运动构件，所述运动构件与所述螺母连接，所述运动构件用于连接光机。
6、优选地，所述光机驱动机构包括座构件，所述座构件包括彼此相对设置的两个梁部，所述运动构件与所述两个梁部可运动地连接。
7、优选地，所述光机驱动机构还包括分别沿着所述两个梁部布置的两根第一导轨，所述运动构件包括分别与所述两根第一导轨配合的两个滑动构件。
8、优选地，所述两个滑动构件为两根第二导轨，所述光机驱动机构还包括分别沿着所述两根第一导轨设置的两个保持器，所述两根第二导轨分别经由所述两个保持器与所述
9、优选地，所述光机驱动机构包括感测构件，所述感测构件设置于所述座构件，所述感测构件位于所述两根第一导轨的延伸长度范围内，所述感测构件用于感测所述运动构件的位置；
10、其中，所述光机驱动机构还包括控制机构，所述控制机构与所述感测构件通信连接，所述控制机构用于在接收到所述感测构件感测到所述运动构件的位置后控制所述蜗杆反向旋转。
11、优选地，所述光机驱动机构包括设置于所述座构件的第一限位构件和第二限位构件，所述第一限位构件和第二限位构件分别位于所述运动构件的两侧。
12、优选地，所述光机驱动机构包括第一缓冲构件和保持所述丝杠旋转的丝杠轴承，所述第一缓冲构件以预紧的方式抵接在丝杠轴承的轴向外侧，以缓冲来自所述丝杠轴承的冲击。
13、根据以上技术特征，即使是蜗轮和蜗杆磨损后，第一缓冲构件安装时的预紧力，使得蜗轮承受轴向力，进而能够使得蜗杆与蜗轮紧密配合，从而确保传动精度。这里，第一缓冲构件可以例如为波形垫片。
14、优选地，所述光机驱动机构包括第二缓冲构件和保持所述蜗杆旋转的蜗杆轴承，所述第二缓冲构件以预紧的方式抵接在蜗杆轴承的轴向外侧，以缓冲来自所述蜗杆轴承的冲击。
15、根据以上技术特征，即使是蜗轮和蜗杆磨损后，第二缓冲构件安装时的预紧力，使得蜗杆承受轴向力，进而能够使得蜗杆与蜗轮紧密配合，从而确保传动精度。这里，第二缓冲构件可以例如为波形垫片。
16、优选地，所述光机驱动机构包括锁定构件，所述锁定构件可拆卸地连接于所述丝杠，所述锁定构件压紧所述蜗轮，以将所述蜗轮定位于所述丝杠。
17、第二方面，本申请提供一种光机，所述光机包括如上所述的光机驱动机构。
18、根据本申请提供的光机驱动机构，利用第一驱动机构驱动第二驱动机构，并且利用第二驱动机构驱动运动构件，进而利用运动构件带动光机运动，使得光机到达所需到达的位置。其中，第一驱动机构包括彼此啮合的蜗杆和蜗轮，蜗轮被蜗杆驱动，进而利用蜗轮驱动丝杠旋转，由于蜗杆和蜗轮能够自锁，当蜗杆驱动蜗轮时，蜗轮能够被蜗杆正常驱动，进而完成前述运动过程，当蜗杆不再驱动蜗轮时，蜗轮因为光机经由丝杠所施加到蜗轮的作用力难以使蜗杆旋转。由此能够避免因蜗杆位置变动而导致蜗轮位置变动，进而导致丝杠和螺母的位置出现变动，而使得光机的位置变动的情况出现。
19、为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种光机驱动机构，其特征在于，所述光机驱动机构包括：
2.根据权利要求1所述的光机驱动机构，其特征在于，所述光机驱动机构包括座构件，所述座构件包括彼此相对设置的两个梁部，所述运动构件与所述两个梁部可运动地连接。
3.根据权利要求2所述的光机驱动机构，其特征在于，所述光机驱动机构还包括分别沿着所述两个梁部布置的两根第一导轨，所述运动构件包括分别与所述两根第一导轨配合的两个滑动构件。
4.根据权利要求3所述的光机驱动机构，其特征在于，所述两个滑动构件为两根第二导轨，所述光机驱动机构还包括分别沿着所述两根第一导轨设置的两个保持器，所述两根第二导轨分别经由所述两个保持器与所述两根第一导轨配合。
5.根据权利要求3所述的光机驱动机构，其特征在于，所述光机驱动机构包括感测构件，所述感测构件设置于所述座构件，所述感测构件位于所述两根第一导轨的延伸长度范围内，所述感测构件用于感测所述运动构件的位置；
6.根据权利要求2所述的光机驱动机构，其特征在于，所述光机驱动机构包括设置于所述座构件的第一限位构件和第二限位构件，所述第一限位构件和
7.根据权利要求1所述的光机驱动机构，其特征在于，所述光机驱动机构包括第一缓冲构件和保持所述丝杠旋转的丝杠轴承，所述第一缓冲构件以预紧的方式抵接在丝杠轴承的轴向外侧，以缓冲来自所述丝杠轴承的冲击。
8.根据权利要求1所述的光机驱动机构，其特征在于，所述光机驱动机构包括第二缓冲构件和保持所述蜗杆旋转的蜗杆轴承，所述第二缓冲构件以预紧的方式抵接在蜗杆轴承的轴向外侧，以缓冲来自所述蜗杆轴承的冲击。
9.根据权利要求1所述的光机驱动机构，其特征在于，所述光机驱动机构包括锁定构件，所述锁定构件可拆卸地连接于所述丝杠，所述锁定构件压紧所述蜗轮，以将所述蜗轮定位于所述丝杠。
10.一种光机，其特征在于，所述光机包括如权利要求1至9中任一项所述的光机驱动机构。
...【技术特征摘要】
1.一种光机驱动机构，其特征在于，所述光机驱动机构包括：
2.根据权利要求1所述的光机驱动机构，其特征在于，所述光机驱动机构包括座构件，所述座构件包括彼此相对设置的两个梁部，所述运动构件与所述两个梁部可运动地连接。
3.根据权利要求2所述的光机驱动机构，其特征在于，所述光机驱动机构还包括分别沿着所述两个梁部布置的两根第一导轨，所述运动构件包括分别与所述两根第一导轨配合的两个滑动构件。
4.根据权利要求3所述的光机驱动机构，其特征在于，所述两个滑动构件为两根第二导轨，所述光机驱动机构还包括分别沿着所述两根第一导轨设置的两个保持器，所述两根第二导轨分别经由所述两个保持器与所述两根第一导轨配合。
5.根据权利要求3所述的光机驱动机构，其特征在于，所述光机驱动机构包括感测构件，所述感测构件设置于所述座构件，所述感测构件位于所述两根第一导轨的延伸长度范围内，所述感测构件用于感测所述运动构件的位置；
6.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵虎，王洪宇，张伟，孔令云，朱鑫宇，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：
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