一种基于相位光栅的静态对准系统及对准方法技术方案

本申请提供了一种基于相位光栅的静态对准系统及对准方法，其中，从光源发出的入射光线通过旋转平板，照射至衍射光束筛选镜组，入射光线依次经过衍射光束筛选镜组和第一透镜照射在待测样品表面的对准标记上，产生各阶次衍射光束，通过衍射光束筛选镜组对各阶次衍射光束进行滤波筛选，得到多组目标阶次衍射光束，多组目标阶次衍射光在参考光栅表面产生不同级次干涉条纹，对准信号采集单元采集每个级次干涉条纹所形成的周期性正弦光强度信号并传递至上位机，以通过上位机实现对待测样品对准位置的计算。本申请通过旋转平板对照明光束进行角度动态调制，使得不需要对准标记位移也可同步获得对准标记的位置衍射信息，实现静态扫描，提高对准精度。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及光刻，尤其涉及一种基于相位光栅的静态对准系统及对准方法。

技术介绍

1、随着集成电路制造设备向高精度、高产率方向发展，对设备的制造集成精度和工艺适应性方面提出更高要求，尤其对准系统是实现精密设备运行位置准确，重复加工制造误差小的核心功能。

2、传统的对准技术主要是有成像对准及相位光栅扫描对准两种对准方式，成像对准基于图像识别、光电传感器探测的方式实现，如佳能公司的专利cn103309169b和上海微电子专利cn106483777b，其加工装调制造难度较大，像差控制严格且难以满足复杂工况下的对准需求，而相位光栅扫描对准方式则主要通过收集高阶衍射信号的方式进行对准，如asml专利cn1506768b、尼康cn111045302a等，但是这种对准方式装配复杂，且只能通过扫描的方式来获取当前的位置信息。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请的目的在于至少提供一种基于相位光栅的静态对准系统及对准方法，本申请通过旋转平板对照明光束进行角度动态调制，使得不需要对准标记位移也可同步获得对准标记的位置衍射信本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于相位光栅的静态对准系统，其特征在于，所述静态对准系统包括对准子系统、第一透镜和上位机，其中，所述对准子系统包括光源、旋转平板、第二透镜、参考光栅、对准信号采集单元和设置于第一透镜和第二透镜之间的衍射光束筛选镜组，

2.根据权利要求1所述的静态对准系统，其特征在于，所述对准系统还包括按序设置在所述光源和所述旋转平板之间的入射光纤、准直透镜和聚焦透镜，所述准直透镜和所述聚焦透镜均为光焦度为正的透镜组，所述入射光纤为单模保偏光纤，

3.根据权利要求2所述的静态对准系统，其特征在于，所述衍射光束筛选镜组包括反射棱镜和级次光阑，所述反射棱镜设置在所述聚焦透镜的光...

【技术特征摘要】

1.一种基于相位光栅的静态对准系统，其特征在于，所述静态对准系统包括对准子系统、第一透镜和上位机，其中，所述对准子系统包括光源、旋转平板、第二透镜、参考光栅、对准信号采集单元和设置于第一透镜和第二透镜之间的衍射光束筛选镜组，

2.根据权利要求1所述的静态对准系统，其特征在于，所述对准系统还包括按序设置在所述光源和所述旋转平板之间的入射光纤、准直透镜和聚焦透镜，所述准直透镜和所述聚焦透镜均为光焦度为正的透镜组，所述入射光纤为单模保偏光纤，

3.根据权利要求2所述的静态对准系统，其特征在于，所述衍射光束筛选镜组包括反射棱镜和级次光阑，所述反射棱镜设置在所述聚焦透镜的光瞳面处，所述级次光阑上预先设置有进行预设阶次衍射光束筛选的多个通光孔洞，

4.根据权利要求3所述的静态对准系统，其特征在于，经过第一透镜的各阶次衍射光束在经过所述级次光阑时，所述级次光阑上的多个通光孔洞对所述各阶次衍射光束进行滤波筛选，得到多组目标阶次衍射光束，所述多组目标阶次衍射光束照射至所述第二透镜。

5.根据权利要求4所述的静态对准系统，其特征在于，所述衍射光...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭胜旺，田锐，任妍，申淙，高爱梅，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：