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本申请提供了一种基于相位光栅的静态对准系统及对准方法，其中，从光源发出的入射光线通过旋转平板，照射至衍射光束筛选镜组，入射光线依次经过衍射光束筛选镜组和第一透镜照射在待测样品表面的对准标记上，产生各阶次衍射光束，通过衍射光束筛选镜组对各阶次...该专利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）授权不得商用。