【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆传输设备，尤其是涉及一种传输机构及传输装置。
技术介绍
1、现有技术中，已经出现了相应的晶圆传输设备。晶圆传输设备诸如晶圆传输机械手，在传输晶圆时，针对晶圆在传输中的直线运动与旋转运动，运动精度和稳定性仍然有进一步的改进空间。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请提供一种传输机构及传输装置，目的在于，一定程度上解决以上技术问题。
2、第一方面，本申请提供一种传输机构，所述传输机构包括：
3、第一主动轮和第一从动轮，所述第一主动轮和所述第一从动轮传动连接；
4、第二主动轮和第二从动轮，所述第二主动轮与所述第一从动轮同轴连接，所述第二主动轮与所述第二从动轮传动连接；
5、其中，所述传输机构还包括轴构件，所述轴构件插入到所述第一主动轮内，所述第一主动轮能够相对于所述轴构件旋转；
6、其中，所述传输机构包括的第一臂、第二臂和第三臂，所述轴构件与所述第一臂固定连接，所述第一从动轮与所述第二臂固定连接，所述第二从动轮与所述第三臂固定连接。
7、优选地，所述第一主动轮和所述第一从动轮的传动比为1:1，所述第二主动轮与所述第二从动轮的传动比为1:2。
8、优选地，所述传输机构还包括第一带和第二带，所述第一主动轮和所述第一从动轮经由所述第一带传动连接，所述第二主动轮和所述第二从动轮经由所述第二带传动连接。
9、优选地，所述传输机构还包括成对设置的第一张紧轮和成对设置的第二张紧轮；
11、其中，所述成对设置的第二张紧轮设置于所述第二主动轮和所述第二从动轮之间，所述成对设置的第二张紧轮分别用于张紧所述第二带的在所述第二主动轮和所述第二从动轮之间的两段。
12、优选地，所述成对设置的第一张紧轮中的每一第一张紧轮的位置能够调整，以调整所述第一带的张紧程度，所述成对设置的第二张紧轮中的每一第二张紧轮的位置能够调整，以调整所述第二带的张紧程度。
13、优选地，所述第一带和所述第二带均为双层带。
14、优选地，所述第一臂和所述第二臂分别具有第一中空部和第二中空部，所述第一中空部和所述第二中空部彼此连通；
15、其中，所述轴构件、所述第一主动轮和所述第一从动轮设置于所述第一中空部内所述第二主动轮和所述第二从动轮设置于所述第二中空部内。
16、优选地，所述第二臂连接于所述第一臂的一侧，所述第三臂连接于所述第二臂的背对所述第一臂的一侧。
17、优选地，所述第一臂包括第一主体和与所述第一主体可拆卸连接的第一盖，所述第二臂包括第二主体和与所述第二主体可拆卸连接的第二盖。
18、第二方面，本申请提供一种传输装置，所述传输装置包括如上所述的传输机构。
19、根据本申请提供的传输机构，利用第一主动轮和第一从动轮传动连接，第一从动轮由第一主动轮驱动。第二主动轮与第一从动轮同轴连接，从而使得第二主动轮与第一从动轮能够联动，共同旋转。相对于第二从动轮而言，第二主动轮为主动驱动轮，二者传动连接使得第二从动轮被第二主动轮驱动。
20、根据本申请提供的传输机构，轴构件插入到第一主动轮内，并且第一主动轮能够相对于轴构件旋转。如此，当第一主动轮和轴构件联动时，即，第一主动轮沿第一方向旋转一定角度，轴构件沿相反的第二方向旋转相同的角度时，第一臂相对地面累计沿第一方向旋转该角度，第二臂相对第一臂旋转沿第二方向旋转第一主动轮和第一从动轮旋转角度之和，第三臂相对第二臂沿第一方向旋转第二主动轮和第二从动轮角度之和的二分之一。由此，相对有效地提高了传输机构的传输精度。
21、为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
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1.一种传输机构，其特征在于，所述传输机构包括：
2.根据权利要求1所述的传输机构，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的传输机构，其特征在于，所述传输机构还包括第一带和第二带，所述第一主动轮和所述第一从动轮经由所述第一带传动连接，所述第二主动轮和所述第二从动轮经由所述第二带传动连接。
4.根据权利要求3所述的传输机构，其特征在于，所述传输机构还包括成对设置的第一张紧轮和成对设置的第二张紧轮；
5.根据权利要求4所述的传输机构，其特征在于，所述成对设置的第一张紧轮中的每一第一张紧轮的位置能够调整，以调整所述第一带的张紧程度，所述成对设置的第二张紧轮中的每一第二张紧轮的位置能够调整，以调整所述第二带的张紧程度。
6.根据权利要求3所述的传输机构，其特征在于，所述第一带和所述第二带均为双层带。
7.根据权利要求1所述的传输机构，其特征在于，所述第一臂和所述第二臂分别具有第一中空部和第二中空部，所述第一中空部和所述第二中空部彼此连通；
8.根据权利要求7所述的传输机构，其特征在于，所述第二臂连接于所述第
9.根据权利要求7所述的传输机构，其特征在于，所述第一臂包括第一主体和与所述第一主体可拆卸连接的第一盖，所述第二臂包括第二主体和与所述第二主体可拆卸连接的第二盖。
10.一种传输装置，其特征在于，所述传输装置包括如权利要求1至9中任一项所述的传输机构。
...【技术特征摘要】
1.一种传输机构，其特征在于，所述传输机构包括：
2.根据权利要求1所述的传输机构，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的传输机构，其特征在于，所述传输机构还包括第一带和第二带，所述第一主动轮和所述第一从动轮经由所述第一带传动连接，所述第二主动轮和所述第二从动轮经由所述第二带传动连接。
4.根据权利要求3所述的传输机构，其特征在于，所述传输机构还包括成对设置的第一张紧轮和成对设置的第二张紧轮；
5.根据权利要求4所述的传输机构，其特征在于，所述成对设置的第一张紧轮中的每一第一张紧轮的位置能够调整，以调整所述第一带的张紧程度，所述成对设置的第二张紧轮中的每一第二张紧轮的位置能够调整，以调整所述第二带的张紧程度。
【专利技术属性】
技术研发人员：赵虎，张雪松，黄渤轩，王洪宇，于朋扬，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：
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