吸盘组件制造技术

本申请涉及半导体设备技术领域，具体而言，涉及一种吸盘组件，在所述吸盘的轴心处设置有第一气孔，在所述吸盘底座的轴心处设置有第一定位台阶孔，在所述螺栓的轴心处设置有第二气孔，在所述旋转轴的轴心设置有第一螺纹孔，所述螺栓穿过所述第一定位台阶孔与所述第一螺纹孔螺纹连接以将所述吸盘底座与所述旋转轴连接，所述螺栓与所述吸盘底座固定连接，所述第一气孔、所述第一定位台阶孔、所述第二气孔和所述第一螺纹孔依次连通，所述第一方向为所述旋转轴的轴向。本申请的目的在于针对现有技术所涉及的至少一个技术问题，提供一种吸盘组件。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体设备，具体而言，涉及一种吸盘组件。

技术介绍

1、随着经济的发展，社会的进步，自动化结构也越来越多的出现在各大机械设备，各种设备的自动化极大地减少了人力资源的消耗，机器人更是未来发展的大势所向。在各类自动化设备中，物料固定机构必不可少，对于物料的固定，有很大一部分采用真空吸附的结构。

2、目前国内应用的真空吸附结构，大多采用成品吸盘或气嘴。这种结构基本无需设计，皆为标准品，其通用性强，可以适应绝大多数机械设备。

3、但对于有高精度要求的半导体设备，若采用成品吸盘，则精度很难保证，因此需要对吸盘进行单独设计。由于吸盘长时间与物料接触，其表面不可避免产生磨损，这对于有高精度要求的半导体设备影响很大，因此需要对吸盘定期更换，由于更换相对频繁，就要求较快速的完成吸盘的拆装，以减小更换吸盘对生产效率的影响。

技术实现思路

1、本申请的目的在于针对
技术介绍
所涉及的至少一个技术问题，提供一种吸盘组件。

2、为了实现上述目的，本申请采用以下技术方案：p>

3、本申请本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.吸盘组件，其特征在于，包括同轴设置的吸盘、吸盘底座、螺栓和旋转轴，且在第一方向上所述吸盘、所述吸盘底座和所述旋转轴依次排列，在所述吸盘的轴心处设置有第一气孔，在所述吸盘底座的轴心处设置有第一定位台阶孔，在所述螺栓的轴心处设置有第二气孔，在所述旋转轴的轴心设置有第一螺纹孔，所述螺栓穿过所述第一定位台阶孔与所述第一螺纹孔螺纹连接以将所述吸盘底座与所述旋转轴连接，所述螺栓与所述吸盘底座固定连接，所述第一气孔、所述第一定位台阶孔、所述第二气孔和所述第一螺纹孔依次连通，所述第一方向为所述旋转轴的轴向。

2.根据权利要求1所述的吸盘组件，其特征在于，所述吸盘底座包括底座部和第一限位凸...

【技术特征摘要】

1.吸盘组件，其特征在于，包括同轴设置的吸盘、吸盘底座、螺栓和旋转轴，且在第一方向上所述吸盘、所述吸盘底座和所述旋转轴依次排列，在所述吸盘的轴心处设置有第一气孔，在所述吸盘底座的轴心处设置有第一定位台阶孔，在所述螺栓的轴心处设置有第二气孔，在所述旋转轴的轴心设置有第一螺纹孔，所述螺栓穿过所述第一定位台阶孔与所述第一螺纹孔螺纹连接以将所述吸盘底座与所述旋转轴连接，所述螺栓与所述吸盘底座固定连接，所述第一气孔、所述第一定位台阶孔、所述第二气孔和所述第一螺纹孔依次连通，所述第一方向为所述旋转轴的轴向。

2.根据权利要求1所述的吸盘组件，其特征在于，所述吸盘底座包括底座部和第一限位凸台，所述第一限位凸台凸出于所述底座部面向所述旋转轴设置的端面，所述第一限位凸台面向所述旋转轴设置的端面为端跳限定平面，所述端跳限定平面与所述旋转轴的端面抵接。

3.根据权利要求2所述的吸盘组件，其特征在于，所述第一限位凸台为与所述旋转轴同轴设置的环形。

4.根据权利要求3所述的吸盘组件，其特征在于，在第二方向上所述第一限位凸台的外壁由所述底座部的外壁在所述第一方向上延伸形成，所述第二方向为所述旋转轴的径向。

5.根据权利要求2所述的吸盘组件，其特征在于，所述吸盘底座还包括中心轴部，所述中心轴部固定于所述底座部面向所述旋转轴的端面，且所述中心轴部与所述底座部同轴设置，在所述旋转轴上形成有与所述第一螺纹孔同轴设置的第二定位台阶孔，所述中心轴部的...

【专利技术属性】
技术研发人员：于朋扬，李霖，李峥，赵虎，张雪松，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：