【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体设备，具体而言，涉及一种吸盘组件。
技术介绍
1、随着经济的发展，社会的进步，自动化结构也越来越多的出现在各大机械设备，各种设备的自动化极大地减少了人力资源的消耗，机器人更是未来发展的大势所向。在各类自动化设备中，物料固定机构必不可少，对于物料的固定，有很大一部分采用真空吸附的结构。
2、目前国内应用的真空吸附结构，大多采用成品吸盘或气嘴。这种结构基本无需设计，皆为标准品，其通用性强，可以适应绝大多数机械设备。
3、但对于有高精度要求的半导体设备，若采用成品吸盘，则精度很难保证，因此需要对吸盘进行单独设计。由于吸盘长时间与物料接触，其表面不可避免产生磨损，这对于有高精度要求的半导体设备影响很大，因此需要对吸盘定期更换，由于更换相对频繁，就要求较快速的完成吸盘的拆装，以减小更换吸盘对生产效率的影响。
技术实现思路
1、本申请的目的在于针对
技术介绍
所涉及的至少一个技术问题，提供一种吸盘组件。
2、为了实现上述目的，本申请采用以下技术方案：
3、本申请提供一种吸盘组件，包括同轴设置的吸盘、吸盘底座、螺栓和旋转轴，且在第一方向上所述吸盘、所述吸盘底座和所述旋转轴依次排列，在所述吸盘的轴心处设置有第一气孔，在所述吸盘底座的轴心处设置有第一定位台阶孔，在所述螺栓的轴心处设置有第二气孔，在所述旋转轴的轴心设置有第一螺纹孔，所述螺栓穿过所述第一定位台阶孔与所述第一螺纹孔螺纹连接以将所述吸盘底座与所述旋转轴连接，所述螺栓与所述吸盘底座固
4、可选地，所述吸盘底座包括底座部和第一限位凸台，所述第一限位凸台凸出于所述底座部面向所述旋转轴设置的端面，所述第一限位凸台面向所述旋转轴设置的端面为端跳限定平面，所述端跳限定平面与所述旋转轴的端面抵接。
5、该技术方案的有益效果在于：端跳限定平面为精加工平面，这样有效减小了端面跳动，提高了吸盘和吸盘底座作为整体的装配精度。
6、可选地，所述第一限位凸台为与所述旋转轴同轴设置的环形。
7、该技术方案的有益效果在于：端跳限定面也为一个环形平面，相对于将底座部的整个端面设置成端跳限定面进行精加工，精加工一个环形面更容易把控加工精度，更容易减小端面跳动，进而提高装配精度。
8、可选地，在第二方向上所述第一限位凸台的外壁由所述底座部的外壁在所述第一方向上延伸形成，所述第二方向为所述旋转轴的径向。
9、该技术方案的有益效果在于：这样，在坯料上加工第一限定凸台时，第一限定凸台的外壁可以与底座部的外壁一起成型，无需在单独加工第一限定凸台的外壁，使第一限定凸台的加工成型相对方便。
10、可选地，所述吸盘底座还包括中心轴部，所述中心轴部固定于所述底座部面向所述旋转轴的端面，且所述中心轴部与所述底座部同轴设置，在所述旋转轴上形成有与所述第一螺纹孔同轴设置的第二定位台阶孔，所述中心轴部的外壁与所述第二定位台阶孔的直径较小段的内壁贴合。本申请实施例中，同轴度限定面为精加工面，通过中心轴部与第二定位台阶孔配合可以在安装螺栓之前先对中心轴部和旋转轴之间的位置关系进行定位，提高装配精度。
11、可选地，所述吸盘底座还包括第二限定凸台，在第二方向上所述第二限定凸台凸出于所述中心轴部的外壁，所述第二限定凸台凸的端面为同轴度限定面，所述同轴度限定面与所述第二定位台阶孔的直径较大段的内壁贴合，所述第二方向为所述旋转轴的径向。
12、该技术方案的有益效果在于：设置了第二限定凸台及同轴度限定面，并使所述同轴度限定面与所述第二定位台阶孔的直径较大段的内壁贴合，提高了吸盘底座与旋转轴之间装配的同轴度，进而提高了吸盘的装配精度。
13、可选地，所述第二限定凸台呈与所述中心轴部同轴设置的环形。
14、该技术方案的有益效果在于：第二限定凸台的端面，即同轴度限定面，为一个环形面，这样增加了第二限定凸台与第二定位台阶孔的接触面积，提高了中心轴部与转动轴之间的同轴度，另一方面，使同轴度限定面不会过大，容易保证同轴度限定面的加工精度。
15、可选地，在所述中心轴部与所述第二定位台阶孔的内壁之间设置有密封圈。
16、该技术方案的有益效果在于：使得在吸盘吸附晶圆时，中心轴部与第二定位台阶孔的内壁之间不易出现漏气问题，提高吸盘组件的可靠性。
17、可选地，所述吸盘包括相互连接的吸盘部和凸台部，所述第一气孔贯穿所述吸盘部和所述台阶部，所述凸台部与所述第一定位台阶孔配合，所述凸台部与所述第一定位台阶孔的内壁贴合，所述吸盘部与所述吸盘底座固定连接。
18、该技术方案的有益效果在于：使吸盘具有凸台部，并使凸台部与第一定位台阶孔的内壁贴合，能够提高吸盘与吸盘底座之间的装配精度，并且在将吸盘与吸盘底座固定连接的过程中，吸盘与吸盘底座之间不易产生相对移动，降低装配难度。
19、可选地，本申请实施例所提供的吸盘组件，还包括多个螺钉，所述吸盘底座的面向所述吸盘设置的端面上设置有多个匀胶槽和多个第二螺纹孔，所述吸盘背离所述吸盘底座一侧的端面上形成有吸附槽，所述吸附槽与所述第一气孔连通且同轴设置，在所述吸附槽槽底设置有多个通孔，各所述通孔与各所述第二螺纹孔一一对应的连通，各所述螺钉一一对应的穿过各所述通孔与相应的第二螺纹孔连接。
20、该技术方案的有益效果在于：通过设置匀胶槽，使吸盘与吸盘底座之间能够通过胶粘在一起，而为了提高连接强度，吸盘和吸盘底座之间还通过螺钉连接，同时，螺钉连接吸盘与吸盘底座也便于吸盘的拆装，提高吸盘的更换效率。
21、可选地，在所述吸盘底座背离所述旋转轴的一侧设置有装配槽，所述装配槽与旋转轴同轴设置，所述吸盘部与所述装配槽配合，且所述吸盘部的外壁与所述装配槽的内壁贴合。
22、该技术方案的有益效果在于：设置所述装配槽并使吸盘与该装配槽配合，使得在将吸盘与吸盘底座固定连接之前，先对吸盘与吸盘底座进行定位，提高吸盘与吸盘底座支间的装配精度。
23、本申请提供的技术方案可以达到以下有益效果：
24、本申请所提供的吸盘组件，在拆卸吸盘时，使吸盘、吸盘底座和螺栓作为一体相对旋转轴转动，使螺栓与旋转轴上的第一螺纹孔分离即可，在安装吸盘时，选择新的吸盘、吸盘底座和螺栓形成的整体，通过螺栓与旋转轴上的第一螺纹孔连接即可完成吸盘的安装，旧吸盘的拆卸和新吸盘的安装完成，即完成了吸盘的更换，整个更换过程简单快捷，使吸盘的更换不易对生产效率有较大负面影响。
25、本申请的附加技术特征及其优点将在下面的描述内容中阐述地更加明显，或通过本申请的具体实践可以了解到。
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1.吸盘组件，其特征在于，包括同轴设置的吸盘、吸盘底座、螺栓和旋转轴，且在第一方向上所述吸盘、所述吸盘底座和所述旋转轴依次排列，在所述吸盘的轴心处设置有第一气孔，在所述吸盘底座的轴心处设置有第一定位台阶孔，在所述螺栓的轴心处设置有第二气孔，在所述旋转轴的轴心设置有第一螺纹孔，所述螺栓穿过所述第一定位台阶孔与所述第一螺纹孔螺纹连接以将所述吸盘底座与所述旋转轴连接，所述螺栓与所述吸盘底座固定连接，所述第一气孔、所述第一定位台阶孔、所述第二气孔和所述第一螺纹孔依次连通，所述第一方向为所述旋转轴的轴向。
2.根据权利要求1所述的吸盘组件，其特征在于，所述吸盘底座包括底座部和第一限位凸台，所述第一限位凸台凸出于所述底座部面向所述旋转轴设置的端面，所述第一限位凸台面向所述旋转轴设置的端面为端跳限定平面，所述端跳限定平面与所述旋转轴的端面抵接。
3.根据权利要求2所述的吸盘组件，其特征在于，所述第一限位凸台为与所述旋转轴同轴设置的环形。
4.根据权利要求3所述的吸盘组件，其特征在于，在第二方向上所述第一限位凸台的外壁由所述底座部的外壁在所述第一方向上延伸形成
5.根据权利要求2所述的吸盘组件，其特征在于，所述吸盘底座还包括中心轴部，所述中心轴部固定于所述底座部面向所述旋转轴的端面，且所述中心轴部与所述底座部同轴设置，在所述旋转轴上形成有与所述第一螺纹孔同轴设置的第二定位台阶孔，所述中心轴部的外壁与所述第二定位台阶孔的直径较小段的内壁贴合。
6.根据权利要求5所述的吸盘组件，其特征在于，所述吸盘底座还包括第二限定凸台，在第二方向上所述第二限定凸台凸出于所述中心轴部的外壁，所述第二限定凸台凸的端面为同轴度限定面，所述同轴度限定面与所述第二定位台阶孔的直径较大段的内壁贴合，所述第二方向为所述旋转轴的径向。
7.根据权利要求6所述的吸盘组件，其特征在于，所述第二限定凸台呈与所述中心轴部同轴设置的环形。
8.根据权利要求1-7中任意一项所述的吸盘组件，其特征在于，所述吸盘包括相互连接的吸盘部和凸台部，所述第一气孔贯穿所述吸盘部和所述台阶部，所述凸台部与所述第一定位台阶孔配合，所述凸台部与所述第一定位台阶孔的内壁贴合，所述吸盘部与所述吸盘底座固定连接。
9.根据权利要求8所述的吸盘组件，其特征在于，还包括多个螺钉，所述吸盘底座的面向所述吸盘设置的端面上设置有多个匀胶槽和多个第二螺纹孔，所述吸盘背离所述吸盘底座一侧的端面上形成有吸附槽，所述吸附槽与所述第一气孔连通且同轴设置，在所述吸附槽槽底设置有多个通孔，各所述通孔与各所述第二螺纹孔一一对应的连通，各所述螺钉一一对应的穿过各所述通孔与相应的第二螺纹孔连接。
10.根据权利要求8所述的吸盘组件，其特征在于，在所述吸盘底座背离所述旋转轴的一侧设置有装配槽，所述装配槽与旋转轴同轴设置，所述吸盘部与所述装配槽配合，且所述吸盘部的外壁与所述装配槽的内壁贴合。
...【技术特征摘要】
1.吸盘组件，其特征在于，包括同轴设置的吸盘、吸盘底座、螺栓和旋转轴，且在第一方向上所述吸盘、所述吸盘底座和所述旋转轴依次排列，在所述吸盘的轴心处设置有第一气孔，在所述吸盘底座的轴心处设置有第一定位台阶孔，在所述螺栓的轴心处设置有第二气孔，在所述旋转轴的轴心设置有第一螺纹孔，所述螺栓穿过所述第一定位台阶孔与所述第一螺纹孔螺纹连接以将所述吸盘底座与所述旋转轴连接，所述螺栓与所述吸盘底座固定连接，所述第一气孔、所述第一定位台阶孔、所述第二气孔和所述第一螺纹孔依次连通，所述第一方向为所述旋转轴的轴向。
2.根据权利要求1所述的吸盘组件，其特征在于，所述吸盘底座包括底座部和第一限位凸台，所述第一限位凸台凸出于所述底座部面向所述旋转轴设置的端面，所述第一限位凸台面向所述旋转轴设置的端面为端跳限定平面，所述端跳限定平面与所述旋转轴的端面抵接。
3.根据权利要求2所述的吸盘组件，其特征在于，所述第一限位凸台为与所述旋转轴同轴设置的环形。
4.根据权利要求3所述的吸盘组件，其特征在于，在第二方向上所述第一限位凸台的外壁由所述底座部的外壁在所述第一方向上延伸形成，所述第二方向为所述旋转轴的径向。
5.根据权利要求2所述的吸盘组件，其特征在于，所述吸盘底座还包括中心轴部，所述中心轴部固定于所述底座部面向所述旋转轴的端面，且所述中心轴部与所述底座部同轴设置，在所述旋转轴上形成有与所述第一螺纹孔同轴设置的第二定位台阶孔，所述中心轴部的...
【专利技术属性】
技术研发人员：于朋扬，李霖，李峥，赵虎，张雪松，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：
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