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本申请涉及半导体设备技术领域，具体而言，涉及一种吸盘组件，在所述吸盘的轴心处设置有第一气孔，在所述吸盘底座的轴心处设置有第一定位台阶孔，在所述螺栓的轴心处设置有第二气孔，在所述旋转轴的轴心设置有第一螺纹孔，所述螺栓穿过所述第一定位台阶孔与所...该专利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）所有，仅供学习研究参考，未经过北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）授权不得商用。